JPH01145157A - 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 - Google Patents
液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板Info
- Publication number
- JPH01145157A JPH01145157A JP62303712A JP30371287A JPH01145157A JP H01145157 A JPH01145157 A JP H01145157A JP 62303712 A JP62303712 A JP 62303712A JP 30371287 A JP30371287 A JP 30371287A JP H01145157 A JPH01145157 A JP H01145157A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording head
- liquid
- heating resistor
- jet recording
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14379—Edge shooter
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/03—Specific materials used
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明はインク等の記録用液体を熱エネルギーを利用し
て吐出し、その液滴を形成し、これを紙などの被記録材
に付着させて記録を行なう液体噴射記録ヘッド及び該ヘ
ッドに用いる基板に関する。
て吐出し、その液滴を形成し、これを紙などの被記録材
に付着させて記録を行なう液体噴射記録ヘッド及び該ヘ
ッドに用いる基板に関する。
［従来の技術］
熱エネルギーを、吐出される液滴の形成に利用する液体
噴射記録法に用いる記録ヘッドは、一般にインク等の記
録用液体を吐出する吐出口と：該吐出口に連通し、液体
を吐出するための熱エネルギーが液体に作用する部分を
有する液路と；基体上に設けられた発熱抵抗体と該発熱
抵抗体に電気的に接続された一対の電極とを有する前記
熱エネルギーを発生させるための電気熱変換体とを有し
、例えば第２図の模式的展開斜視図に示すような構造を
有する。
噴射記録法に用いる記録ヘッドは、一般にインク等の記
録用液体を吐出する吐出口と：該吐出口に連通し、液体
を吐出するための熱エネルギーが液体に作用する部分を
有する液路と；基体上に設けられた発熱抵抗体と該発熱
抵抗体に電気的に接続された一対の電極とを有する前記
熱エネルギーを発生させるための電気熱変換体とを有し
、例えば第２図の模式的展開斜視図に示すような構造を
有する。
このような構成を有していた記録ヘッドのなかで、例え
ば特開昭５５−１２６４６２号公報に開示された記録ヘ
ッドは第１図に示すように、基体表面に熱エネルギーを
発生するための発熱抵抗体２０１と、これに電気信号を
供給するための電極２０９ 、２１０を薄膜形成技術等
により積層して記録ヘッド用基板２０２を形成し、更に
この基板上に発熱抵抗体２０１に接する液路２０４と、
吐出口２１７を構成したものであった。
ば特開昭５５−１２６４６２号公報に開示された記録ヘ
ッドは第１図に示すように、基体表面に熱エネルギーを
発生するための発熱抵抗体２０１と、これに電気信号を
供給するための電極２０９ 、２１０を薄膜形成技術等
により積層して記録ヘッド用基板２０２を形成し、更に
この基板上に発熱抵抗体２０１に接する液路２０４と、
吐出口２１７を構成したものであった。
この記録ヘッドの特徴は、少なくとも発熱抵抗体２０１
の上部に従来見られた保護層が積層されておらず、この
発熱抵抗体２０１が発生する熱エネルギーを液路２０４
中の液体に直接伝達し易い構造を有することにあった。
の上部に従来見られた保護層が積層されておらず、この
発熱抵抗体２０１が発生する熱エネルギーを液路２０４
中の液体に直接伝達し易い構造を有することにあった。
電極２０９．２１０は金などの耐食性材料であれば保護
層２１３．２１４を設ける必要はないが、ＡＩなどの腐
食し易い材料から形成した場合は、図示したように５ｉ
０２等の無機絶縁物やポリイミド等の耐熱高分子などか
らなる保護層２１３．２１４を発熱抵抗体２０１以外の
部分に設けるのが良い。
層２１３．２１４を設ける必要はないが、ＡＩなどの腐
食し易い材料から形成した場合は、図示したように５ｉ
０２等の無機絶縁物やポリイミド等の耐熱高分子などか
らなる保護層２１３．２１４を発熱抵抗体２０１以外の
部分に設けるのが良い。
このような構成の記録ヘッドの発熱抵抗体２０１の形成
には、適当な抵抗値を示す材料、具体的には、貴金属（
■族の元素等）、高融点遷移金属（■、■、■、■族の
元素等）、これらの合金、あるいはこれらの金属の窒化
物、ホウ化物、ケイ化物、炭化物、または酸化物、更に
は、シリコン拡散抵抗体、または炭素を主成分とするア
モファス膜などが用いられてきた。
には、適当な抵抗値を示す材料、具体的には、貴金属（
■族の元素等）、高融点遷移金属（■、■、■、■族の
元素等）、これらの合金、あるいはこれらの金属の窒化
物、ホウ化物、ケイ化物、炭化物、または酸化物、更に
は、シリコン拡散抵抗体、または炭素を主成分とするア
モファス膜などが用いられてきた。
［発明が解決しようとする問題点］
上記のような発熱抵抗体上に保護層を設けない構成の記
録ヘッドにおいては、その耐久寿命は発熱抵抗体の性能
に大きく依存する。
録ヘッドにおいては、その耐久寿命は発熱抵抗体の性能
に大きく依存する。
つまり、この発熱抵抗体層は液体を気化するための熱及
び液滴吐出の際に生じるキャビテーション衝撃および液
体の化学的作用を受けるため、耐熱性、耐破傷性、耐液
性、耐酸化性等に優れたものでなければならない。
び液滴吐出の際に生じるキャビテーション衝撃および液
体の化学的作用を受けるため、耐熱性、耐破傷性、耐液
性、耐酸化性等に優れたものでなければならない。
ところが、これらの全ての要求を十分に満足する発熱抵
抗体形成用材料は未だ知られていなかった。
抗体形成用材料は未だ知られていなかった。
例えば、貴金属、高融点遷移金属などの単体金属では比
抵抗が一般的に低く、発熱効率の点で問題があり、また
上記金属の窒化物、ホウ化物、ケイ化物、炭化物、酸化
物、あるいはシリコン拡散抵抗体、または炭素を主成分
とするアモファス膜などでは、その原子結合が共有結合
性のためと推測されるが、キャビテーション衝撃による
機械的衝撃に弱い場合があった。
抵抗が一般的に低く、発熱効率の点で問題があり、また
上記金属の窒化物、ホウ化物、ケイ化物、炭化物、酸化
物、あるいはシリコン拡散抵抗体、または炭素を主成分
とするアモファス膜などでは、その原子結合が共有結合
性のためと推測されるが、キャビテーション衝撃による
機械的衝撃に弱い場合があった。
また、結晶性あるいは多結晶性の合金では化学的安定性
が不十分である場合も多い。
が不十分である場合も多い。
本発明者らは、上記の問題を解決するために、上述した
要求を満足する発熱抵抗体形成用材料について種々の検
討を行なったところ、上記の要求を全て十分に満足する
材料を見い出すに至り本発明を完成した。
要求を満足する発熱抵抗体形成用材料について種々の検
討を行なったところ、上記の要求を全て十分に満足する
材料を見い出すに至り本発明を完成した。
本発明の目的は、耐衝撃性、耐熱性、耐破傷性、耐液性
、耐酸化性等に優れた発熱抵抗体を有する液体噴射記録
ヘッド及び該ヘッド用の基板を提供することにある。
、耐酸化性等に優れた発熱抵抗体を有する液体噴射記録
ヘッド及び該ヘッド用の基板を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
上記の目的を達成する本発明の液体噴射記録ヘッドは、
液体を吐出する吐出口と：該吐出口に連通し、液体を吐
出するために利用される熱エネルギーが液体に作用する
部分を存する液路と；発熱抵抗体と該発熱抵抗体に電気
的に接続された一対の電極とを有する前記熱エネルギー
を発生させるための電気熱変換体とを有する液体噴射記
録ヘッドにおいて、前記発熱抵抗体が、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗからなる群より選ばれた１種以上の
元素とＦｅ、ＮｉおよびＣｒを含むアモルファス合金か
らなることを特徴とする。
液体を吐出する吐出口と：該吐出口に連通し、液体を吐
出するために利用される熱エネルギーが液体に作用する
部分を存する液路と；発熱抵抗体と該発熱抵抗体に電気
的に接続された一対の電極とを有する前記熱エネルギー
を発生させるための電気熱変換体とを有する液体噴射記
録ヘッドにおいて、前記発熱抵抗体が、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗからなる群より選ばれた１種以上の
元素とＦｅ、ＮｉおよびＣｒを含むアモルファス合金か
らなることを特徴とする。
本発明に用いる合金の組成は、
Ｍｘ （Ｆｅ＋ｏｏ−ｙ−＋ｃ Ｎ ｊｙ Ｃｒ２）
ｔｏｏ、で表わされ、Ｘはこの合金がアモルファス化
する値に選ばれるものであり、例えば１０〜７０原子％
、好ましくは２０〜７０原子％の範囲とされる。
ｔｏｏ、で表わされ、Ｘはこの合金がアモルファス化
する値に選ばれるものであり、例えば１０〜７０原子％
、好ましくは２０〜７０原子％の範囲とされる。
また、ｙは、５〜３０原子％、Ｚは１０〜３０原子％と
されるのが望ましい。
されるのが望ましい。
ＭはＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗからなる群より
選ばれた１種以上の元素を表わす。すなわち、所望に応
じてこれらの元素を単独で、あるいはその複数を用いる
。
選ばれた１種以上の元素を表わす。すなわち、所望に応
じてこれらの元素を単独で、あるいはその複数を用いる
。
上記組成式で表わされるアモルファス合金膜は、比抵抗
が１５０〜３００μＯｈｍ−Ｃ［ｌＩと高く、かつ耐熱
性、耐食性、機械的強度等の液体と直接接触する発熱抵
抗体の構成材料として優れた性質を有する。
が１５０〜３００μＯｈｍ−Ｃ［ｌＩと高く、かつ耐熱
性、耐食性、機械的強度等の液体と直接接触する発熱抵
抗体の構成材料として優れた性質を有する。
このアモルファス合金膜を用いた発熱抵抗体層（第１図
で２０８で示されたもの）の形成には、通常の薄膜堆積
技術等を適用可能であるが、緻密で高強度のアモルファ
ス合金膜が得易いという観点からは、スパッタリング法
が好適である。
で２０８で示されたもの）の形成には、通常の薄膜堆積
技術等を適用可能であるが、緻密で高強度のアモルファ
ス合金膜が得易いという観点からは、スパッタリング法
が好適である。
また、その形成時の基体を１００〜２００℃に加熱して
おくことにより強い付着力が得られる。
おくことにより強い付着力が得られる。
本発明の液体噴射記録ヘッド及び液体噴射記録ヘッド用
基板の発熱抵抗体以外の構成は例えば第１図および第２
図で示した構成に限られず、いかなる構成を有していて
も良い。
基板の発熱抵抗体以外の構成は例えば第１図および第２
図で示した構成に限られず、いかなる構成を有していて
も良い。
例えば、発熱抵抗体上に保護層を設けて用いても良い。
［実施例］
以下実施例および比較例に従い本発明を更に詳細に説明
する。
する。
実施例１
その表面に熱酸化処理によって蓄熱層２０７としての５
μｍの５ｉｎ２膜が設けられているＳｉウェハー２０６
を基体として用い、その蓄熱層２０７上に発熱抵抗体層
２０８としてＴａ５゜（Ｆｅ、３Ｎｉ、。
μｍの５ｉｎ２膜が設けられているＳｉウェハー２０６
を基体として用い、その蓄熱層２０７上に発熱抵抗体層
２０８としてＴａ５゜（Ｆｅ、３Ｎｉ、。
Ｃｒ １７） ｓｏを基体温度を１００℃にし、スパッ
タリング法にて２４００人の膜厚で成膜し、更にその上
にＡｔ層を５０００人の膜厚でスパッタリング法により
成膜した。
タリング法にて２４００人の膜厚で成膜し、更にその上
にＡｔ層を５０００人の膜厚でスパッタリング法により
成膜した。
次に、フォトリソ工程により第２図に示しような所望の
形状にＡ１層および発熱抵抗体層をパターニングして、
発熱抵抗体２０１と一対の電極２０９．２１０を有する
電気熱変換体を形成した。
形状にＡ１層および発熱抵抗体層をパターニングして、
発熱抵抗体２０１と一対の電極２０９．２１０を有する
電気熱変換体を形成した。
更に、この基板の上に保護層２１３，２１４として感光
性ポリイミド（東し社製、フォトニース）をスピンコー
ドし、所定の形状にパターニングした。
性ポリイミド（東し社製、フォトニース）をスピンコー
ドし、所定の形状にパターニングした。
以上のようにして電気熱変換体を形成した基板２０２上
に、液路２０４となる溝を有するガラス板２０３をエポ
キシ系接着剤を介して積層して第１図および第２図に示
したような構成を有する液体噴射記録ヘッドを得た。
に、液路２０４となる溝を有するガラス板２０３をエポ
キシ系接着剤を介して積層して第１図および第２図に示
したような構成を有する液体噴射記録ヘッドを得た。
実施例２
発熱抵抗体層として厚さ２３００人のＴｉ２ｓ（Ｆ ｅ
７３Ｎ ｉ １ａｃ ｒ １７） ７５をスパッタリ
ングした以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製
した。
７３Ｎ ｉ １ａｃ ｒ １７） ７５をスパッタリ
ングした以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製
した。
実施例３
発熱抵抗体層として厚さ２０００人のＺｒ２８（Ｆｅ、
、、Ｎｉ 、ｏＣｒ、、）、２をスパッタリングした以
外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
、、Ｎｉ 、ｏＣｒ、、）、２をスパッタリングした以
外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
実施例４
発熱抵抗体層として厚さ２１００人のＨｆ２ａ（Ｆ ｅ
、３Ｎ ｉ 、ＯＣｒ 、７） 、２をスパッタリン
クシタ以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製し
た。
、３Ｎ ｉ 、ＯＣｒ 、７） 、２をスパッタリン
クシタ以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製し
た。
実施例５
発熱抵抗体層として厚さ２４００人のＮｂ５ｅ（Ｆ ｅ
６８Ｎ １１１Ｃｒ ２１） ４４をスパッタリング
した以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した
。
６８Ｎ １１１Ｃｒ ２１） ４４をスパッタリング
した以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した
。
実施例６
発熱抵抗体層として厚さ２１００人のＷ３、（Ｆｅ６８
Ｎ ｉ 目Ｃｒ ２□）６９をスパッタリングした以外
は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
Ｎ ｉ 目Ｃｒ ２□）６９をスパッタリングした以外
は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
実施例７
発熱抵抗体層として厚さ１９００人のＴ ａ ３２Ｔ
ｉ ＋ａ（Ｆｅ、３Ｎ ｉ 、。Ｃｒ、、） ５ｏをス
パッタリングした゛以外は実施例１ど同様にして記録ヘ
ッドを作製した。
ｉ ＋ａ（Ｆｅ、３Ｎ ｉ 、。Ｃｒ、、） ５ｏをス
パッタリングした゛以外は実施例１ど同様にして記録ヘ
ッドを作製した。
実施例８
発熱抵抗体層として厚さ２２００人のＮｂ２８Ｚｒ２゜
（Ｆｅ、３Ｎｉ、、Ｃｒ、、） ５２をスパッタリング
した以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した
。
（Ｆｅ、３Ｎｉ、、Ｃｒ、、） ５２をスパッタリング
した以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した
。
実施例９
発熱抵抗体層として厚さ１８００人のＨｆ ３Ｂｗ ２
２（Ｆ ｅ ７３Ｎ ｉ ｒｏｃ ｒ Ｉ７） ４３を
スパッタリングした以外は実施例１と同様にして記録ヘ
ッドを作製した。
２（Ｆ ｅ ７３Ｎ ｉ ｒｏｃ ｒ Ｉ７） ４３を
スパッタリングした以外は実施例１と同様にして記録ヘ
ッドを作製した。
実施例１０
発熱抵抗体層として厚さ２０００人のＴａ４゜Ｔｉ、３
Ｎ ｂ ＋＋ （Ｆ ｅ ７３Ｎ ｉ ＋ｏＣｒ Ｉ７
） ３Ｂをスパッタリングした以外は実施例１と同様に
して記録ヘッドを作製した。
Ｎ ｂ ＋＋ （Ｆ ｅ ７３Ｎ ｉ ＋ｏＣｒ Ｉ７
） ３Ｂをスパッタリングした以外は実施例１と同様に
して記録ヘッドを作製した。
比較例１
発熱抵抗体層として厚さ２５００人のＨｆＢ２をスパッ
タリングした以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを
作製した。
タリングした以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを
作製した。
比較例２
発熱抵抗体層として厚さ２４００人のＴｉ９（Ｆ ｅ
７３Ｎ ｉ ｒｏｃ ｒ １７） ９１をスパッタリン
グした以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製し
た。
７３Ｎ ｉ ｒｏｃ ｒ １７） ９１をスパッタリン
グした以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製し
た。
なお、この組成を有する膜をＸ線回折測定で分析したと
ころ多結晶膜であった。
ころ多結晶膜であった。
以上の実施例１〜６および比較例１．２で得た記録ヘッ
ドをそれぞれ用いて液体噴射記録用のインクを用いて以
下の条件で記録を行ない、その耐久性を試験した。
ドをそれぞれ用いて液体噴射記録用のインクを用いて以
下の条件で記録を行ない、その耐久性を試験した。
記録条件；駆動パルスを２ ｋＨｚ、５μｓｅｃとし、
印加エネルギーは液体噴射閾値 エネルギーの１．３倍とした。
印加エネルギーは液体噴射閾値 エネルギーの１．３倍とした。
得られた結果から作成した故障率のワイブルプロットを
第３図に示す。なお、発熱抵抗体の抵抗値が初期値の１
２０％を越えた時点を故障と認定した。
第３図に示す。なお、発熱抵抗体の抵抗値が初期値の１
２０％を越えた時点を故障と認定した。
第３図からも明らかであるように、比較例１．２で作製
した記録ヘッドに対し、実施例１〜６の本発明の記録ヘ
ッドは全て長寿命であった。
した記録ヘッドに対し、実施例１〜６の本発明の記録ヘ
ッドは全て長寿命であった。
［発明の効果コ
本発明の液体噴射記録ヘッド用基板を用いた記録ヘッド
は、発熱抵抗体に特定の組成を有するアモルファス合金
膜を用いたことにより、発熱抵抗体上に保護膜がない構
成としてた場合でも、十分な耐久性を有するものである
。
は、発熱抵抗体に特定の組成を有するアモルファス合金
膜を用いたことにより、発熱抵抗体上に保護膜がない構
成としてた場合でも、十分な耐久性を有するものである
。
したがって、液体への熱伝導が効率良く行なわれ、少な
い消費電力での使用が可能であり、かつ耐久性に優れた
記録ヘッドが本発明により提供された。
い消費電力での使用が可能であり、かつ耐久性に優れた
記録ヘッドが本発明により提供された。
第１図は液体噴射記録ヘッドの主要部の構造を示す部分
断面図、第２図は液体噴射記録ヘッドの主要部の構造を
示す模式的展開斜視図、第３図は実施例および比較例で
得た液体噴射記録ヘッドの耐久性試験の結果を表わすワ
イブルプロットである。 ２０１；発熱抵抗体 ２０２；基板 ２０３；天板 ２０４；液路 ２０５；液路壁 ２０６；基体 ２０７：蓄熱層 ２０８；発熱抵抗体層２０９．
２１０；電極 ２１３．２１４ ：保護層２１７
：吐出口
断面図、第２図は液体噴射記録ヘッドの主要部の構造を
示す模式的展開斜視図、第３図は実施例および比較例で
得た液体噴射記録ヘッドの耐久性試験の結果を表わすワ
イブルプロットである。 ２０１；発熱抵抗体 ２０２；基板 ２０３；天板 ２０４；液路 ２０５；液路壁 ２０６；基体 ２０７：蓄熱層 ２０８；発熱抵抗体層２０９．
２１０；電極 ２１３．２１４ ：保護層２１７
：吐出口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）液体を吐出する吐出口と；該吐出口に連通し、液体
を吐出するために利用される熱エネルギーが液体に作用
する部分を有する液路と；発熱抵抗体と該発熱抵抗体に
電気的に接続された一対の電極とを有する前記熱エネル
ギーを発生させるための電気熱変換体とを有する液体噴
射記録ヘッドにおいて、前記発熱抵抗体が、Ｔｉ、Ｚｒ
、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗからなる群より選ばれた１種以
上の元素とＦｅ、ＮｉおよびＣｒを含むアモルファス合
金からなることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ２）基体と、該基体上に設けられた発熱抵抗体と、所定
間隔をおいて前記発熱抵抗体に電気的に接続された一対
の電極とを有する電気熱変換体を具備する液体噴射記録
ヘッド用基板において、前記発熱抵抗体が、Ｔｉ、Ｚｒ
、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗからなる群より選ばれた１種以
上の原子とＦｅ、ＮｉおよびＣｒを含むアモルファス合
金からなることを特徴とする液体噴射記録ヘッド用基板
。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62303712A JP2612580B2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 |
| EP88120024A EP0318982B1 (en) | 1987-12-01 | 1988-11-30 | Liquid jet head, substrate for said head and liquid jet apparatus having said head |
| DE88120024T DE3885241T2 (de) | 1987-12-01 | 1988-11-30 | Trägerschicht für Flüssigkeitsstrahlkopf und Flüssigkeitsstrahlvorrichtung, versehen mit solch einem Kopf. |
| US07/742,728 US5113203A (en) | 1987-12-01 | 1991-08-06 | Liquid jet head, substrate for said head and liquid jet apparatus having said head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62303712A JP2612580B2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01145157A true JPH01145157A (ja) | 1989-06-07 |
| JP2612580B2 JP2612580B2 (ja) | 1997-05-21 |
Family
ID=17924342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62303712A Expired - Fee Related JP2612580B2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5113203A (ja) |
| EP (1) | EP0318982B1 (ja) |
| JP (1) | JP2612580B2 (ja) |
| DE (1) | DE3885241T2 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4965611A (en) * | 1989-03-22 | 1990-10-23 | Hewlett-Packard Company | Amorphous diffusion barrier for thermal ink jet print heads |
| ATE138854T1 (de) * | 1990-02-26 | 1996-06-15 | Canon Kk | Substrat für farbstrahlkopf |
| JP3320825B2 (ja) * | 1992-05-29 | 2002-09-03 | 富士写真フイルム株式会社 | 記録装置 |
| US5666140A (en) * | 1993-04-16 | 1997-09-09 | Hitachi Koki Co., Ltd. | Ink jet print head |
| US5641421A (en) * | 1994-08-18 | 1997-06-24 | Advanced Metal Tech Ltd | Amorphous metallic alloy electrical heater systems |
| JP3513270B2 (ja) * | 1995-06-30 | 2004-03-31 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
| US6022098A (en) * | 1995-08-10 | 2000-02-08 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Ink-jet recorder |
| JP3194465B2 (ja) * | 1995-12-27 | 2001-07-30 | 富士写真フイルム株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
| US5901425A (en) | 1996-08-27 | 1999-05-11 | Topaz Technologies Inc. | Inkjet print head apparatus |
| US6142612A (en) * | 1998-11-06 | 2000-11-07 | Lexmark International, Inc. | Controlled layer of tantalum for thermal ink jet printer |
| US6435660B1 (en) * | 1999-10-05 | 2002-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head substrate, ink jet recording head, ink jet recording unit, and ink jet recording apparatus |
| US20060221114A1 (en) | 2005-04-04 | 2006-10-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | MEMS fluid sensor |
| US7654645B2 (en) | 2005-04-04 | 2010-02-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | MEMS bubble generator |
| EP2043864B1 (en) * | 2006-07-10 | 2013-09-25 | Zamtec Limited | Mems bubble generator |
| WO2010051573A1 (en) | 2008-11-10 | 2010-05-14 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead with increasing drive pulse to counter heater oxide growth |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913056A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-01-23 | Res Inst Iron Steel Tohoku Univ | 高強度、耐疲労、耐全面腐食、耐孔食、耐隙間腐食、耐応力腐食割れ、耐水素脆性用アモルフアス鉄合金 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4296421A (en) * | 1978-10-26 | 1981-10-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording device using thermal propulsion and mechanical pressure changes |
| DE3011919A1 (de) * | 1979-03-27 | 1980-10-09 | Canon Kk | Verfahren zur herstellung eines aufzeichnungskopfes |
| JPS5931942B2 (ja) * | 1979-03-27 | 1984-08-06 | キヤノン株式会社 | 液滴噴射記録装置 |
| US4335389A (en) * | 1979-03-27 | 1982-06-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid droplet ejecting recording head |
| US4336548A (en) * | 1979-07-04 | 1982-06-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Droplets forming device |
| JPS5833472A (ja) * | 1981-08-24 | 1983-02-26 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS59106974A (ja) * | 1982-12-11 | 1984-06-20 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPH0624855B2 (ja) * | 1983-04-20 | 1994-04-06 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッド |
| JPH0613219B2 (ja) * | 1983-04-30 | 1994-02-23 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッド |
| JPS60116452A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-22 | Canon Inc | インクジェットヘッド |
| JPS60116451A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-22 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| DE3446968A1 (de) * | 1983-12-26 | 1985-07-04 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Fluessigkeitsstrahlaufzeichnungskopf |
| JPS60159062A (ja) * | 1984-01-31 | 1985-08-20 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| GB2176443B (en) * | 1985-06-10 | 1990-11-14 | Canon Kk | Liquid jet recording head and recording system incorporating the same |
| DE3618533A1 (de) * | 1985-06-10 | 1986-12-11 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf und diesen fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf enthaltendes aufzeichnungssystem |
| DE3618596A1 (de) * | 1985-06-11 | 1986-12-11 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf und diesen fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf enthaltendes aufzeichnungssystem |
| JPH0729433B2 (ja) * | 1986-03-05 | 1995-04-05 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘツドの作成方法 |
| US4737803A (en) * | 1986-07-09 | 1988-04-12 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Thermal electrostatic ink-jet recording apparatus |
-
1987
- 1987-12-01 JP JP62303712A patent/JP2612580B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1988
- 1988-11-30 EP EP88120024A patent/EP0318982B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-11-30 DE DE88120024T patent/DE3885241T2/de not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-08-06 US US07/742,728 patent/US5113203A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913056A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-01-23 | Res Inst Iron Steel Tohoku Univ | 高強度、耐疲労、耐全面腐食、耐孔食、耐隙間腐食、耐応力腐食割れ、耐水素脆性用アモルフアス鉄合金 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2612580B2 (ja) | 1997-05-21 |
| EP0318982A3 (en) | 1990-01-10 |
| EP0318982B1 (en) | 1993-10-27 |
| DE3885241D1 (de) | 1993-12-02 |
| US5113203A (en) | 1992-05-12 |
| EP0318982A2 (en) | 1989-06-07 |
| DE3885241T2 (de) | 1994-03-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4596994A (en) | Liquid jet recording head | |
| JP2612580B2 (ja) | 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 | |
| US4720716A (en) | Liquid jet recording head | |
| JPS59194866A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPS60116451A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPS6338306B2 (ja) | ||
| JPH0466701B2 (ja) | ||
| US20050157089A1 (en) | Micro-fluid ejection device having high resistance heater film | |
| JPS59143650A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPS59106974A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JP2683350B2 (ja) | 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 | |
| GB2188004A (en) | Liquid jet recording head | |
| JPS5943315B2 (ja) | 液滴噴射記録ヘツド | |
| JPS6131263A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JP3285719B2 (ja) | インクジェットヘッド及び該ヘッドの製造法 | |
| JPS60137663A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| US6547372B1 (en) | Ink jet head | |
| JPS60116453A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JP4258141B2 (ja) | サーマルインクジェットプリントヘッド | |
| JPS60159060A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPS60120067A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPH0470148B2 (ja) | ||
| JPH03187759A (ja) | 液体噴射記録装置 | |
| JPH0512150B2 (ja) | ||
| JPS60157869A (ja) | 液体噴射記録ヘツド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |