JPH0480979A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0480979A JPH0480979A JP2195361A JP19536190A JPH0480979A JP H0480979 A JPH0480979 A JP H0480979A JP 2195361 A JP2195361 A JP 2195361A JP 19536190 A JP19536190 A JP 19536190A JP H0480979 A JPH0480979 A JP H0480979A
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- laser
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- laser oscillation
- laser gas
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、レーザガスを外部よう連続的まだは間欠的に
供給するガスレーザ発振装置に関する。
供給するガスレーザ発振装置に関する。
従来の技術
まず従来の一般的なガスレーザ発振装置について説明す
る。
る。
従来のガスレーザ発振装置を第３図に示す。図において
、１はガラスなどの誘電体よりなる放電管であシ、２，
３は放電管１の内部に設けられた一対の金属電極である
。４は金属電極２，３に接続された高電圧電源であり、
たとえば３０ＫＶの電圧を金属電極２，３間に印加する
。５は金属電極２，３間に挟まれた放電管１内の放電空
間である。６は全反射鏡、７は部分反射鏡であり、この
全反射鏡６９部分反射鏡７は放電空間５の両端に固定配
置され、光共振器を形成している。８は部分反射鏡７を
通して出力されるレーザビームである。矢印９はレーザ
ガスの流れる方向を示している。１ｏは送気管であり、
１１．１２は放電空間５による放電および送風機により
温度上昇したレーザガスの温度を下げるための熱交換器
、１３は放電空間５にレーザガスを循環させるだめの送
風機である。上述の放電管１．送気管１０．熱交換器１
１．１２および送風機１３よりレーザ発振装置のレーザ
ガス循環系が構成されている。
、１はガラスなどの誘電体よりなる放電管であシ、２，
３は放電管１の内部に設けられた一対の金属電極である
。４は金属電極２，３に接続された高電圧電源であり、
たとえば３０ＫＶの電圧を金属電極２，３間に印加する
。５は金属電極２，３間に挟まれた放電管１内の放電空
間である。６は全反射鏡、７は部分反射鏡であり、この
全反射鏡６９部分反射鏡７は放電空間５の両端に固定配
置され、光共振器を形成している。８は部分反射鏡７を
通して出力されるレーザビームである。矢印９はレーザ
ガスの流れる方向を示している。１ｏは送気管であり、
１１．１２は放電空間５による放電および送風機により
温度上昇したレーザガスの温度を下げるための熱交換器
、１３は放電空間５にレーザガスを循環させるだめの送
風機である。上述の放電管１．送気管１０．熱交換器１
１．１２および送風機１３よりレーザ発振装置のレーザ
ガス循環系が構成されている。
なお、送風機１３により放電空間５にて約１ｏＯｍ／Ｂ
程度のガス流を得る必要がある。次にその動作について
説明する。
程度のガス流を得る必要がある。次にその動作について
説明する。
まず一対の金属電極２，３に高電圧電源４から高電圧を
印加し、放電空間５にグロー放電を発生させる。放電空
間５を通過するレーザガスは、この放電エネルギーを得
て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡６お
よび部分反射鏡７により形成された光共振器で共振状態
となり、部分反射鏡７からレーザビーム８が出力される
。このレーザビーム８がレーザ加工等の用途に用いられ
る。
印加し、放電空間５にグロー放電を発生させる。放電空
間５を通過するレーザガスは、この放電エネルギーを得
て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡６お
よび部分反射鏡７により形成された光共振器で共振状態
となり、部分反射鏡７からレーザビーム８が出力される
。このレーザビーム８がレーザ加工等の用途に用いられ
る。
第４図は、従来のレーザガス供給系を示す配管系統図で
ある。レーザガスはレーザガフボンベ１４から一次圧力
調整器１５．配管１６．フィルタ１７゜圧力調整器１８
．バルブ１９および２０．急速供給用流量計２１．一定
流量２２を経てレーザ発振装置のレーザガス循環系の送
気管１０に供給される。送気管１ｏ内の圧力は圧力セン
サ２３により測定される。２４はレーザガス排出用の真
空ポンプ、２５は急速排気用パルプ、２６は一定排気用
パルブである。
ある。レーザガスはレーザガフボンベ１４から一次圧力
調整器１５．配管１６．フィルタ１７゜圧力調整器１８
．バルブ１９および２０．急速供給用流量計２１．一定
流量２２を経てレーザ発振装置のレーザガス循環系の送
気管１０に供給される。送気管１ｏ内の圧力は圧力セン
サ２３により測定される。２４はレーザガス排出用の真
空ポンプ、２５は急速排気用パルプ、２６は一定排気用
パルブである。
第５図に従来のレーザガス供給、排気のシーケンヌを示
す。レーザ装置を起動させた時のガス圧はＡである。ガ
ス圧Ｂになるまではバルブ１９および２ｏは閉、急速排
気用バルブ２５および一定排気用バルブ２６は開となυ
、レーザガス循環系内は真空ポンプにより減圧される。
す。レーザ装置を起動させた時のガス圧はＡである。ガ
ス圧Ｂになるまではバルブ１９および２ｏは閉、急速排
気用バルブ２５および一定排気用バルブ２６は開となυ
、レーザガス循環系内は真空ポンプにより減圧される。
ガス圧がＢになると、バルブ１９および２Ｑが開、パル
プ２５および２６が閉となり、レーザガスがレーザガス
循環系に供給され、ガス圧がＣとなる。ガス圧がＣにな
ると、パルプ１９が閉、パルプ２６が開となシ、レーザ
ガス循環系内のガス圧はガスレーザ発振装置の運転ガス
圧であるＤとなり、ガス圧りで安定する。
プ２５および２６が閉となり、レーザガスがレーザガス
循環系に供給され、ガス圧がＣとなる。ガス圧がＣにな
ると、パルプ１９が閉、パルプ２６が開となシ、レーザ
ガス循環系内のガス圧はガスレーザ発振装置の運転ガス
圧であるＤとなり、ガス圧りで安定する。
発明が解決しようとする課題
このような従来のガスレーザ発振装置では、レーザガス
ボンベ１４からガスレーザ発振装置までの間の配管（第
４図の配管１６）に小さなヒンホルがあって、レーザガ
スがリークしていた場合、レーザガスボンベ１４の内部
のガヌが、例えばＣＯ２ガスレーザ発振装置の場合、一
般にはＨｅ 、Ｎ２およびＣＯ２の混合ガスが使用され
るが、例えば、ガスレーザ発振装置の起動待機状態で配
管１ｅ中にレーザガスボンベ１４よりのレーザガスが充
満している場合などには、ピンホールの大キサニよって
はＨｅのみが選択的に漏れ、配管１６の中のガス混合比
が設定の混合比から変化する事態が発生したシ、大幅に
漏れていた場合は逆に配管１６内に空気が混入する場合
もあり、ガスレーザ発振装置の出力が低下したり、時に
はガスレーザ発振装置の破損に至ることもあるという課
題があった。
ボンベ１４からガスレーザ発振装置までの間の配管（第
４図の配管１６）に小さなヒンホルがあって、レーザガ
スがリークしていた場合、レーザガスボンベ１４の内部
のガヌが、例えばＣＯ２ガスレーザ発振装置の場合、一
般にはＨｅ 、Ｎ２およびＣＯ２の混合ガスが使用され
るが、例えば、ガスレーザ発振装置の起動待機状態で配
管１ｅ中にレーザガスボンベ１４よりのレーザガスが充
満している場合などには、ピンホールの大キサニよって
はＨｅのみが選択的に漏れ、配管１６の中のガス混合比
が設定の混合比から変化する事態が発生したシ、大幅に
漏れていた場合は逆に配管１６内に空気が混入する場合
もあり、ガスレーザ発振装置の出力が低下したり、時に
はガスレーザ発振装置の破損に至ることもあるという課
題があった。
本発明は上記課題を解決するもので、レーザガス供給配
管中においてガス混合比が変化したレザガヌをレーザガ
ス発振装置のガス循環系中に混入させることのない優れ
たガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
管中においてガス混合比が変化したレザガヌをレーザガ
ス発振装置のガス循環系中に混入させることのない優れ
たガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
課題を解決するだめの手段
本発明は上記目的を達成するために、レーザガスを外部
より連続的または間欠的に供給するガスレーザ発振装置
であって、レーザ起動時にレーザガスを一定量大気中へ
排出する排出用バルブを備えるものである。
より連続的または間欠的に供給するガスレーザ発振装置
であって、レーザ起動時にレーザガスを一定量大気中へ
排出する排出用バルブを備えるものである。
作 用
本発明は上記した構成により、レーザ停止時に配管にリ
ークが発生し、配管内の残留ガス成分が変化しても、排
出用パルプを開くことによりレザ起動時に配管内の残留
ガスを一旦排出することによって起動時から正常な成分
のレーザガスをレーザガス循環系に供給でき、安定した
レーザ出力を得ることが可能となる。
ークが発生し、配管内の残留ガス成分が変化しても、排
出用パルプを開くことによりレザ起動時に配管内の残留
ガスを一旦排出することによって起動時から正常な成分
のレーザガスをレーザガス循環系に供給でき、安定した
レーザ出力を得ることが可能となる。
実施例
以下、本発明の一実施例について第１図および第２図を
参照しながら説明する。本発明のガスレザ発振装置の光
共振部およびレーザガス循環系については第３図に示し
た従来の装置と同様であるので説明を省略する。
参照しながら説明する。本発明のガスレザ発振装置の光
共振部およびレーザガス循環系については第３図に示し
た従来の装置と同様であるので説明を省略する。
第１図は本発明の一実施例のガスレーザ発振装置のレー
ザガス供給系の配管系統図である。図において、２７は
排出用パルプであり、２８は排出用パルプ２７を開閉す
る時間を設定するタイマ（時限装置）である。そして上
記排出用パルプ２７は、レーザガスの供給源であるレー
ザガスボンベ１４とレーザガス発振装置のレーザガス循
環系との間のレーザガス供給用の配管系統中に設けられ
ている。またこの排出用パルプ２７はレーザ発振器の内
部に設けてもよい。その他の１ｏおよび１４〜２６は、
第４図のそれと同様であり説明を省略する。第２図にレ
ーザガス供給、排気ノシケンスを示す。図に示すように
、ガスレーザ発振装置を起動するとタイマ２８で設定さ
れた時間だけ排出用パルプ２７が開となシ、レーザガス
ボンベ１４から供給されたレーザガスが排出される。
ザガス供給系の配管系統図である。図において、２７は
排出用パルプであり、２８は排出用パルプ２７を開閉す
る時間を設定するタイマ（時限装置）である。そして上
記排出用パルプ２７は、レーザガスの供給源であるレー
ザガスボンベ１４とレーザガス発振装置のレーザガス循
環系との間のレーザガス供給用の配管系統中に設けられ
ている。またこの排出用パルプ２７はレーザ発振器の内
部に設けてもよい。その他の１ｏおよび１４〜２６は、
第４図のそれと同様であり説明を省略する。第２図にレ
ーザガス供給、排気ノシケンスを示す。図に示すように
、ガスレーザ発振装置を起動するとタイマ２８で設定さ
れた時間だけ排出用パルプ２７が開となシ、レーザガス
ボンベ１４から供給されたレーザガスが排出される。
タイマ２８にて設定されていた一定時間が経過すると、
排出用パルプ２７は閉となり、あとは従来例と同じであ
る。なお、タイマ２８の設定時間は、懇定される最も体
積の大きい配管内のガスを十分排出できる時間か、また
は実際の配管体積を算呂し、時間設定すれば実用上十分
である。
排出用パルプ２７は閉となり、あとは従来例と同じであ
る。なお、タイマ２８の設定時間は、懇定される最も体
積の大きい配管内のガスを十分排出できる時間か、また
は実際の配管体積を算呂し、時間設定すれば実用上十分
である。
発明の効果
以上の実施例から明らかなように本発明によれば、ガス
レーザ発振装置停止時にレーザガスボンベからガスレー
ザ発振装置までの間の配管に小さなピンホールがあって
、レーザガスがリークしていた場合、レーザガスボンベ
の内部のガスが、例えばＣｏ２レーザ発振器の場合、一
般にはＨｅ。
レーザ発振装置停止時にレーザガスボンベからガスレー
ザ発振装置までの間の配管に小さなピンホールがあって
、レーザガスがリークしていた場合、レーザガスボンベ
の内部のガスが、例えばＣｏ２レーザ発振器の場合、一
般にはＨｅ。
Ｎ、Ｃｏ２ の混合ガスが使用されるが、ピンホ−ルの
大きさによってはＨｅのみが選択的に漏れ、配管の中の
ガス混合比が設定の混合比から変化する事態が発生した
り、大幅に漏れていた場合は空気が混入することがあっ
ても、ガスレーザ発振装置起動直前に配管内に残留して
いる所定混合比と異る混合比のレーザガスが排出用パル
プにより大気中へ排出されるので、レーザ出力が低下し
たり、ガスレーザ発振装置の破損に至るということのな
い優れたガスレーザ発振装置を提供することができる０
大きさによってはＨｅのみが選択的に漏れ、配管の中の
ガス混合比が設定の混合比から変化する事態が発生した
り、大幅に漏れていた場合は空気が混入することがあっ
ても、ガスレーザ発振装置起動直前に配管内に残留して
いる所定混合比と異る混合比のレーザガスが排出用パル
プにより大気中へ排出されるので、レーザ出力が低下し
たり、ガスレーザ発振装置の破損に至るということのな
い優れたガスレーザ発振装置を提供することができる０
第１図は本発明の一実施例のガスレーザ発振装置のレー
ザガス供給系の配管系統図、第２図は同配管系統の各パ
ルプの開閉シーケンス図、第３図は従来のガスレーザ発
振装置の概略断面図、第４図は同じ〈従来の配管系統図
、第５図は同じ〈従来の配管系統の各バルブの開閉シ ケンス図であ る。 ２７・・・・・・排出用パルプ。
ザガス供給系の配管系統図、第２図は同配管系統の各パ
ルプの開閉シーケンス図、第３図は従来のガスレーザ発
振装置の概略断面図、第４図は同じ〈従来の配管系統図
、第５図は同じ〈従来の配管系統の各バルブの開閉シ ケンス図であ る。 ２７・・・・・・排出用パルプ。
Claims (2)
- （１）レーザガスを外部より連続的または間欠的に供給
するガスレーザ発振装置であって、レーザ起動時にレー
ザガスを一定量大気中へ排出する排出用バルブを備えた
ガスレーザ発振装置。 - （２）レーザガスを一定量大気中へ排出する排出用バル
ブの開閉を制御するための時限装置を組み込んだ請求項
１記載のガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19536190A JPH0821744B2 (ja) | 1990-07-23 | 1990-07-23 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19536190A JPH0821744B2 (ja) | 1990-07-23 | 1990-07-23 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0480979A true JPH0480979A (ja) | 1992-03-13 |
| JPH0821744B2 JPH0821744B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=16339899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19536190A Expired - Lifetime JPH0821744B2 (ja) | 1990-07-23 | 1990-07-23 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0821744B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013171951A1 (ja) | 2012-05-18 | 2013-11-21 | パナソニック株式会社 | レーザ発振装置 |
| DE102015119293A1 (de) | 2014-11-17 | 2016-05-19 | Fanuc Corporation | Gaslaservorrichtung, die zum Prüfen der Luftdichtheit eines Lasergaszufuhrrohrs imstande ist |
| DE102016101072A1 (de) | 2015-01-29 | 2016-08-04 | Fanuc Corporation | Gaslaservorrichtung zum bestimmen des zusammensetzungsverhältnisses von lasergas |
-
1990
- 1990-07-23 JP JP19536190A patent/JPH0821744B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013171951A1 (ja) | 2012-05-18 | 2013-11-21 | パナソニック株式会社 | レーザ発振装置 |
| US8897331B2 (en) | 2012-05-18 | 2014-11-25 | Panasonic Corporation | Lasing device |
| DE102015119293A1 (de) | 2014-11-17 | 2016-05-19 | Fanuc Corporation | Gaslaservorrichtung, die zum Prüfen der Luftdichtheit eines Lasergaszufuhrrohrs imstande ist |
| JP2016096319A (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | ファナック株式会社 | レーザガスの供給配管の気密性を検査する機能を備えたガスレーザ装置 |
| DE102016101072A1 (de) | 2015-01-29 | 2016-08-04 | Fanuc Corporation | Gaslaservorrichtung zum bestimmen des zusammensetzungsverhältnisses von lasergas |
| US9653876B2 (en) | 2015-01-29 | 2017-05-16 | Fanuc Corporation | Gas laser apparatus for determining composition ratio of laser gas |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0821744B2 (ja) | 1996-03-04 |
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