JPH01145992U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01145992U JPH01145992U JP4323088U JP4323088U JPH01145992U JP H01145992 U JPH01145992 U JP H01145992U JP 4323088 U JP4323088 U JP 4323088U JP 4323088 U JP4323088 U JP 4323088U JP H01145992 U JPH01145992 U JP H01145992U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- tank
- evacuation device
- airtight space
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図乃至第３図は本考案の各実施例に係る概
要示立面図である。 １……タンク、２……高真空ポンプ、３……架
台、４……防振体、５……第１ベローズ、６……
第２ベローズ、７……加圧手段、１６……冷凍機
部駆動機構、１７……圧縮機ユニツト、１８……
高圧冷媒配管、１９……ガス配管。
要示立面図である。 １……タンク、２……高真空ポンプ、３……架
台、４……防振体、５……第１ベローズ、６……
第２ベローズ、７……加圧手段、１６……冷凍機
部駆動機構、１７……圧縮機ユニツト、１８……
高圧冷媒配管、１９……ガス配管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 防振体４を介し床上に載置した架台３にタン
ク１を固定し、該タンク１に対しその下方に位置
させ取り付けた真空排気通路を兼ねる第１ベロー
ズ５を介して高真空ポンプ２を吊るように支持し
てなる真空排気装置において、前記第１ベローズ
５よりも大径の第２ベローズ６を第１ベローズ５
に同心に囲繞せしめてその周囲に気密空間が存す
る２重ベローズに形成するとともに、前記気密空
間内を正圧域にさせる加圧手段７を設けたことを
特徴とする低振動型真空排気装置。 ２ 加圧手段７が圧縮機ユニツト１７と高真空ポ
ンプ２の冷凍機部駆動機構１６とを結ぶ高圧冷媒
配管１８から分岐して第２ベローズ６に接続した
ガス配管１９である請求項１記載の低振動型真空
排気装置。 ３ 防振体４を介し床上に載置した架台３にタン
ク１を固定し、該タンク１に対しその下方に位置
させ取り付けた真空排気通路を兼ねる第１ベロー
ズ５を介して高真空ポンプ２を吊るように支持し
てなる真空排気装置において、前記第１ベローズ
５よりも大径の第２ベローズ６を第１ベローズ５
に同心に囲繞せしめてその周囲に気密空間が存す
る２重ベローズに形成するとともに、前記気密空
間を大気圧以上の正圧域に保持して密封せしめた
ことを特徴とする低振動型真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4323088U JPH0519589Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4323088U JPH0519589Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01145992U true JPH01145992U (ja) | 1989-10-06 |
| JPH0519589Y2 JPH0519589Y2 (ja) | 1993-05-24 |
Family
ID=31269636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4323088U Expired - Lifetime JPH0519589Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0519589Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP4323088U patent/JPH0519589Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0519589Y2 (ja) | 1993-05-24 |
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