JPH01145403A - Hydraulic servo valve - Google Patents
Hydraulic servo valveInfo
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- JPH01145403A JPH01145403A JP30327887A JP30327887A JPH01145403A JP H01145403 A JPH01145403 A JP H01145403A JP 30327887 A JP30327887 A JP 30327887A JP 30327887 A JP30327887 A JP 30327887A JP H01145403 A JPH01145403 A JP H01145403A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、作動流体として水を用いるのに適した水圧サ
ーボ弁に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a hydraulic servo valve suitable for using water as a working fluid.
[従来技術]
電気−油圧サーボ弁(以下油圧サーボ弁という)は、微
弱な電気入力信号を油圧に変換し、作動流体の方向を切
換え且つその流量を変えるもので、工作機械の数値制御
、遠隔操作等に広く用いられている。そのような油圧サ
ーボ弁の従来技術の一例を第2図および第3図について
説明する。[Prior art] Electro-hydraulic servo valves (hereinafter referred to as hydraulic servo valves) convert weak electrical input signals into hydraulic pressure, switch the direction of working fluid, and change its flow rate. Widely used for operations, etc. An example of the prior art of such a hydraulic servo valve will be described with reference to FIGS. 2 and 3.
第2図および第3図において、圧iはポンプポートPか
ら供給される。電気入力信号によりトルクモータ39の
例えばコイル40Rが励磁され可動軸41が右方に移動
してフラッパ32Rが左方へ変位すると、ノズル背圧室
33Rの背圧が上昇してパイロット室34Rが昇圧する
。その結果、スプール35は左方へ変位し、圧油はポン
プポートPからシリンダボートC1を介して図示しない
油圧シリンダに導かれ、油圧シリンダからの戻り油はシ
リンダボートC2から通路36と図示しない通路を介し
てタンクボートRから図示しないりンクへと戻る。一方
、ノズル37Rとフラッパ32Rとの間から流出した油
は通路38を介してタンクボートRからタンクに戻るよ
うになっている。In FIGS. 2 and 3, pressure i is supplied from pump port P. When, for example, the coil 40R of the torque motor 39 is excited by an electric input signal and the movable shaft 41 moves to the right and the flapper 32R is displaced to the left, the back pressure in the nozzle back pressure chamber 33R increases and the pressure in the pilot chamber 34R increases. do. As a result, the spool 35 is displaced to the left, the pressure oil is guided from the pump port P to the hydraulic cylinder (not shown) via the cylinder boat C1, and the return oil from the hydraulic cylinder is transferred from the cylinder boat C2 to the passage 36 and the passage (not shown). The tank boat R returns to a link (not shown) via the tank boat R. On the other hand, oil flowing out from between the nozzle 37R and the flapper 32R returns from the tank boat R to the tank via a passage 38.
ここで、作動流体の油は非常に燃え易いので取扱いに注
意が必要である。また、排油による環境汚染の問題があ
る。Here, the oil used as the working fluid is highly flammable, so care must be taken when handling it. There is also the problem of environmental pollution due to waste oil.
ところで、液圧駆動やその制御はかつては水圧機構であ
り、作動流体として水を用いていた。しかし、作動流体
が水である場合には、作動流体の粘性が小さいので摺動
部の隙間S(第3図)からの洩れが多くて効率が悪く、
また摺動部における摩耗が多く、更に金属材料(特に鉄
)製の機械であれば放置しておくとさびてしまう等の問
題があった。By the way, hydraulic drive and its control used to be a hydraulic mechanism, using water as the working fluid. However, when the working fluid is water, the viscosity of the working fluid is low, so there is a lot of leakage from the gap S (Fig. 3) in the sliding part, resulting in poor efficiency.
Furthermore, there is a problem that there is a lot of wear on the sliding parts, and if the machine is made of metal material (particularly iron), it will rust if left unused.
近時、プラスチック等新素材の進歩は目ざましく、水を
作動流体とした場合の問題点の1つである上記のさびの
問題は、機械中の少なくとも作動流体と接触する部分を
新素材で形成することによって解決可能であるが、しか
し、作動流体の粘性が小さいことによる摩耗の問題が依
然として存在し、また洩れを抑えるために摺動部を高精
度に加工することは新素材では困難である。また、ノズ
ル37L、37Rとフラッパ32L、32Rとの間の間
隙が小さいので、スプール35のストロークを大きくと
ることができず、従って流量を大きくすることができな
い、また隙間S1からの洩れが依然として存在し、フラ
ッパamの応答性に問題がある。更に、従来のサーボ弁
は左右のフラッパ機構の特性が同一なので、シリンダな
どを2速制御したり、片側ロッドのシリンダの運動を精
度よく制御したりすることに不都合があった。Recently, advances in new materials such as plastics have been remarkable, and the problem of rust mentioned above, which is one of the problems when using water as a working fluid, can be solved by forming at least the parts of the machine that come into contact with the working fluid with new materials. However, the problem of wear due to the low viscosity of the working fluid still exists, and it is difficult with new materials to process the sliding parts with high precision to prevent leakage. . Furthermore, since the gaps between the nozzles 37L, 37R and the flappers 32L, 32R are small, the stroke of the spool 35 cannot be made large, and therefore the flow rate cannot be increased, and leakage still exists from the gap S1. However, there is a problem with the responsiveness of the flapper AM. Furthermore, since the characteristics of the left and right flapper mechanisms of conventional servo valves are the same, it is inconvenient to control the cylinder at two speeds or to precisely control the movement of the cylinder on one side of the valve.
[発明の目的]
本発明は上記した従来技術の問題点に鑑みて提案された
もので、作動流体に水を用いることができ、且つ摩耗、
さび、洩れ等の問題を解決するとともに、流量を大きく
し、かつフラッパa構の応答性を改善し、両フラッパ機
構の特性を変えることができる水圧サーボ弁を提供する
ことを目的としている。[Object of the Invention] The present invention was proposed in view of the problems of the prior art described above.
It is an object of the present invention to provide a hydraulic servo valve that can solve problems such as rust and leakage, increase the flow rate, improve the responsiveness of the flapper mechanism A, and change the characteristics of both flapper mechanisms.
[発明の構成]
本発明の水圧サーボ弁によれば、弁本体内を変位して作
動流体の方向を切換え且つ流量を変化せしめるスプール
と、該スプールを変位させるパイロット圧が印加される
ノズル背圧室と、ノズルおよびフラッパからなるフラッ
パ機構とを備えたサーボ弁において、一対のフラッパの
外側の弁本体の同一軸線上に一対のスプール、ノズルお
よびノズル背圧室を設け、それら一対のスプールのそれ
ぞれの両端に静圧軸受を形成し、ポンプポートから該静
圧軸受を介し前記ノズル背圧室に至る作動流体の通路を
形成し、前記一対のスプールのそれぞれに変位計を設け
、それらの変位計からの検出信号に基づき一方のスプー
ルの変位に応じて他方のスプールの変位を制御する制御
手段を設けている。[Structure of the Invention] According to the hydraulic servo valve of the present invention, a spool that is displaced within the valve body to switch the direction of the working fluid and change the flow rate, and a nozzle back pressure to which pilot pressure that displaces the spool is applied. In a servo valve equipped with a flapper chamber and a flapper mechanism consisting of a nozzle and a flapper, a pair of spools, a nozzle, and a nozzle back pressure chamber are provided on the same axis of the valve body outside the pair of flappers, and each of the pair of spools is A static pressure bearing is formed at both ends of the spool, and a working fluid passage is formed from the pump port to the nozzle back pressure chamber via the static pressure bearing, and a displacement gauge is provided on each of the pair of spools, and the displacement gauge Control means is provided for controlling the displacement of one spool in accordance with the displacement of the other spool based on the detection signal from the spool.
[発明の作用効果コ
本発明の水圧サーボ弁によれば、スプールの両端に形成
した静圧軸受により、スプールと弁本体とを非接触状態
に保ち両者の摩耗をなくすことができると共に、スプー
ルと弁本体との摺動部における加工精度を低くすること
ができる。これにより、精密加工が困難な新素材(例え
ばプラスチック等)を材料として弁体を製造することが
でき、その結果、作動流体が水であってもさびの発生を
防止することができる。さらに作動流体として水を用い
れば、作動流体が不燃性であり、その取扱いも容易とな
る。そして作動流体を廃棄しても環境汚染の原因となる
ことはない。また、作動流体の一部を静圧軸受にも積極
的に利用することによって、洩れの問題も解決すること
ができる。更にスプールとフラッパ機構を分離、即ちフ
ラッパ機構のノズルをスプールとは別体に形成し、スプ
ールの変位の範囲を拡大して、流量を大きくし、且つス
プールの弁本体貫通部からの洩れをなくしているので、
その分、フラッパ機構の応答性を改善することができる
。これに加えて本発明の水圧サーボ弁によれば、制御手
段により一方のスプールの変位に応じた他方のスプール
の変位を制御し、両スプール機構の特性を変えることが
できる。従来の弁で片側ロッドシリンダを制御すると、
シリンダの面積が異なり左右運動の特性に当然のことな
がら差が現れ、時定数等が異ってしまう、一方、両側ロ
ッドシリンダの製作は片側ロッドシリンダに比べ一般的
に精度の点でむずかしいという問題があった。本発明に
よれば、片側ロッドシリンダにおいても、本サーボ弁を
用いれば、両方向の運動に対し、同じ特性或いは精度で
制御が可能となる。[Operations and Effects of the Invention] According to the hydraulic servo valve of the present invention, the spool and the valve body can be kept in a non-contact state and wear can be eliminated by the static pressure bearings formed at both ends of the spool. Machining accuracy at the sliding portion with the valve body can be lowered. As a result, the valve body can be manufactured from a new material (for example, plastic) that is difficult to precisely process, and as a result, rust can be prevented even if the working fluid is water. Furthermore, when water is used as the working fluid, the working fluid is nonflammable and easy to handle. And even if the working fluid is disposed of, it will not cause environmental pollution. Further, by actively utilizing a portion of the working fluid for the hydrostatic bearing, the problem of leakage can also be solved. Furthermore, the spool and flapper mechanism are separated, that is, the nozzle of the flapper mechanism is formed separately from the spool, expanding the range of displacement of the spool, increasing the flow rate, and eliminating leakage from the spool's passage through the valve body. Because
The responsiveness of the flapper mechanism can be improved accordingly. In addition, according to the hydraulic servo valve of the present invention, the control means can control the displacement of one spool in accordance with the displacement of the other spool, thereby changing the characteristics of both spool mechanisms. When controlling a single-sided rod cylinder with a conventional valve,
The problem is that the area of the cylinder is different, so naturally there are differences in the characteristics of left-right motion, and the time constants etc. are also different.On the other hand, manufacturing a double-sided rod cylinder is generally more difficult in terms of accuracy than a single-sided rod cylinder. was there. According to the present invention, even in a single-sided rod cylinder, if this servo valve is used, movement in both directions can be controlled with the same characteristics or accuracy.
[実施例] 以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。[Example] The present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
第1図において、プラスチック材等の不錆材からなる弁
本体1の同一水平軸線上には、スリーブ2L、2Rとノ
ズル背圧室3L、3Rとノズル4L、4Rとが対向して
形成されており、そしてこのスリーブ2L、2Rにはプ
ラスチック材等の不錆材からなるスプール15!−11
5Rが収められている。ノズル4L、4Rは弁本体1に
形成された中央室5内に突出しており、そのノズル4L
、4Rの間には隙間Aが形成され、その隙間Aには弁本
体1に固設された図示しないトルクモータのフラッパ2
8L、28Rがそれぞれノズル4L、4Rとわずかの隙
間Bを隔てて挿通されている。In FIG. 1, sleeves 2L, 2R, nozzle back pressure chambers 3L, 3R, and nozzles 4L, 4R are formed facing each other on the same horizontal axis of a valve body 1 made of a rust-resistant material such as a plastic material. The sleeves 2L and 2R have spools 15 made of rust-resistant material such as plastic! -11
Contains 5R. The nozzles 4L and 4R protrude into the central chamber 5 formed in the valve body 1.
A gap A is formed between , 4R, and a flapper 2 of a torque motor (not shown) fixed to the valve body 1 is installed in the gap A.
8L and 28R are inserted through the nozzles 4L and 4R, respectively, with a slight gap B between them.
スリーブ2L、2Rにはスリーブボート6L、6Rおよ
びスリーブボー)7L、7Rが形成されており、スリー
ブボート6L、6Rは通路8を介してポンプポートPに
接続され、スリーブボート7L、7Rはタンクボー)R
1、R2に接続されている。Sleeve boats 6L, 6R and sleeve boats 7L, 7R are formed in the sleeves 2L, 2R, and the sleeve boats 6L, 6R are connected to the pump port P via a passage 8, and the sleeve boats 7L, 7R are tank boats). R
1, connected to R2.
スリーブ2L、2Rのノズル4L、4Rと反対側の端部
において、弁本体1のケーシングとスプール15L、1
5Rとの間には、ばね29L、29Rを介装したばね室
10L、IORが形成されている。これらのばね室10
L、IORは、それぞれオリフィス30L、30Rを介
装した通路11L、IIRにより、タンクボートR1、
R2および中央室5に接続されている。At the ends of the sleeves 2L, 2R opposite to the nozzles 4L, 4R, the casing of the valve body 1 and the spools 15L, 1
5R, a spring chamber 10L and IOR are formed with springs 29L and 29R interposed therebetween. These spring chambers 10
L, IOR are connected to tank boat R1,
R2 and the central chamber 5.
スプール15L、15Rとスリーブ2L、2Rとの間に
は隙間Cが形成され、スプール15L、15Rの中程に
はスリーブボート6L、7Lどの間の間隔およびスリー
ブボート6R17Rとの間の間隔よりも長手方向寸法が
若干短い巾の小径部16L、16Rが形成されている。A gap C is formed between the spools 15L, 15R and the sleeves 2L, 2R, and a gap C is formed in the middle of the spools 15L, 15R. Small diameter portions 16L and 16R are formed which have a slightly shorter width in the direction dimension.
そしてされら小径部16L、16Rとスリーブ2L、2
Rとの間に形成される室12L、12Rは、それぞれ図
示しない液(水)圧シリンダへのシリンダボートC1、
C2に接続されている。また、スプール15L、15H
の両端部には公知の静圧軸受18L、18Rと静圧軸受
19L、19Rとが形成されている。なお、第1図にお
いてはスプール15Rの静圧軸受18R121Rのみが
示されている。スプール15R側を例に説明すると、静
圧軸受18Rはポケット19、オリフィス20を備え、
静圧軸受21Rはポケット22、オリフィス23を備え
ており、そしてそれぞれ室24.25および通路26を
介してスリーブボート6Rに接続されている。即ち、ポ
ンプポートPは通路8、スリーブボート6R1通路26
、室24、静圧軸受18R1隙間Cおよびパイロット室
9Rを介してノズル背圧室3Rに連通され、また、通路
26、室25、静圧軸受21Rおよび隙間Cを介してば
ね室10Rに連通されている。Then, the small diameter portions 16L, 16R and the sleeves 2L, 2
The chambers 12L and 12R formed between the cylinder boats C1 and R are respectively connected to a liquid (water) pressure cylinder (not shown).
Connected to C2. Also, spools 15L, 15H
Known static pressure bearings 18L, 18R and static pressure bearings 19L, 19R are formed at both ends of the shaft. In addition, in FIG. 1, only the static pressure bearing 18R121R of the spool 15R is shown. Taking the spool 15R side as an example, the hydrostatic bearing 18R includes a pocket 19, an orifice 20,
The hydrostatic bearing 21R is provided with a pocket 22, an orifice 23 and is connected to the sleeve boat 6R via a chamber 24, 25 and a passage 26, respectively. That is, the pump port P is connected to the passage 8 and the sleeve boat 6R1 passage 26.
, communicates with the nozzle back pressure chamber 3R via the chamber 24, the static pressure bearing 18R1 gap C and the pilot chamber 9R, and communicates with the spring chamber 10R via the passage 26, the chamber 25, the static pressure bearing 21R and the gap C. ing.
また、スプール15L、15Rの外端部には変位棒15
La、15Raが設けられており、それら変位棒15L
a、15Raは弁本体1に設けられた変位計13L、1
3Rのコイル13La、13Raに挿通されている。そ
して、変位計13L、13Rとトルクモータは図示しな
いマイクロコンピュータに接続されている。これにより
、例えば片側ロッドシリンダにおいても、両方向の運動
に対して同じ特性あるいは精度で制御することが可能と
なる。In addition, displacement rods 15 are provided at the outer ends of the spools 15L and 15R.
La, 15Ra are provided, and these displacement rods 15L
a, 15Ra are displacement meters 13L, 1 provided in the valve body 1;
It is inserted through the 3R coils 13La and 13Ra. The displacement gauges 13L and 13R and the torque motor are connected to a microcomputer (not shown). This makes it possible to control movement in both directions with the same characteristics or accuracy, even in a one-sided rod cylinder.
次に作用について説明する。Next, the effect will be explained.
右側のスプール15Rを例に説明すると、圧液はポンプ
ポートPから通路8、スリーブボート6Rを通り通路2
6で左右に分岐される。左方向へ流れた圧液は室24を
介してオリフィス20、ポケット19、隙間C、パイロ
ット室9R、ノズル背圧室3R、ノズル4Rを通り、ノ
ズル4Rとフラッパ28との間から中央室5、通路11
Rを通ってタンクボートR2に流れ、図示しないタンク
に戻る。室25からの液はオリフィス23、ポケット2
2、隙間Cを通り、ばね室10Rからオリフィス30R
1通路11Rを通りタンクポートR2へ流れ、タンクに
戻る。ここで、オリフィス30Rを経て直接タンクに戻
る圧液の液量は損失となるが、通路26における圧液の
左右の分配の比率を静圧軸受18R121Rのオリフィ
ス20.23の絞り効果、ポケット19.22の面積、
隙間Cの大きさにより調整することができる。Taking the right spool 15R as an example, the pressure liquid flows from the pump port P through passage 8 and sleeve boat 6R to passage 2.
It branches left and right at 6. The pressure liquid flowing to the left passes through the chamber 24, the orifice 20, the pocket 19, the gap C, the pilot chamber 9R, the nozzle back pressure chamber 3R, and the nozzle 4R, and flows from between the nozzle 4R and the flapper 28 to the central chamber 5, Passage 11
It flows through R to tank boat R2 and returns to a tank (not shown). The liquid from chamber 25 flows through orifice 23 and pocket 2.
2. Pass through gap C, from spring chamber 10R to orifice 30R
It flows through the first passage 11R to the tank port R2 and returns to the tank. Here, the amount of pressure liquid that returns directly to the tank via the orifice 30R is lost, but the ratio of left and right distribution of the pressure liquid in the passage 26 is determined by the throttling effect of the orifice 20.23 of the hydrostatic bearing 18R121R, the pocket 19. Area of 22,
It can be adjusted by changing the size of the gap C.
このように、静圧軸受18R121Rによりスプール1
5Rをスリーブ2Rに対し非接触に支持して両者の摩耗
をなくし、摩耗に基づく各種弊害の発生を防止すること
ができる。更にプラスチック材でできたスプール15R
、スリーブ2Rの加工精度を高くする必要がなくなり、
しかもプラスチック材でサーボ弁を製造しているので水
さびを防止することができる。In this way, the spool 1 is
It is possible to support the sleeve 2R in a non-contact manner to eliminate wear between the sleeves 2R and 2R, thereby preventing various problems caused by the wear. Furthermore, the spool 15R is made of plastic material.
, there is no need to increase the machining accuracy of sleeve 2R,
Moreover, since the servo valve is made of plastic material, water rust can be prevented.
作動に際し、トルクモータへの電気入力信号により例え
ばフラッパ28Rが左方に移動すると、ノズル背圧室3
Rの圧力が低下する。その結果、パイロット室9Rが降
圧してスプール15Rはばね29Rによって左方に移動
する。そしてスプール15Rの左方への変位は変位棒1
5Raを介し変位計13Rにより検出され、マイクロコ
ンピュータに入力される。スプール15Rが左方へ変位
すると、ポンプポートPからの圧液は通路8、スリーブ
ボー)6R1室12R、シリンダポートC2を介して液
圧シリンダに導かれる。一方、スプール15Lの現在位
置は変位計13Lで検出され、マイクロコンピュータに
入力される。マイクロコンピュータは変位計13Lの検
出値を変位計13Rの検出値と比較し、例えば、変位計
13Lと13Rとの検出値の差が零となるように信号を
トルクモータに出力し、トルクモータはその信号に基づ
いてフラッパ28Lを左方に移動する。これによりノズ
ル背圧室3Lおよびパイロット室9Lの圧力が上昇し、
スプール15Lはばね29Lに抗して左方に変位する。During operation, when the flapper 28R moves to the left due to an electrical input signal to the torque motor, the nozzle back pressure chamber 3
The pressure at R decreases. As a result, the pressure in the pilot chamber 9R decreases and the spool 15R is moved to the left by the spring 29R. The leftward displacement of spool 15R is caused by displacement rod 1.
5Ra, it is detected by the displacement meter 13R, and input to the microcomputer. When the spool 15R is displaced to the left, the pressure fluid from the pump port P is guided to the hydraulic cylinder via the passage 8, the sleeve bow) 6R1 chamber 12R, and the cylinder port C2. On the other hand, the current position of the spool 15L is detected by the displacement meter 13L and input to the microcomputer. The microcomputer compares the detected value of the displacement meter 13L with the detected value of the displacement meter 13R, and outputs a signal to the torque motor so that, for example, the difference between the detected values of the displacement meters 13L and 13R becomes zero, and the torque motor Based on the signal, the flapper 28L is moved to the left. As a result, the pressure in the nozzle back pressure chamber 3L and the pilot chamber 9L increases,
The spool 15L is displaced to the left against the spring 29L.
スプール15Lが左方へ変位すると、液圧シリンダから
の戻り液はシリンダボートC1、室12L、スリーブポ
ート7L、タンクボー)R1を介してタンクに戻される
。フラッパ28Lが右方に移動した場合は、水圧サーボ
弁は前述の態様とは逆に作動し、スプール15Lはばね
29Lによって右方へ移動する。When the spool 15L is displaced to the left, the liquid returned from the hydraulic cylinder is returned to the tank via the cylinder boat C1, the chamber 12L, the sleeve port 7L, and the tank boat R1. When the flapper 28L moves to the right, the hydraulic servo valve operates in the opposite manner to the above-described mode, and the spool 15L moves to the right by the spring 29L.
このように、マイクロコンピュータに変位計13Lと1
3Rとの検出値を入力し、その検出値の差に基づいてコ
ンピュータが信号を出力して両フラッパl11rRの特
性を変えることができる。In this way, the microcomputer is connected to the displacement meter 13L and 1.
3R is input, and the computer outputs a signal based on the difference between the detected values to change the characteristics of both flappers l11rR.
−[まとめ]
以上説明したように本発明の水圧サーボ弁によれば、も
れ流量や作動流体の一部を積極的に利用して静圧軸受を
形成し、スプールを非接触に支持してスリーブとスプー
ルの摩耗を防止し、また、加工精度を低くすることがで
きる。そのためスプールとスリーブをプラスチック材等
の不錆材を用いて製造することができ、作動流体に水を
用いても水さびを防止することができる。又、スプール
とフラッパamを分離し、スプールの変位範囲を拡げて
流量を大きくし、かつスプールと弁本体の貫通隙間をな
くして洩れをなくし、その分、フラッパ機構の応答性を
向上することができる。更にマイクロコンピュータによ
って両フラッパ機構の特性を変え、シリンダなどを2速
制御し、片側ロッドのシリンダの運動を精度よく制御す
ることができる。- [Summary] As explained above, according to the hydraulic servo valve of the present invention, the leakage flow rate and a part of the working fluid are actively used to form a hydrostatic bearing, and the spool is supported without contact. This prevents wear on the sleeve and spool, and also reduces machining accuracy. Therefore, the spool and sleeve can be manufactured using a rust-resistant material such as a plastic material, and water rust can be prevented even if water is used as the working fluid. In addition, the spool and flapper am are separated, the spool's displacement range is expanded to increase the flow rate, and the through gap between the spool and the valve body is eliminated to eliminate leakage, thereby improving the responsiveness of the flapper mechanism. can. Furthermore, the characteristics of both flapper mechanisms can be changed by a microcomputer, the cylinders, etc. can be controlled at two speeds, and the movement of the cylinder of one rod can be precisely controlled.
第1図は本発明の一未施例を示す側断面図、第2図は従
来の油圧サーボ弁を示す側断面図、第3図は第2図の要
部の拡大図である。
1・・・弁本体 2L、2R・・・スリーブ3L、3
R・・・ノズル背圧室 4L、4R・・・ノズル
8.26・・・通路 9L、9R・・・パイロット室
13L、13R・・・変位計 15L、15R・
・・スプール18L、18R121L、21R・・・静
圧軸受28L、28R・・・フラッパ
特許出願人 浦 1) 暎 三FIG. 1 is a side sectional view showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side sectional view showing a conventional hydraulic servo valve, and FIG. 3 is an enlarged view of the main part of FIG. 2. 1... Valve body 2L, 2R... Sleeve 3L, 3
R...Nozzle back pressure chamber 4L, 4R...Nozzle
8.26... Passage 9L, 9R... Pilot room 13L, 13R... Displacement meter 15L, 15R.
...Spools 18L, 18R121L, 21R...Static pressure bearings 28L, 28R...Flapper patent applicant Ura 1) Mizo Eki
Claims (1)
を変化せしめるスプールと、該スプールを変位させるパ
イロット圧が印加されるノズル背圧室と、ノズルおよび
フラッパからなるフラッパ機構とを備えたサーボ弁にお
いて、一対のフラッパの外側の弁本体の同一軸線上に一
対のスプール、ノズルおよびノズル背圧室を設け、それ
ら一対のスプールのそれぞれの両端に静圧軸受を形成し
、ポンプポートから該静圧軸受を介し前記ノズル背圧室
に至る作動流体の通路を形成し、前記一対のスプールの
それぞれに変位計を設け、それらの変位計からの検出信
号に基づき一方のスプールの変位に応じて他方のスプー
ルの変位を制御する制御手段を設けたことを特徴とする
水圧サーボ弁。A servo equipped with a spool that is displaced within the valve body to switch the direction of working fluid and change the flow rate, a nozzle back pressure chamber to which pilot pressure is applied to displace the spool, and a flapper mechanism consisting of a nozzle and a flapper. In the valve, a pair of spools, a nozzle, and a nozzle back pressure chamber are provided on the same axis of the valve body outside the pair of flappers, and static pressure bearings are formed at both ends of each of the pair of spools. A passage for working fluid leading to the nozzle back pressure chamber via a pressure bearing is provided, and a displacement gauge is provided on each of the pair of spools, and based on detection signals from the displacement gauges, the displacement of one spool is determined according to the displacement of the other spool. A water pressure servo valve characterized in that it is provided with a control means for controlling the displacement of a spool.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30327887A JPH01145403A (en) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | Hydraulic servo valve |
| PCT/JP1988/001221 WO1989005407A1 (en) | 1987-12-02 | 1988-12-02 | Hydraulic servo valve |
| US07/476,443 US5186213A (en) | 1987-12-02 | 1988-12-02 | 29 |
| DE3889668T DE3889668T2 (en) | 1987-12-02 | 1988-12-02 | HYDRAULIC SERVO VALVE. |
| EP89900147A EP0399044B1 (en) | 1987-12-02 | 1988-12-02 | Hydraulic servo valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30327887A JPH01145403A (en) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | Hydraulic servo valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01145403A true JPH01145403A (en) | 1989-06-07 |
Family
ID=17919039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30327887A Pending JPH01145403A (en) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | Hydraulic servo valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01145403A (en) |
-
1987
- 1987-12-02 JP JP30327887A patent/JPH01145403A/en active Pending
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