JPH01145991U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01145991U JPH01145991U JP4322988U JP4322988U JPH01145991U JP H01145991 U JPH01145991 U JP H01145991U JP 4322988 U JP4322988 U JP 4322988U JP 4322988 U JP4322988 U JP 4322988U JP H01145991 U JPH01145991 U JP H01145991U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- vacuum pump
- high vacuum
- evacuation
- tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図乃至第３図は本考案の各実施例に係る概
要示立面図である。 １……タンク、２……高真空ポンプ、３……架
台、４……防振体、５……第１ベローズ、６……
第２ベローズ、７……排気手段、８……真空配管
。
要示立面図である。 １……タンク、２……高真空ポンプ、３……架
台、４……防振体、５……第１ベローズ、６……
第２ベローズ、７……排気手段、８……真空配管
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 防振体４を介し床上に載置した架台３にタン
ク１を固定し、該タンク１に対しその下方に位置
させ取り付けた真空排気通路を兼ねる第１ベロー
ズ５を介して高真空ポンプ２を吊るように支持し
てなる真空排気装置において、前記高真空ポンプ
２の下部とそれよりも下方の位置の床を含む支持
体との間に亘らせ第２ベローズ６を介設せしめる
とともに、前記第２ベローズ６内を真空排気させ
る排気手段７を設けたことを特徴とする低振動型
真空排気装置。 ２ 排気手段７が第１ベローズ５を含む真空排気
通路と第２ベローズ６との間に亘り接続した真空
配管８である請求項１記載の低振動型真空排気装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4322988U JPH0519588Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4322988U JPH0519588Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01145991U true JPH01145991U (ja) | 1989-10-06 |
| JPH0519588Y2 JPH0519588Y2 (ja) | 1993-05-24 |
Family
ID=31269635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4322988U Expired - Lifetime JPH0519588Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0519588Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018507531A (ja) * | 2014-11-24 | 2018-03-15 | アットキューブ システムズ アーゲー | テーブル |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP4322988U patent/JPH0519588Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018507531A (ja) * | 2014-11-24 | 2018-03-15 | アットキューブ システムズ アーゲー | テーブル |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0519588Y2 (ja) | 1993-05-24 |