JPH01145405A - Hydraulic servo valve - Google Patents

Hydraulic servo valve

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Publication number
JPH01145405A
JPH01145405A JP30328087A JP30328087A JPH01145405A JP H01145405 A JPH01145405 A JP H01145405A JP 30328087 A JP30328087 A JP 30328087A JP 30328087 A JP30328087 A JP 30328087A JP H01145405 A JPH01145405 A JP H01145405A
Authority
JP
Japan
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spools
flapper
spool
nozzle
working fluid
Prior art date
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Pending
Application number
JP30328087A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Eizo Urata
暎三 浦田
Shinpei Miyagawa
新平 宮川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Research Co Ltd
Original Assignee
Ebara Research Co Ltd
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Publication date
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Priority to DE3889668T priority patent/DE3889668T2/en
Priority to EP89900147A priority patent/EP0399044B1/en
Publication of JPH01145405A publication Critical patent/JPH01145405A/en
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Abstract

PURPOSE:To improve the responsiveness of a flapper mechanism by providing a pair of spools, nozzles and nozzle back pressure chambers on the coaxial line of a valve unit in both sides of a flapper and forming a static pressure bearing in both ends of the pair of spools. CONSTITUTION:A valve unit 1 forms on its horizontal coaxial line sleeves 2L, 2R, nozzle back pressure chambers 3L, 3R and nozzles 4L, 4R being opposed facing. Spools 15L, 15R are housed in these sleeves 2L, 2R, forming static pressure bearings 18R, 21R, in the both ends. These static pressure bearings 18R, 21R are connected to a pump port P through a passage 26 and chambers 24, 25. In this way, the spools 15L, 15R, spreading their displacement range, increase a flow quantity, further the valve main unit 1, eliminating its through clearance with the spools 15L, 15R, eliminates leakage, and a flapper mechanism enables its responsiveness to be improved.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、作動流体として水を用いるのに適した水圧サ
ーボ弁に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a hydraulic servo valve suitable for using water as a working fluid.

[従来技術] 電気−油圧サーボ弁(以下油圧サーボ弁という)は、微
弱な電気入力信号を油圧に変換し、作動流体の方向を切
換え且つその流量を変えるもので、工作機械の数値制御
、遠隔操作等に広く用いられている。そのような油圧サ
ーボ弁の従来技術の一例を第2図および第3図について
説明する。
[Prior art] Electro-hydraulic servo valves (hereinafter referred to as hydraulic servo valves) convert weak electrical input signals into hydraulic pressure, switch the direction of working fluid, and change its flow rate. Widely used for operations, etc. An example of the prior art of such a hydraulic servo valve will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

第2図および第3図において、圧油はポンプポートPか
ら供給される。電気入力信号によりトルクモータ39の
例えばコイル40Rが励磁され可動軸41が右方に移動
してフラッパ32Rが左方へ変位すると、ノズル背圧室
33Rの背圧が上昇してパイロット室34Rが昇圧する
。その結果、スプール35は左方へ変位し、圧油はポン
プポートPからシリンダボートC1を介して図示しない
油圧シリンダに導かれ、油圧シリンダからの戻り油はシ
リンダボートC2から通路36とタンクボートRから図
示しないタンクへと戻る。一方、ノズル37Rとフラッ
パ32Rとの間から流出した油は通路38を介してタン
クボートRからタンクに戻るようになっている。
In FIGS. 2 and 3, pressure oil is supplied from pump port P. When, for example, the coil 40R of the torque motor 39 is excited by an electric input signal and the movable shaft 41 moves to the right and the flapper 32R is displaced to the left, the back pressure in the nozzle back pressure chamber 33R increases and the pressure in the pilot chamber 34R increases. do. As a result, the spool 35 is displaced to the left, pressure oil is guided from the pump port P to a hydraulic cylinder (not shown) via the cylinder boat C1, and return oil from the hydraulic cylinder is guided from the cylinder boat C2 to the passage 36 and the tank boat R. Then return to the tank (not shown). On the other hand, oil flowing out from between the nozzle 37R and the flapper 32R returns from the tank boat R to the tank via a passage 38.

ここで、作動流体の油は非常に燃え易いので取扱いに注
意が必要である。また、排油による環境汚染の問題があ
る。
Here, the oil used as the working fluid is highly flammable, so care must be taken when handling it. There is also the problem of environmental pollution due to waste oil.

ところで、液圧駆動や制御はかつては水圧機械であり、
作動流体として水を用いていた。しかし、作動流体が水
である場合には、作動流体の粘性が小さいので摺動部の
隙11ffiS(第3図)からの洩れが多くて効率が悪
く、また摺動部における摩耗が多く、更に金属材料(特
に鉄)製の機械であれば放置しておくとさびてしまう等
の問題があった。
By the way, hydraulic drive and control used to be hydraulic machines.
Water was used as the working fluid. However, when the working fluid is water, the viscosity of the working fluid is low, so there is a lot of leakage from the gap 11ffiS (Fig. 3) in the sliding part, which is poor efficiency, and there is a lot of wear in the sliding part. Machines made of metal materials (particularly iron) have problems such as rusting if left unattended.

近時、プラスチック等新素材の進歩は目ざましく、水を
作動流体とした場合の問題点の1つである上記のさびの
問題は、機械中の少なくとも作動流体と接触する部分を
新素材で形成することによって解決可能である。しかし
、作動流体の粘性が小さいことによる摩耗の問題が依然
として存在し、また洩れを抑えるために摺動部を高精度
に加工することが新素材では困難である。また、ノズル
37L、37Rとフラッパ32L、32Rとの間の間隙
が小さいので、スプール35のストロークを大きくとる
ことができず、従って流量を大きくすることができない
。また隙間S1からの洩れが依然として存在し、フラッ
パ機構の応答性に問題がある。更にフラッパ機構が左右
に配置されているので調整が困難であった。
Recently, advances in new materials such as plastics have been remarkable, and the problem of rust mentioned above, which is one of the problems when using water as a working fluid, can be solved by forming at least the parts of the machine that come into contact with the working fluid with new materials. It can be solved by However, the problem of wear due to the low viscosity of the working fluid still exists, and it is difficult with new materials to machine the sliding parts with high precision to suppress leakage. Further, since the gaps between the nozzles 37L, 37R and the flappers 32L, 32R are small, the stroke of the spool 35 cannot be made large, and therefore the flow rate cannot be made large. Further, leakage from the gap S1 still exists, causing a problem in the responsiveness of the flapper mechanism. Furthermore, since the flapper mechanisms are arranged on the left and right sides, adjustment is difficult.

[発明の目的] 本発明は上記した従来技術の問題点に鑑みて提案された
もので、作動流体に水を用いることができ、且つ摩耗、
さび、洩れ等の問題を解決すると共に、流量を大きくし
、かつフラッパ機構の応答性を改善し、しかも調整が簡
単な水圧サーボ弁を提供することを目的としている。
[Object of the Invention] The present invention was proposed in view of the problems of the prior art described above.
The object of the present invention is to provide a hydraulic servo valve that solves problems such as rust and leakage, increases the flow rate, improves the responsiveness of the flapper mechanism, and is easy to adjust.

[発明の構成] 本発明の水圧サーボ弁によれば、弁本体内を変位して作
動流体の方向を切換え且つ流量を変化せしめるスプール
と、該スプールを変位させるパイロット圧が印加される
ノズル背圧室と、ノズルおよびフラッパからなるフラッ
パ’amとを備えたサーボ弁において、フラッパ両側の
弁本体の同一軸線上に一対のスプール、ノズルおよびノ
ズル背圧室を設け、該一対のスプールのそれぞれの両端
に静圧軸受を形成し、そしてポンプポートから該静圧軸
受を介し前記ノズル背圧室に至る作動流体の通路を形成
している。
[Structure of the Invention] According to the hydraulic servo valve of the present invention, a spool that is displaced within the valve body to switch the direction of the working fluid and change the flow rate, and a nozzle back pressure to which pilot pressure that displaces the spool is applied. In this servo valve, a pair of spools, a nozzle, and a nozzle back pressure chamber are provided on the same axis of the valve body on both sides of the flapper, and both ends of each of the pair of spools are provided. A hydrostatic bearing is formed in the nozzle, and a working fluid passage is formed from the pump port to the nozzle back pressure chamber via the hydrostatic bearing.

[発明の作用効果] 本発明の水圧サーボ弁によれば、スプールの両端に形成
した静圧軸受により、スプールと弁本体とを非接触状態
に保ち両者の摩耗をなくすことができると共に、スプー
ルと弁本体との摺動部における加工精度を低くすること
ができる。これにより、精密加工が困難な新素材(例え
ばプラスチック等)を材料として弁体を製造することが
でき、その結果、作動流体が水であってもさびの発生を
防止することができる。さらに作動流体として水を用い
れば、作動流体が不燃性であり、その取扱いも容易とな
る。そして作動流体を廃棄しても環境汚染の原因となる
ことはない、また、作動流体の一部を静圧軸受にもIW
極的に利用することによって、洩れの問題も解決するこ
とができる。更にスプールとフラッパ機構を分離、即ち
フラッパ機構のノズルをスプールとは別体に形成し、ス
プールの変位の範囲を拡大して、流量を大きくし、且つ
スプールの弁本体貫通部からの洩れをなくしているので
、その分、フラッパ機構の応答性を改善することができ
る。更に、本発明において従来のサーボ弁におけるスプ
ールを2分割して、且つ従来のサーボ弁においては2つ
あったフラッパを1つにまとめたので、フラッパとノズ
ルとの調整が簡単である。
[Operations and Effects of the Invention] According to the hydraulic servo valve of the present invention, the static pressure bearings formed at both ends of the spool can keep the spool and the valve body in a non-contact state and eliminate wear between them. Machining accuracy at the sliding portion with the valve body can be lowered. As a result, the valve body can be manufactured from a new material (for example, plastic) that is difficult to precisely process, and as a result, rust can be prevented even if the working fluid is water. Furthermore, when water is used as the working fluid, the working fluid is nonflammable and easy to handle. Furthermore, even if the working fluid is disposed of, it will not cause environmental pollution, and some of the working fluid will not be used in IW for hydrostatic bearings.
By making full use of it, the problem of leakage can also be solved. Furthermore, the spool and flapper mechanism are separated, that is, the nozzle of the flapper mechanism is formed separately from the spool, expanding the range of displacement of the spool, increasing the flow rate, and eliminating leakage from the spool's passage through the valve body. Therefore, the responsiveness of the flapper mechanism can be improved accordingly. Furthermore, in the present invention, the spool in the conventional servo valve is divided into two parts, and the flappers, which were two in the conventional servo valve, are combined into one, making it easy to adjust the flapper and the nozzle.

[実施例] 以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。[Example] The present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図において、プラスチック材等の不錆材からなる弁
本体1の同一水平軸線上には、スリーブ2L、2Rとノ
ズル背圧室3L、3Rとノズル4L、4Rとが対向して
形成されており、そしてこのスリーブ2L、2Rにはプ
ラスチック材等の不錆材からなるスプール15L、15
R,が収められている。ノズル4L、4Rは弁本体1に
形成された中央室5内に突出しており、そのノズル4L
、4Rの間の隙間にはトルクモータ27のフラッパ28
が挿通されており、そのトルクモータ27は弁本体1に
固設されている。スリーブ2L、2Rにはスリーブボー
ト6L、6Rおよびスリーブポート7L、7Rが形成さ
れており、スリーブボー)6L、6Rは通路8を介して
ポンプポートPに接続され、スリーブボート7L、7R
は図示しない水タンクに連通しているタンクポートR1
、R2に接続されている。
In FIG. 1, sleeves 2L, 2R, nozzle back pressure chambers 3L, 3R, and nozzles 4L, 4R are formed facing each other on the same horizontal axis of a valve body 1 made of a rust-resistant material such as a plastic material. The sleeves 2L and 2R have spools 15L and 15 made of rust-resistant material such as plastic material.
Contains R. The nozzles 4L and 4R protrude into the central chamber 5 formed in the valve body 1.
, 4R is the flapper 28 of the torque motor 27.
is inserted through the valve body 1, and its torque motor 27 is fixed to the valve body 1. Sleeve boats 6L, 6R and sleeve ports 7L, 7R are formed in the sleeves 2L, 2R, and the sleeve boats 6L, 6R are connected to the pump port P via a passage 8,
is tank port R1 communicating with a water tank (not shown)
, R2.

スリーブ2L、2Rのノズル4L、4Rと反対側の端部
において、弁本体1のケーシングとスプール15L、1
5Rとの間には、ばね29L、29Rを介装したばね室
10L、10Rが形成されている。これらのばね室10
L、IORは、それぞれオリフィス30L、30Rを介
装した通路11L、11Rにより、タンクポートR1、
R2および中央室5に接続されている。
At the ends of the sleeves 2L, 2R opposite to the nozzles 4L, 4R, the casing of the valve body 1 and the spools 15L, 1
5R, spring chambers 10L and 10R are formed with springs 29L and 29R interposed therebetween. These spring chambers 10
L and IOR are connected to tank ports R1 and IOR by passages 11L and 11R with orifices 30L and 30R, respectively.
R2 and the central chamber 5.

スプール15L、15Rとスリーブ2L、2Rとの間に
は隙間Cが形成され、スプール15L、15Rのスリー
ブボート6L、7Lとの間の間隔およびスリーブボート
6R17Rとの間の間隔よりも長手方向寸法が若干狭い
小径部16L、16Rが形成されている。そしてされら
小径部16L、16Rとスリーブ2L、2Rとの間に形
成される室12L、12Rは、それぞれ図示しない液(
水)圧シリンダへのシリンダポートC1、C2に接続さ
れている。また、スプール15L、15Hの両端部には
公知の静圧軸受18L、18Rと静圧軸受21L、21
Rとが形成されている。なお、第1図においてはスプー
ル15Rの静圧軸受18R521Rのみが示されている
。スプール15R側を例に説明すると、静圧軸受18R
はポケット19、オリフィス20を備え、静圧軸受21
Rはポケット22、オリフィス23を備えており、それ
ぞれ室24.25および通路26を介してスリーブボー
ト6Rに接続されている。即ち、ポンプポートPは通路
8、スリーブボート6R1通826、室24、静圧軸受
18R1隙間Cおよびパイロット室9Rを介してノズル
背圧室3Rに連通され、また、通路26、室25、静圧
軸受21″Rおよび隙間Cを介してばね室10Rに連通
されている。
A gap C is formed between the spools 15L, 15R and the sleeves 2L, 2R, and the longitudinal dimension is larger than the gap between the spools 15L, 15R and the sleeve boats 6L, 7L and the gap between the sleeve boats 6R and 17R. Slightly narrow small diameter portions 16L and 16R are formed. The chambers 12L, 12R formed between the small diameter portions 16L, 16R and the sleeves 2L, 2R are filled with liquid (not shown), respectively.
The cylinder ports C1 and C2 to the water pressure cylinders are connected to the cylinder ports C1 and C2. Also, known static pressure bearings 18L, 18R and static pressure bearings 21L, 21 are provided at both ends of the spools 15L, 15H.
R is formed. In addition, in FIG. 1, only the static pressure bearing 18R521R of the spool 15R is shown. Taking the spool 15R side as an example, the static pressure bearing 18R
is equipped with a pocket 19, an orifice 20, and a hydrostatic bearing 21.
R is provided with a pocket 22 and an orifice 23, which are connected to the sleeve boat 6R via chambers 24, 25 and passages 26, respectively. That is, the pump port P is communicated with the nozzle back pressure chamber 3R via the passage 8, the sleeve boat 6R1 passage 826, the chamber 24, the static pressure bearing 18R1 gap C, and the pilot chamber 9R, It communicates with the spring chamber 10R via the bearing 21''R and the gap C.

次に作用について説明する。Next, the effect will be explained.

右側のスプール15Rを例に説明すると、圧液はポンプ
ポートPから通路8、スリーブボート6Rを通り通路2
6で左右に分岐される。左方向へ流れた圧液は室24を
介してオリフィス20、ポケット19、隙間C、パイロ
ット室9R、ノズル背圧室3R、ノズル4Rを通り、ノ
ズル4Rとフラッパ28との間から中央室5、通路11
Rを通ってタンクポートR2に流れ、図示しないタンク
に戻る。室25からの液はオリフィス23、ポケット2
2、隙間Cを通り、ばね室10Rからオリフィス30R
1通路11Rを通りタンクポートR2へ流れ、タンクに
戻る。ここで、オリフィス30Rを経て直接タンクに戻
る圧液の液量は損失となるが、通B26における圧液の
左右の分配の比率を静圧軸受18R121Rのオリフィ
ス20.23の絞り効果、ポケット19.22の面積、
隙間Cの大きさにより調整することができる。
Taking the right spool 15R as an example, the pressure liquid flows from the pump port P through passage 8 and sleeve boat 6R to passage 2.
It branches left and right at 6. The pressure liquid flowing to the left passes through the chamber 24, the orifice 20, the pocket 19, the gap C, the pilot chamber 9R, the nozzle back pressure chamber 3R, and the nozzle 4R, and flows from between the nozzle 4R and the flapper 28 to the central chamber 5, Passage 11
R, flows to tank port R2, and returns to a tank (not shown). The liquid from chamber 25 flows through orifice 23 and pocket 2.
2. Pass through gap C, from spring chamber 10R to orifice 30R
It flows through the first passage 11R to the tank port R2 and returns to the tank. Here, the amount of pressure liquid that returns directly to the tank via the orifice 30R is lost, but the ratio of left and right distribution of the pressure liquid in the passage B26 is determined by the throttling effect of the orifice 20.23 of the hydrostatic bearing 18R121R, the pocket 19. Area of 22,
It can be adjusted by changing the size of the gap C.

このように、静圧軸受18R121Rによりスプール1
5Rをスリーブ2Rに対し非接触に支持して両者の摩耗
をなくし、摩耗に基づく各種弊害の発生を防止すること
ができる。更にプラスチック材でできたスプール15R
、スリーブ2Rの加工精度を高くする必要がなくなり、
しかもプラスチック材でサーボ弁を製造しているので水
さびを防止することができる。
In this way, the spool 1 is
It is possible to support the sleeve 2R in a non-contact manner to eliminate wear between the sleeves 2R and 2R, thereby preventing various problems caused by the wear. Furthermore, the spool 15R is made of plastic material.
, there is no need to increase the machining accuracy of sleeve 2R,
Moreover, since the servo valve is made of plastic material, water rust can be prevented.

作動に際し、トルクモータ27への電気入力信号により
フラッパ28が例えば左方に移動すると、ノズル背圧室
3Lが昇圧し、一方ノズル背圧室3Rの圧力は降下し、
これによりパイロット室9Lの圧力は増加してパイロッ
ト室9Rの圧力は低減する。すると、スプール15Lは
ばね29Lに抗して左方に変位し、スプール15Rはば
ね29Rにより左方に変位する。従ってポンプポートP
からの圧液は通R8、スリーブポート6R1室12R、
シリンダボートC2を介して図示しない液圧シリンダに
導かれ、液圧シリンダからの戻り液はシリンダボートC
1、室12L、スリーブボート7L、タンクポートR1
を介して図示しないタンクに戻される。フラッパ28が
右方に移動した場合は、前述と逆に作動する。そして、
これ等の作動は単一のフラッパ28を左方あるいは右方
に移動するだけでよいので、液圧シリンダの調整がきわ
°Cめ簡単に行われる。
During operation, when the flapper 28 is moved, for example, to the left by an electrical input signal to the torque motor 27, the pressure in the nozzle back pressure chamber 3L increases, while the pressure in the nozzle back pressure chamber 3R decreases.
As a result, the pressure in the pilot chamber 9L increases and the pressure in the pilot chamber 9R decreases. Then, the spool 15L is displaced to the left against the spring 29L, and the spool 15R is displaced to the left by the spring 29R. Therefore, pump port P
Pressure fluid from through R8, sleeve port 6R1 chamber 12R,
The liquid is guided to a hydraulic cylinder (not shown) via the cylinder boat C2, and the liquid returned from the hydraulic cylinder is returned to the cylinder boat C2.
1. Chamber 12L, sleeve boat 7L, tank port R1
is returned to a tank (not shown) via the When the flapper 28 moves to the right, it operates in the opposite manner to that described above. and,
These operations can be performed by simply moving a single flapper 28 to the left or right, making adjustment of the hydraulic cylinder extremely simple.

[まとめコ 以上説明したように本発明の水圧サーボ弁によれば、作
動流体やもれ流量の一部を積極的に利用して静圧軸受を
形成し、スプールを非接触に支持してスリーブとスプー
ルの型耗を防止し、また、加工精度を低くすることがで
きる。そのなめスプールとスリーブをプラスチック材等
の不鋳材を用いて製造することができ、作動流体に水を
用いても水さびを防止することができる。又、スプール
とフラッパ機構を分離し、スプールの変位範囲を拡げて
流量を大きくし、かつスプールと弁本体の貫通隙間をな
くして洩れをなくし、その分、フラッパ機構の応答性を
向上することができる。更にフラッパを1個にしたその
分、水圧サーボ弁を備えた液圧機構の調整を簡単にする
ことができる。
[Summary] As explained above, according to the hydraulic servo valve of the present invention, a part of the working fluid and leakage flow rate is actively used to form a static pressure bearing, and the spool is supported in a non-contact manner to form a sleeve. This prevents mold wear of the spool and lowers machining accuracy. The spool and sleeve can be manufactured using non-cast materials such as plastic materials, and water rust can be prevented even if water is used as the working fluid. In addition, the spool and flapper mechanism are separated, the spool's displacement range is expanded to increase the flow rate, and the gap between the spool and the valve body is eliminated to eliminate leakage, thereby improving the responsiveness of the flapper mechanism. can. Furthermore, since there is only one flapper, the adjustment of the hydraulic mechanism equipped with the hydraulic servo valve can be made easier.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示す側断面図、第2図は従
来の油圧サーボ弁を示す側断面図、第3図は第2図の要
部の拡大図である。 1・・・弁本体  2L、2R・・・スリーブ3L、3
R・・・ノズル背圧室  4L、4R・・・ノズル  
8.26・°・・通路  9L、9R・・・パイロット
室  15L、15R・・・スプール  18L、18
R121L、21R・・・静圧軸受  27・・・トル
クモータ28・・・フラッパ 特許出願人  浦  1) 暎  三
FIG. 1 is a side sectional view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side sectional view showing a conventional hydraulic servo valve, and FIG. 3 is an enlarged view of the main part of FIG. 2. 1... Valve body 2L, 2R... Sleeve 3L, 3
R...Nozzle back pressure chamber 4L, 4R...Nozzle
8.26...Aisle 9L, 9R...Pilot room 15L, 15R...Spool 18L, 18
R121L, 21R...Static pressure bearing 27...Torque motor 28...Flapper patent applicant Ura 1) Mizo Eki

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  弁本体内を変位して作動流体の方向を切換え且つ流量
を変化せしめるスプールと、該スプールを変位させるパ
イロット圧が印加されるノズル背圧室と、ノズルおよび
フラッパからなるフラッパ機構とを備えたサーボ弁にお
いて、フラッパ両側の弁本体の同一軸線上に一対のスプ
ール、ノズルおよびノズル背圧室を設け、該一対のスプ
ールのそれぞれの両端に静圧軸受を形成し、そしてポン
プポートから該静圧軸受を介し前記ノズル背圧室に至る
作動流体の通路を形成したことを特徴とする水圧サーボ
弁。
A servo equipped with a spool that is displaced within the valve body to switch the direction of working fluid and change the flow rate, a nozzle back pressure chamber to which pilot pressure is applied to displace the spool, and a flapper mechanism consisting of a nozzle and a flapper. In the valve, a pair of spools, a nozzle and a nozzle back pressure chamber are provided on the same axis of the valve body on both sides of the flapper, hydrostatic pressure bearings are formed at both ends of each of the pair of spools, and the hydrostatic pressure bearing is connected from the pump port. A hydraulic servo valve characterized in that a working fluid passage is formed to reach the nozzle back pressure chamber through the nozzle.
JP30328087A 1987-12-02 1987-12-02 Hydraulic servo valve Pending JPH01145405A (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30328087A JPH01145405A (en) 1987-12-02 1987-12-02 Hydraulic servo valve
PCT/JP1988/001221 WO1989005407A1 (en) 1987-12-02 1988-12-02 Hydraulic servo valve
US07/476,443 US5186213A (en) 1987-12-02 1988-12-02 29
DE3889668T DE3889668T2 (en) 1987-12-02 1988-12-02 HYDRAULIC SERVO VALVE.
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Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
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