JPH01145405A - 水圧サーボ弁 - Google Patents

水圧サーボ弁

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JPH01145405A
JPH01145405A JP30328087A JP30328087A JPH01145405A JP H01145405 A JPH01145405 A JP H01145405A JP 30328087 A JP30328087 A JP 30328087A JP 30328087 A JP30328087 A JP 30328087A JP H01145405 A JPH01145405 A JP H01145405A
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JP
Japan
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spools
flapper
spool
nozzle
working fluid
Prior art date
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Pending
Application number
JP30328087A
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English (en)
Inventor
Eizo Urata
暎三 浦田
Shinpei Miyagawa
新平 宮川
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Ebara Research Co Ltd
Original Assignee
Ebara Research Co Ltd
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Publication date
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Priority to PCT/JP1988/001221 priority patent/WO1989005407A1/ja
Priority to US07/476,443 priority patent/US5186213A/en
Priority to DE3889668T priority patent/DE3889668T2/de
Priority to EP89900147A priority patent/EP0399044B1/en
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、作動流体として水を用いるのに適した水圧サ
ーボ弁に関する。
[従来技術] 電気−油圧サーボ弁(以下油圧サーボ弁という)は、微
弱な電気入力信号を油圧に変換し、作動流体の方向を切
換え且つその流量を変えるもので、工作機械の数値制御
、遠隔操作等に広く用いられている。そのような油圧サ
ーボ弁の従来技術の一例を第2図および第3図について
説明する。
第2図および第3図において、圧油はポンプポートPか
ら供給される。電気入力信号によりトルクモータ39の
例えばコイル40Rが励磁され可動軸41が右方に移動
してフラッパ32Rが左方へ変位すると、ノズル背圧室
33Rの背圧が上昇してパイロット室34Rが昇圧する
。その結果、スプール35は左方へ変位し、圧油はポン
プポートPからシリンダボートC1を介して図示しない
油圧シリンダに導かれ、油圧シリンダからの戻り油はシ
リンダボートC2から通路36とタンクボートRから図
示しないタンクへと戻る。一方、ノズル37Rとフラッ
パ32Rとの間から流出した油は通路38を介してタン
クボートRからタンクに戻るようになっている。
ここで、作動流体の油は非常に燃え易いので取扱いに注
意が必要である。また、排油による環境汚染の問題があ
る。
ところで、液圧駆動や制御はかつては水圧機械であり、
作動流体として水を用いていた。しかし、作動流体が水
である場合には、作動流体の粘性が小さいので摺動部の
隙11ffiS(第3図)からの洩れが多くて効率が悪
く、また摺動部における摩耗が多く、更に金属材料(特
に鉄)製の機械であれば放置しておくとさびてしまう等
の問題があった。
近時、プラスチック等新素材の進歩は目ざましく、水を
作動流体とした場合の問題点の1つである上記のさびの
問題は、機械中の少なくとも作動流体と接触する部分を
新素材で形成することによって解決可能である。しかし
、作動流体の粘性が小さいことによる摩耗の問題が依然
として存在し、また洩れを抑えるために摺動部を高精度
に加工することが新素材では困難である。また、ノズル
37L、37Rとフラッパ32L、32Rとの間の間隙
が小さいので、スプール35のストロークを大きくとる
ことができず、従って流量を大きくすることができない
。また隙間S1からの洩れが依然として存在し、フラッ
パ機構の応答性に問題がある。更にフラッパ機構が左右
に配置されているので調整が困難であった。
[発明の目的] 本発明は上記した従来技術の問題点に鑑みて提案された
もので、作動流体に水を用いることができ、且つ摩耗、
さび、洩れ等の問題を解決すると共に、流量を大きくし
、かつフラッパ機構の応答性を改善し、しかも調整が簡
単な水圧サーボ弁を提供することを目的としている。
[発明の構成] 本発明の水圧サーボ弁によれば、弁本体内を変位して作
動流体の方向を切換え且つ流量を変化せしめるスプール
と、該スプールを変位させるパイロット圧が印加される
ノズル背圧室と、ノズルおよびフラッパからなるフラッ
パ’amとを備えたサーボ弁において、フラッパ両側の
弁本体の同一軸線上に一対のスプール、ノズルおよびノ
ズル背圧室を設け、該一対のスプールのそれぞれの両端
に静圧軸受を形成し、そしてポンプポートから該静圧軸
受を介し前記ノズル背圧室に至る作動流体の通路を形成
している。
[発明の作用効果] 本発明の水圧サーボ弁によれば、スプールの両端に形成
した静圧軸受により、スプールと弁本体とを非接触状態
に保ち両者の摩耗をなくすことができると共に、スプー
ルと弁本体との摺動部における加工精度を低くすること
ができる。これにより、精密加工が困難な新素材(例え
ばプラスチック等)を材料として弁体を製造することが
でき、その結果、作動流体が水であってもさびの発生を
防止することができる。さらに作動流体として水を用い
れば、作動流体が不燃性であり、その取扱いも容易とな
る。そして作動流体を廃棄しても環境汚染の原因となる
ことはない、また、作動流体の一部を静圧軸受にもIW
極的に利用することによって、洩れの問題も解決するこ
とができる。更にスプールとフラッパ機構を分離、即ち
フラッパ機構のノズルをスプールとは別体に形成し、ス
プールの変位の範囲を拡大して、流量を大きくし、且つ
スプールの弁本体貫通部からの洩れをなくしているので
、その分、フラッパ機構の応答性を改善することができ
る。更に、本発明において従来のサーボ弁におけるスプ
ールを2分割して、且つ従来のサーボ弁においては2つ
あったフラッパを1つにまとめたので、フラッパとノズ
ルとの調整が簡単である。
[実施例] 以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図において、プラスチック材等の不錆材からなる弁
本体1の同一水平軸線上には、スリーブ2L、2Rとノ
ズル背圧室3L、3Rとノズル4L、4Rとが対向して
形成されており、そしてこのスリーブ2L、2Rにはプ
ラスチック材等の不錆材からなるスプール15L、15
R,が収められている。ノズル4L、4Rは弁本体1に
形成された中央室5内に突出しており、そのノズル4L
、4Rの間の隙間にはトルクモータ27のフラッパ28
が挿通されており、そのトルクモータ27は弁本体1に
固設されている。スリーブ2L、2Rにはスリーブボー
ト6L、6Rおよびスリーブポート7L、7Rが形成さ
れており、スリーブボー)6L、6Rは通路8を介して
ポンプポートPに接続され、スリーブボート7L、7R
は図示しない水タンクに連通しているタンクポートR1
、R2に接続されている。
スリーブ2L、2Rのノズル4L、4Rと反対側の端部
において、弁本体1のケーシングとスプール15L、1
5Rとの間には、ばね29L、29Rを介装したばね室
10L、10Rが形成されている。これらのばね室10
L、IORは、それぞれオリフィス30L、30Rを介
装した通路11L、11Rにより、タンクポートR1、
R2および中央室5に接続されている。
スプール15L、15Rとスリーブ2L、2Rとの間に
は隙間Cが形成され、スプール15L、15Rのスリー
ブボート6L、7Lとの間の間隔およびスリーブボート
6R17Rとの間の間隔よりも長手方向寸法が若干狭い
小径部16L、16Rが形成されている。そしてされら
小径部16L、16Rとスリーブ2L、2Rとの間に形
成される室12L、12Rは、それぞれ図示しない液(
水)圧シリンダへのシリンダポートC1、C2に接続さ
れている。また、スプール15L、15Hの両端部には
公知の静圧軸受18L、18Rと静圧軸受21L、21
Rとが形成されている。なお、第1図においてはスプー
ル15Rの静圧軸受18R521Rのみが示されている
。スプール15R側を例に説明すると、静圧軸受18R
はポケット19、オリフィス20を備え、静圧軸受21
Rはポケット22、オリフィス23を備えており、それ
ぞれ室24.25および通路26を介してスリーブボー
ト6Rに接続されている。即ち、ポンプポートPは通路
8、スリーブボート6R1通826、室24、静圧軸受
18R1隙間Cおよびパイロット室9Rを介してノズル
背圧室3Rに連通され、また、通路26、室25、静圧
軸受21″Rおよび隙間Cを介してばね室10Rに連通
されている。
次に作用について説明する。
右側のスプール15Rを例に説明すると、圧液はポンプ
ポートPから通路8、スリーブボート6Rを通り通路2
6で左右に分岐される。左方向へ流れた圧液は室24を
介してオリフィス20、ポケット19、隙間C、パイロ
ット室9R、ノズル背圧室3R、ノズル4Rを通り、ノ
ズル4Rとフラッパ28との間から中央室5、通路11
Rを通ってタンクポートR2に流れ、図示しないタンク
に戻る。室25からの液はオリフィス23、ポケット2
2、隙間Cを通り、ばね室10Rからオリフィス30R
1通路11Rを通りタンクポートR2へ流れ、タンクに
戻る。ここで、オリフィス30Rを経て直接タンクに戻
る圧液の液量は損失となるが、通B26における圧液の
左右の分配の比率を静圧軸受18R121Rのオリフィ
ス20.23の絞り効果、ポケット19.22の面積、
隙間Cの大きさにより調整することができる。
このように、静圧軸受18R121Rによりスプール1
5Rをスリーブ2Rに対し非接触に支持して両者の摩耗
をなくし、摩耗に基づく各種弊害の発生を防止すること
ができる。更にプラスチック材でできたスプール15R
、スリーブ2Rの加工精度を高くする必要がなくなり、
しかもプラスチック材でサーボ弁を製造しているので水
さびを防止することができる。
作動に際し、トルクモータ27への電気入力信号により
フラッパ28が例えば左方に移動すると、ノズル背圧室
3Lが昇圧し、一方ノズル背圧室3Rの圧力は降下し、
これによりパイロット室9Lの圧力は増加してパイロッ
ト室9Rの圧力は低減する。すると、スプール15Lは
ばね29Lに抗して左方に変位し、スプール15Rはば
ね29Rにより左方に変位する。従ってポンプポートP
からの圧液は通R8、スリーブポート6R1室12R、
シリンダボートC2を介して図示しない液圧シリンダに
導かれ、液圧シリンダからの戻り液はシリンダボートC
1、室12L、スリーブボート7L、タンクポートR1
を介して図示しないタンクに戻される。フラッパ28が
右方に移動した場合は、前述と逆に作動する。そして、
これ等の作動は単一のフラッパ28を左方あるいは右方
に移動するだけでよいので、液圧シリンダの調整がきわ
°Cめ簡単に行われる。
[まとめコ 以上説明したように本発明の水圧サーボ弁によれば、作
動流体やもれ流量の一部を積極的に利用して静圧軸受を
形成し、スプールを非接触に支持してスリーブとスプー
ルの型耗を防止し、また、加工精度を低くすることがで
きる。そのなめスプールとスリーブをプラスチック材等
の不鋳材を用いて製造することができ、作動流体に水を
用いても水さびを防止することができる。又、スプール
とフラッパ機構を分離し、スプールの変位範囲を拡げて
流量を大きくし、かつスプールと弁本体の貫通隙間をな
くして洩れをなくし、その分、フラッパ機構の応答性を
向上することができる。更にフラッパを1個にしたその
分、水圧サーボ弁を備えた液圧機構の調整を簡単にする
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す側断面図、第2図は従
来の油圧サーボ弁を示す側断面図、第3図は第2図の要
部の拡大図である。 1・・・弁本体  2L、2R・・・スリーブ3L、3
R・・・ノズル背圧室  4L、4R・・・ノズル  
8.26・°・・通路  9L、9R・・・パイロット
室  15L、15R・・・スプール  18L、18
R121L、21R・・・静圧軸受  27・・・トル
クモータ28・・・フラッパ 特許出願人  浦  1) 暎  三

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  弁本体内を変位して作動流体の方向を切換え且つ流量
    を変化せしめるスプールと、該スプールを変位させるパ
    イロット圧が印加されるノズル背圧室と、ノズルおよび
    フラッパからなるフラッパ機構とを備えたサーボ弁にお
    いて、フラッパ両側の弁本体の同一軸線上に一対のスプ
    ール、ノズルおよびノズル背圧室を設け、該一対のスプ
    ールのそれぞれの両端に静圧軸受を形成し、そしてポン
    プポートから該静圧軸受を介し前記ノズル背圧室に至る
    作動流体の通路を形成したことを特徴とする水圧サーボ
    弁。
JP30328087A 1987-12-02 1987-12-02 水圧サーボ弁 Pending JPH01145405A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30328087A JPH01145405A (ja) 1987-12-02 1987-12-02 水圧サーボ弁
PCT/JP1988/001221 WO1989005407A1 (fr) 1987-12-02 1988-12-02 Servovanne hydraulique
US07/476,443 US5186213A (en) 1987-12-02 1988-12-02 29
DE3889668T DE3889668T2 (de) 1987-12-02 1988-12-02 Hydraulisches servoventil.
EP89900147A EP0399044B1 (en) 1987-12-02 1988-12-02 Hydraulic servo valve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30328087A JPH01145405A (ja) 1987-12-02 1987-12-02 水圧サーボ弁

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JPH01145405A true JPH01145405A (ja) 1989-06-07

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ID=17919062

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JP30328087A Pending JPH01145405A (ja) 1987-12-02 1987-12-02 水圧サーボ弁

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