JPH01146381A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH01146381A JPH01146381A JP30441787A JP30441787A JPH01146381A JP H01146381 A JPH01146381 A JP H01146381A JP 30441787 A JP30441787 A JP 30441787A JP 30441787 A JP30441787 A JP 30441787A JP H01146381 A JPH01146381 A JP H01146381A
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- JP
- Japan
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- laser
- gas
- laser beam
- laser light
- resonator
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、大出力のガスレーザ装置に係り、特に、ウィ
ンドウの破壊が問題となるようなガスレーザ装置におけ
るレーザ光取出し機構部の改良技術に関する。
ンドウの破壊が問題となるようなガスレーザ装置におけ
るレーザ光取出し機構部の改良技術に関する。
（従来の技術）
ガスレーザ装置は、レーザ媒質ガスを充填した放電管内
にて放電を行い、レーザ媒質ガスを励起させてレーザ発
振を行わせ、共振器にて共振させて得たレーザ出力を外
部に取出す装置である。
にて放電を行い、レーザ媒質ガスを励起させてレーザ発
振を行わせ、共振器にて共振させて得たレーザ出力を外
部に取出す装置である。
第２図に、従来から用いられているレーナ装置のレーザ
光取出し機構部を示す。
光取出し機構部を示す。
第２図において、真空容器１内には、凹面ミラー２と凸
面ミラー３より成る不安定形共振器が構成され、この共
振器にて得られたレーザ光は、共振結合ミラー４により
、ウィンドウ５を通して外部へ取出されるようになって
いる。ここで、ウィンドウ５が使用されるのは、真空容
器１内に封入されたレーザ媒質ガス中への大気混入を防
ぎ、内部の汚染を防ぐためである。
面ミラー３より成る不安定形共振器が構成され、この共
振器にて得られたレーザ光は、共振結合ミラー４により
、ウィンドウ５を通して外部へ取出されるようになって
いる。ここで、ウィンドウ５が使用されるのは、真空容
器１内に封入されたレーザ媒質ガス中への大気混入を防
ぎ、内部の汚染を防ぐためである。
また、レーザ光を使用しない時は、ウィンドウ５から取
出されるレーザ光の光軸中へ光吸収体６を挿入してレー
ザ光を遮断している。この光吸収体６の挿入操作は、駆
動装置７を用いて自動的に行っている。
出されるレーザ光の光軸中へ光吸収体６を挿入してレー
ザ光を遮断している。この光吸収体６の挿入操作は、駆
動装置７を用いて自動的に行っている。
ところで、近年、レーザ出力レベルは大幅に増大の一途
をたどっており、大出力のレーザ光を取出す際には、第
２図に示したような、透光性の高いウィンドウ６におい
ても、レーザ光の高いエネルギーによって、熱的・光学
的な歪みを生じたり、温度上昇による破壊を生ずるなど
、使用できない場合が増えている。例えば、１５ＫＷＣ
Ｏ２レーザ装置では、従来Ｚｎ５ｅ、ＫＣ愛などの材料
にて形成されたウィンドウが使用されているが、大出力
時における破損が多く、問題となっている。
をたどっており、大出力のレーザ光を取出す際には、第
２図に示したような、透光性の高いウィンドウ６におい
ても、レーザ光の高いエネルギーによって、熱的・光学
的な歪みを生じたり、温度上昇による破壊を生ずるなど
、使用できない場合が増えている。例えば、１５ＫＷＣ
Ｏ２レーザ装置では、従来Ｚｎ５ｅ、ＫＣ愛などの材料
にて形成されたウィンドウが使用されているが、大出力
時における破損が多く、問題となっている。
このような状況に対し、大出力のレーザ光にも充分対応
できるレーザ光取出し機構部として開発された技術が、
第３図に示すようなエアロダイナミックウィンドウ（空
力窓）である。
できるレーザ光取出し機構部として開発された技術が、
第３図に示すようなエアロダイナミックウィンドウ（空
力窓）である。
第３図において、結合ミラー４により取出されたレーザ
光は第１の凹面ミラー８ａに照射される。
光は第１の凹面ミラー８ａに照射される。
この場合、第１の凹面ミラー８ａのミラー曲率が適切に
設定されることにより、レーザ光は一度集光され、第２
の凹面ミラー８ｂに照射される。さらに、この第２の凹
面ミラー８ｂの曲率が適切に設定されることにより、レ
ーザ光は再度平行光線に戻される。そして、この平行光
線が、同様に適切な曲率に設定された第３、第４の凹面
ミラー８Ｇ、 ８ｄに順に送られることにより、同様の
レーザ光操作が行われる。
設定されることにより、レーザ光は一度集光され、第２
の凹面ミラー８ｂに照射される。さらに、この第２の凹
面ミラー８ｂの曲率が適切に設定されることにより、レ
ーザ光は再度平行光線に戻される。そして、この平行光
線が、同様に適切な曲率に設定された第３、第４の凹面
ミラー８Ｇ、 ８ｄに順に送られることにより、同様の
レーザ光操作が行われる。
ここで、第１、第３の凹面ミラー８ａ、 ８ｃによる集
光点には、この集光点に対応した小さなピンホールを有
する第１、第２のオリフィス９ａ。
光点には、この集光点に対応した小さなピンホールを有
する第１、第２のオリフィス９ａ。
９ｂが設けられている。
なあ、第３図中１４は共振器側に８２けられたカス供給
口、１５は空力窓中央、即ち第２の凹面ミラー８ｂと第
３の凹面ミラー８Ｃとの間に設けられたガス排気口でお
る。
口、１５は空力窓中央、即ち第２の凹面ミラー８ｂと第
３の凹面ミラー８Ｃとの間に設けられたガス排気口でお
る。
以上のような第３図のレーザ光取出し機構部において、
共振器側は、レーザ媒質ガスの封入圧力、即ちほぼ真空
圧となっており、レーザ光出射側は大気圧である。従っ
て、ガス排気口１５より充分な排気を行えば、２箇所に
設けられたオリフィス９ａ、９ｂが流路抵抗となり、大
気側と、排気ポート部、共振器側との圧カバ′ランスが
保持され、真空状態を維持しなからレーザ光を取出すこ
とができる。なお、レーザ光を使用しない際には、空力
窓から出力されるレーザ光の光軸上に光吸収体６が挿入
される。
共振器側は、レーザ媒質ガスの封入圧力、即ちほぼ真空
圧となっており、レーザ光出射側は大気圧である。従っ
て、ガス排気口１５より充分な排気を行えば、２箇所に
設けられたオリフィス９ａ、９ｂが流路抵抗となり、大
気側と、排気ポート部、共振器側との圧カバ′ランスが
保持され、真空状態を維持しなからレーザ光を取出すこ
とができる。なお、レーザ光を使用しない際には、空力
窓から出力されるレーザ光の光軸上に光吸収体６が挿入
される。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで、以上説明したような空力窓を使用したガスレ
ーザ装置においては、ウィンドウを使用した装置と異な
り、破壊の恐れはないが、カスの排気により圧力バラン
スを維持する必要があるため、共振器側からのレーザ媒
質ガスの排気量も大きくなり、レーザ媒質ガスの消費量
が大ぎくなる問題を生じていた。
ーザ装置においては、ウィンドウを使用した装置と異な
り、破壊の恐れはないが、カスの排気により圧力バラン
スを維持する必要があるため、共振器側からのレーザ媒
質ガスの排気量も大きくなり、レーザ媒質ガスの消費量
が大ぎくなる問題を生じていた。
本発明は、このような従来技術の問題を解決するために
提案されたものであり、その目的は、空力窓を使用する
ことで、装置の破壊を生ずる恐れなく、安定したレーザ
光を取出すことができ、しかも、レーザ媒質ガスの消費
量をできる限り低減し得るような、優れたガスレーザ装
置を提供することである。
提案されたものであり、その目的は、空力窓を使用する
ことで、装置の破壊を生ずる恐れなく、安定したレーザ
光を取出すことができ、しかも、レーザ媒質ガスの消費
量をできる限り低減し得るような、優れたガスレーザ装
置を提供することである。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
本発明は、共振器の出力側に空力窓を有するガスレーザ
装置において、共振器と空力窓との間にレーザ光遮断手
段を設けると共に、空力窓部に機械的真空遮断手段を設
けることを構成の特徴としている。
装置において、共振器と空力窓との間にレーザ光遮断手
段を設けると共に、空力窓部に機械的真空遮断手段を設
けることを構成の特徴としている。
（作用）
以上のような構成を有する本発明のカスレーザ装置にお
いては、レーザ光を使用しない場合には、レーザ光遮断
手段を動作させることにより、共振器から出力されたレ
ーザ光を空力窓の手前で遮断すると共に、機械的真空遮
断手段を動作させて、空力窓の内部にてレーザ媒質ガス
を遮断することにより、ガスの排出量を制限することが
できる。
いては、レーザ光を使用しない場合には、レーザ光遮断
手段を動作させることにより、共振器から出力されたレ
ーザ光を空力窓の手前で遮断すると共に、機械的真空遮
断手段を動作させて、空力窓の内部にてレーザ媒質ガス
を遮断することにより、ガスの排出量を制限することが
できる。
従って、無駄にガスの消費量を増大する問題がなくなっ
ている。
ている。
さらに、本発明において、共振器とレーザ光遮断手段と
の間にレーザ出力計測手段を設ければ、レーザ光手段時
においてもレーザ光の出力を計測することができる。
の間にレーザ出力計測手段を設ければ、レーザ光手段時
においてもレーザ光の出力を計測することができる。
（実施例）
以上説明したような本発明のガスレーザ装置を、１５Ｋ
ＷＣＯ２レーザ装置に適用した一実施例を第１図に示す
。なお、第２図及び第３図に示した従来技術と同一部分
には同一符号を付し、説明を省略する。
ＷＣＯ２レーザ装置に適用した一実施例を第１図に示す
。なお、第２図及び第３図に示した従来技術と同一部分
には同一符号を付し、説明を省略する。
本実施例の構成＊
第１図において、共振器から結合ミラー４により取出さ
れたレーザ光は、その一部をチョッパ１１によりサンプ
リングして反射され、パワーセンサ（レーザ出力計測手
段）１２に照射され、そのエネルギーが電気信号に変換
される。パワーセンサ１２から出力されたパワーモニタ
信号は、ケーブルにより、装置外部へ引出され、パワー
メータ１３により表示、モニタされる。
れたレーザ光は、その一部をチョッパ１１によりサンプ
リングして反射され、パワーセンサ（レーザ出力計測手
段）１２に照射され、そのエネルギーが電気信号に変換
される。パワーセンサ１２から出力されたパワーモニタ
信号は、ケーブルにより、装置外部へ引出され、パワー
メータ１３により表示、モニタされる。
そして、チョッパ１１と空力窓との間には、光吸収体（
レーザ光遮蔽手段）６が設けられ、駆動装置７を動作す
ることにより、レーザ光使用時には、光軸からずれた位
置に保たれ、レーザ光不使用時には光軸上に挿入される
ようになっている。
レーザ光遮蔽手段）６が設けられ、駆動装置７を動作す
ることにより、レーザ光使用時には、光軸からずれた位
置に保たれ、レーザ光不使用時には光軸上に挿入される
ようになっている。
結合ミラー４より空力窓内に照射されたレーザ光は、ま
ず、第１の凹面ミラー８ａにて集光され、その集光点に
ピンホールを有する第１のオリフィス９ａが設けられて
いる。この第１のオリフィス９ａのレーザ光入射側には
、第１のガス遮断バルブ（機械的真空遮断手段）１０ａ
が設けられている。また、このオリフィス９ａ部分で集
光されたレーザ光は、再び広がり、第２の凹面ミラー８
ｂに照射され、平行光線に戻される。
ず、第１の凹面ミラー８ａにて集光され、その集光点に
ピンホールを有する第１のオリフィス９ａが設けられて
いる。この第１のオリフィス９ａのレーザ光入射側には
、第１のガス遮断バルブ（機械的真空遮断手段）１０ａ
が設けられている。また、このオリフィス９ａ部分で集
光されたレーザ光は、再び広がり、第２の凹面ミラー８
ｂに照射され、平行光線に戻される。
この平行光線は、ざらに、第３の凹面ミラー８Ｇにより
集光され、第２のオリフィス９ｂを通過し、第４の凹面
ミラー８ｄにより平行光線として使用に供される。この
第２のオリフィス９ｂのレーザ光入射側には、第２のガ
ス遮断バルブ１０ｂが設けられており、大気を遮断する
ようになっている。
集光され、第２のオリフィス９ｂを通過し、第４の凹面
ミラー８ｄにより平行光線として使用に供される。この
第２のオリフィス９ｂのレーザ光入射側には、第２のガ
ス遮断バルブ１０ｂが設けられており、大気を遮断する
ようになっている。
本実施例の作用＊
以上のような構成を有する本実施例の作用は次の通りで
ある。
ある。
即ち、レーザ光不使用時には、まず、駆動装置７により
、光吸収体６をレーザ光軸上に挿入して、レーザ光を遮
断してあけば、空力窓部にはレーザ光か照射されない。
、光吸収体６をレーザ光軸上に挿入して、レーザ光を遮
断してあけば、空力窓部にはレーザ光か照射されない。
この操作の後、空力窓部の第１のオｌノフィス９ａ部分
に設けられた第１のカス遮断バルブ１０ａを閉じること
により、真空容器１と排気口１５の間を遮断し、さらに
、第２のオリフィス９ｂ部分に設けられた第２のガス遮
断バルブ１０ｂを閉じることにより、大気側と排気口１
５間を遮断する。
に設けられた第１のカス遮断バルブ１０ａを閉じること
により、真空容器１と排気口１５の間を遮断し、さらに
、第２のオリフィス９ｂ部分に設けられた第２のガス遮
断バルブ１０ｂを閉じることにより、大気側と排気口１
５間を遮断する。
また、レーザ照射時には、まず、第１及び第２のガス遮
断バルブ１０ａ、１０ｂを開き、大気側と真空容器１の
圧力バランスを保持するように、ガス排気口１５よりガ
スの排気を行う。この後、駆動装置７により光吸収体６
をレーザ光軸からずれた位置に移動させ、レーザ光路を
確保し、レーザ照射を行う。
断バルブ１０ａ、１０ｂを開き、大気側と真空容器１の
圧力バランスを保持するように、ガス排気口１５よりガ
スの排気を行う。この後、駆動装置７により光吸収体６
をレーザ光軸からずれた位置に移動させ、レーザ光路を
確保し、レーザ照射を行う。
以上のように、本実施例では、レーザ光不使用時及び大
気状態において、ガス遮断バルブを操作することにより
、大気側、及び排気ポート部との真空遮断を行えるため
、レーザ媒質ガスの排気が不要となっている。即ち、稼
働時間中常時レーザ媒質ガスを排気する必要があった従
来技術に比べ、本実施例では、圧力バランスを保持する
ためのレーザ媒質ガスの排気をレーザ照射時のみに限定
できるため、レーザ媒質ガスの消費量を大幅に低減でき
る。この場合、レーザ媒質ガスの消費量は、レーザ光の
使用率に合せて低減できる。例えば、加工用のＣＯ２レ
ーザ装置の場合、可動時間中のレーザ照射時間の割合は
、３０％程度であるため、ガスの消費量も、従来の３０
％程度に低減できる。
気状態において、ガス遮断バルブを操作することにより
、大気側、及び排気ポート部との真空遮断を行えるため
、レーザ媒質ガスの排気が不要となっている。即ち、稼
働時間中常時レーザ媒質ガスを排気する必要があった従
来技術に比べ、本実施例では、圧力バランスを保持する
ためのレーザ媒質ガスの排気をレーザ照射時のみに限定
できるため、レーザ媒質ガスの消費量を大幅に低減でき
る。この場合、レーザ媒質ガスの消費量は、レーザ光の
使用率に合せて低減できる。例えば、加工用のＣＯ２レ
ーザ装置の場合、可動時間中のレーザ照射時間の割合は
、３０％程度であるため、ガスの消費量も、従来の３０
％程度に低減できる。
また、レーザ停止時にも、ガス遮断バルブにより人気と
真空の遮断を行えるため、真空容器内に大気が混入する
ことがなく、内部の汚染が少ないという利点もめる。
真空の遮断を行えるため、真空容器内に大気が混入する
ことがなく、内部の汚染が少ないという利点もめる。
さらに、緊急時においては、レーザ光遮断装置とガス遮
断装置を同時に動作させることにより、安全且つ適切に
レーザ装置を緊急停止することができる。
断装置を同時に動作させることにより、安全且つ適切に
レーザ装置を緊急停止することができる。
＊他の実施例＊
なお、本発明は、排気方式の空力窓を使用したガスレー
ザ装置に限定されず、吹出し方式、渦流方式など、他の
方式の空力窓を有するガスレーザ装置にも同様に適用可
能である。
ザ装置に限定されず、吹出し方式、渦流方式など、他の
方式の空力窓を有するガスレーザ装置にも同様に適用可
能である。
また、レーザ光遮断手段としても、レーザ光吸収体を駆
動する方式に限らず、ミラーにより反射させて、レーザ
光吸収体に照射する手段、錯乱体により錯乱させる手段
なども使用できる。用するに、使用に供される光軸への
レーザ光の照射を妨げ、且つガス遮断バルブ動作時にお
けるバルブ閉塞部へのレーザ光の照射を妨げる手段であ
れば使用可能である。
動する方式に限らず、ミラーにより反射させて、レーザ
光吸収体に照射する手段、錯乱体により錯乱させる手段
なども使用できる。用するに、使用に供される光軸への
レーザ光の照射を妨げ、且つガス遮断バルブ動作時にお
けるバルブ閉塞部へのレーザ光の照射を妨げる手段であ
れば使用可能である。
さらに、真空遮断手段としては、オリフィス部に遮断バ
ルブを設ける伯に、オリフィス部以外の部分にガス遮断
ゲートを設ける構成も可能である。
ルブを設ける伯に、オリフィス部以外の部分にガス遮断
ゲートを設ける構成も可能である。
ただし、オリフィス部以外にゲートを設ける場合には、
ゲートの大きさが大きくなり、駆動力が増大すると共に
真空封止もより困難になる。
ゲートの大きさが大きくなり、駆動力が増大すると共に
真空封止もより困難になる。
一方、レーザ出力計測手段については、チョッパによる
サンプリング方式の他に、例えば、反射形のビームシャ
ッタ機構を組合せたパワーモニタ方式を採用することも
可能である。ただし、ビームスプリッタなどの光学素子
を光軸中に挿入する場合には、破壊を生ずる恐れがある
。
サンプリング方式の他に、例えば、反射形のビームシャ
ッタ機構を組合せたパワーモニタ方式を採用することも
可能である。ただし、ビームスプリッタなどの光学素子
を光軸中に挿入する場合には、破壊を生ずる恐れがある
。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明ガスレーザ装置においては
、レーザ光遮断手段を共振器と空ノＪ窓の間に設け、ざ
らに空力窓内部に真空遮断手段を設けるという簡単な構
成の改良により、大出力の装置においても、光学部品の
破壊という問題がなく、レーザ装置の運転時におけるガ
ス消費量を大幅に低減できる効果がある。
、レーザ光遮断手段を共振器と空ノＪ窓の間に設け、ざ
らに空力窓内部に真空遮断手段を設けるという簡単な構
成の改良により、大出力の装置においても、光学部品の
破壊という問題がなく、レーザ装置の運転時におけるガ
ス消費量を大幅に低減できる効果がある。
第１図は本発明によるガスレーザ装置の一実施例を示す
断面図、第２図は固体素子ウィンドウを用いた従来のガ
スレーザ装置を示す断面図、第３図は空力窓を用いた従
来のガスレーザ装置を示す断面図である。 １・・・真空容器、２・・・凹面ミラー、３・・・凸面
ミラー、４・・・結合ミラー、５・・・ウィンドウ、６
・・・光吸収体、７・・・駆動装置、８ａ〜８ｄ・・・
凹面ミラー、９ａ、９ｂ・・・オリフィス、１０ａ、１
０ｂ・・・ガス遮断バルブ、１１・・・チョッパ、１２
・・・パワーセンサ、１３・・・パワーメータ、１４・
・・ガス供給口、ガス排気口。
断面図、第２図は固体素子ウィンドウを用いた従来のガ
スレーザ装置を示す断面図、第３図は空力窓を用いた従
来のガスレーザ装置を示す断面図である。 １・・・真空容器、２・・・凹面ミラー、３・・・凸面
ミラー、４・・・結合ミラー、５・・・ウィンドウ、６
・・・光吸収体、７・・・駆動装置、８ａ〜８ｄ・・・
凹面ミラー、９ａ、９ｂ・・・オリフィス、１０ａ、１
０ｂ・・・ガス遮断バルブ、１１・・・チョッパ、１２
・・・パワーセンサ、１３・・・パワーメータ、１４・
・・ガス供給口、ガス排気口。
Claims (1)
- （１）レーザ媒質を充填して成る放電管内で放電を行つ
てレーザ発振させ、レーザ共振器にて共振させて得たレ
ーザ光をレーザ発振器外部に取出すと共に、凹面ミラー
を使用した空力窓により外部とレーザ発振器内部との真
空遮断を行うガスレーザ装置において、 前記レーザ共振器と空力窓との間にレーザ光遮断手段を
備え、且つ空力窓として、機械的真空遮断手段を有する
ものを使用するガスレーザ装置。（２）レーザ共振器と
、レーザ光遮断手段との間に、レーザ出力計測手段を備
えた特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30441787A JPH01146381A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30441787A JPH01146381A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01146381A true JPH01146381A (ja) | 1989-06-08 |
Family
ID=17932749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30441787A Pending JPH01146381A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01146381A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113287234A (zh) * | 2019-02-20 | 2021-08-20 | 极光先进雷射株式会社 | 气体激光装置、气体激光装置的激光的出射方法、以及电子器件的制造方法 |
-
1987
- 1987-12-03 JP JP30441787A patent/JPH01146381A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113287234A (zh) * | 2019-02-20 | 2021-08-20 | 极光先进雷射株式会社 | 气体激光装置、气体激光装置的激光的出射方法、以及电子器件的制造方法 |
| CN113287234B (zh) * | 2019-02-20 | 2023-08-01 | 极光先进雷射株式会社 | 气体激光装置、气体激光装置的激光的出射方法、以及电子器件的制造方法 |
| US12341313B2 (en) | 2019-02-20 | 2025-06-24 | Gigaphoton Inc. | Gas laser apparatus, laser beam emitting method of gas laser apparatus, and electronic device manufacturing method |
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