JPH01147347A - 光ディスクスタンパ検査装置 - Google Patents
光ディスクスタンパ検査装置Info
- Publication number
- JPH01147347A JPH01147347A JP30670487A JP30670487A JPH01147347A JP H01147347 A JPH01147347 A JP H01147347A JP 30670487 A JP30670487 A JP 30670487A JP 30670487 A JP30670487 A JP 30670487A JP H01147347 A JPH01147347 A JP H01147347A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical disk
- disk stamper
- stamper
- vacuum
- optical
- Prior art date
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光ディスクスタンパの検査装置に関する。
従来は第６図に示すように、検査対象とする光ディスク
スタンパ６３の表面に微小スポットに集光したレーザ光
を照射し、光ディスクスタンパ６３の表面からの反射光
を検出して表面の欠陥などを検査する装置として、光デ
ィスクスタンパ６３の中心穴付近のみをチャックするた
めにマグネットチャックなどのチャック機構６２を用い
、光ディスクスタンパ６３の信号が記録されている面６
３ｂを下に向けてチャックすることにより、光ディスク
スタンパの表面６３にほこりやごみなどが付着すること
を防ぎ、はこりやごみなどの影響で変化した反射光量を
光ディスクスタンパ６３の表面の欠陥と誤判定すること
を防止するチャック機構を用いる、光ディスクスタンパ
検査装置が知られていた。
スタンパ６３の表面に微小スポットに集光したレーザ光
を照射し、光ディスクスタンパ６３の表面からの反射光
を検出して表面の欠陥などを検査する装置として、光デ
ィスクスタンパ６３の中心穴付近のみをチャックするた
めにマグネットチャックなどのチャック機構６２を用い
、光ディスクスタンパ６３の信号が記録されている面６
３ｂを下に向けてチャックすることにより、光ディスク
スタンパの表面６３にほこりやごみなどが付着すること
を防ぎ、はこりやごみなどの影響で変化した反射光量を
光ディスクスタンパ６３の表面の欠陥と誤判定すること
を防止するチャック機構を用いる、光ディスクスタンパ
検査装置が知られていた。
このような従来の光ディスクスタンパ検査装置において
は、検査対象とする光ディスクスタンパの厚みが約３０
０ミクロンと薄いこと、さらに光ディスクスタンバ製造
工程中のメツキ工程で発生した応力が後の剥離工程で開
放されることにより、面振れが大きくなるため、光ディ
スクスタンバ表面に集光すべき光スポットの焦点ずれ量
が大きくなり、検出信号の劣化を招いている。そのため
、劣化した検出信号を光デイスクスタンバ表面の欠陥と
誤判定する場合があった。
は、検査対象とする光ディスクスタンパの厚みが約３０
０ミクロンと薄いこと、さらに光ディスクスタンバ製造
工程中のメツキ工程で発生した応力が後の剥離工程で開
放されることにより、面振れが大きくなるため、光ディ
スクスタンバ表面に集光すべき光スポットの焦点ずれ量
が大きくなり、検出信号の劣化を招いている。そのため
、劣化した検出信号を光デイスクスタンバ表面の欠陥と
誤判定する場合があった。
そこで本発明はこのような問題点を解決するためのもの
で、その目的とするところは、光デイスクスタンバ表面
へのごみ、はこりなどの付着を防ぎ、さらに光ディスク
スタンパの面振れを矯正し光スポットの焦点ずれを小さ
くして再生信号の劣化を防ぐことにより、光デイスクス
タンバ表面の欠陥などを誤判定することなく正確に検査
できる光ディスクスタンパ検査装置を提供することにあ
る。
で、その目的とするところは、光デイスクスタンバ表面
へのごみ、はこりなどの付着を防ぎ、さらに光ディスク
スタンパの面振れを矯正し光スポットの焦点ずれを小さ
くして再生信号の劣化を防ぐことにより、光デイスクス
タンバ表面の欠陥などを誤判定することなく正確に検査
できる光ディスクスタンパ検査装置を提供することにあ
る。
本発明の光ディスクスタンパ検査装置は、検査対象とす
る光ディスクスタンバ表面に微小スポットに集光したレ
ーザ光を照射し、前記光デイスクスタンバ表面からの反
射光量を検出することにより前記光ディスクスタンバ表
面の欠陥などを検査する装置において、前記光ディスク
スタンパの信吸着することを特徴とする。
る光ディスクスタンバ表面に微小スポットに集光したレ
ーザ光を照射し、前記光デイスクスタンバ表面からの反
射光量を検出することにより前記光ディスクスタンバ表
面の欠陥などを検査する装置において、前記光ディスク
スタンパの信吸着することを特徴とする。
本発明の上記光ディスクスタンパ検査装置によれば、検
査対象とする光ディスクスタンパの信号が記録されてい
る面を下に向けて表面へのごみ、はこりなどの付着を防
ぎ、さらに光ディスクスタンパの信号が記録されていな
い面を真空チャック機構を用いて真空吸着し、光ディス
クスクンバの面振れを矯正し光スポットの焦点ずれを小
さくして再生信号の劣化を防ぐことにより、光デイスク
スタンバ表面の欠陥などを誤判定することなく正確に検
査することが可能となる。
査対象とする光ディスクスタンパの信号が記録されてい
る面を下に向けて表面へのごみ、はこりなどの付着を防
ぎ、さらに光ディスクスタンパの信号が記録されていな
い面を真空チャック機構を用いて真空吸着し、光ディス
クスクンバの面振れを矯正し光スポットの焦点ずれを小
さくして再生信号の劣化を防ぐことにより、光デイスク
スタンバ表面の欠陥などを誤判定することなく正確に検
査することが可能となる。
以下、本発明について図面に基づいて詳細に説明する。
第１図は本発明の光ディスクスタンパ検査装置の一構成
例の概略図である。第１図において検査対象とする光デ
ィスクスタンパ２０を真空吸着し面振れを矯正する真空
チャック本体１７は、カップリング１２を介してスピン
ドルモータ１１により回転させられる。真空発生源２３
で発生した真空は、方向制御弁２２、ハウジング１４に
取り付けられた真空導入口２１および真空チャック本体
１７に設けられた真空案内溝１６を経てチャック面１８
に導かれ、光ディスクスタンパ２０の信号が記録されて
いない面２０ａを真空吸着する。
例の概略図である。第１図において検査対象とする光デ
ィスクスタンパ２０を真空吸着し面振れを矯正する真空
チャック本体１７は、カップリング１２を介してスピン
ドルモータ１１により回転させられる。真空発生源２３
で発生した真空は、方向制御弁２２、ハウジング１４に
取り付けられた真空導入口２１および真空チャック本体
１７に設けられた真空案内溝１６を経てチャック面１８
に導かれ、光ディスクスタンパ２０の信号が記録されて
いない面２０ａを真空吸着する。
ここで、ハウジング１４と真空チャック本体１７の間に
は真空シール１５が取り付けられ、真空が漏れることを
防止する。
は真空シール１５が取り付けられ、真空が漏れることを
防止する。
さらに、光ディスクスタンパ２０の信号が記録されてい
る面２０ｂは下向きになり、光ピツクアップ２４と対向
する。一方、ヘッド送り機構２５に取り付けられた光ピ
ツクアップ２４は、スピンドルモータ１１によって回転
させられる光ディスクスタンパ２０の表面に微小スポッ
トに集光したレーザ光を照射し、光ディスクスタンパ２
０の表面からの反射光を検出して再生信号２６を得る。
る面２０ｂは下向きになり、光ピツクアップ２４と対向
する。一方、ヘッド送り機構２５に取り付けられた光ピ
ツクアップ２４は、スピンドルモータ１１によって回転
させられる光ディスクスタンパ２０の表面に微小スポッ
トに集光したレーザ光を照射し、光ディスクスタンパ２
０の表面からの反射光を検出して再生信号２６を得る。
得られた再生信号２６は欠陥検査用の信号処理回路２７
に送られ、光ディスクスタンパ２０の表面の欠陥検査が
行われる。
に送られ、光ディスクスタンパ２０の表面の欠陥検査が
行われる。
真空チャックの一例としては第１図に示したように、チ
ャック面１８に多孔質材料１９をスピンドルモータ軸と
同心円をなすように取り付けたものがある。その他の例
を第２図に示す。第２図（ａ）は真空チャック本体１７
の断面図であり、第２図（ｂ）は正面図である。こちら
はチャック面１８を真空チャック本体１７と同一材料と
したものであり、真空吸着用の真空導入溝１６がチャッ
ク面１８にも設けられている。ただし、チャック面１８
上に設けられる真空導入溝１６の形状、本数などは第２
図のものに限らない。
ャック面１８に多孔質材料１９をスピンドルモータ軸と
同心円をなすように取り付けたものがある。その他の例
を第２図に示す。第２図（ａ）は真空チャック本体１７
の断面図であり、第２図（ｂ）は正面図である。こちら
はチャック面１８を真空チャック本体１７と同一材料と
したものであり、真空吸着用の真空導入溝１６がチャッ
ク面１８にも設けられている。ただし、チャック面１８
上に設けられる真空導入溝１６の形状、本数などは第２
図のものに限らない。
これらの真空チャックはいずれもチャック面１８の面振
れが、例えばコンパクトディスクの面振れ規格値である
５０ミクロン以下に仕上げられており、光ディスクスタ
ンパ２０を真空吸着することにより、その面振れを矯正
することが可能である。
れが、例えばコンパクトディスクの面振れ規格値である
５０ミクロン以下に仕上げられており、光ディスクスタ
ンパ２０を真空吸着することにより、その面振れを矯正
することが可能である。
第３図はコンパクトディスク（ＣＤ） 、ＣＤ−ＲＯＭ
、ＣＤ−Ｉなと再生専用光ディスクスタンパ検査装置用
の前記信号処理回路２７の一構成例を示すブロック図で
ある。光ピツクアップ２４により検出された再生信号２
６は、復号器３１において規格化されたフォーマット信
号に復号された後、誤り検出回路３２に入力される。光
ピツクアップ２４から照射されたレーザ光は、光ディス
クスタンパの表面に欠陥などがあるとそれにより散乱さ
れて反射光量が減少するため、再生信号振幅が小さくな
る。誤り検出訂正回路３２は、再生信号振幅が小さくな
った個所において符号誤りを検出する。したがってこの
符号誤りの状態を観測することにより光ディスクスタン
パの表面の欠陥が検出できる。次に、検出された欠陥な
どによって引き起こされた符号誤りを計数回路３３によ
り計数し、記憶回路３４により欠陥の発生位置や大きさ
などを記憶する。記憶されたこれらのデータをパーソナ
ルコンピュータ（図示せず）によりデータ処理する。
、ＣＤ−Ｉなと再生専用光ディスクスタンパ検査装置用
の前記信号処理回路２７の一構成例を示すブロック図で
ある。光ピツクアップ２４により検出された再生信号２
６は、復号器３１において規格化されたフォーマット信
号に復号された後、誤り検出回路３２に入力される。光
ピツクアップ２４から照射されたレーザ光は、光ディス
クスタンパの表面に欠陥などがあるとそれにより散乱さ
れて反射光量が減少するため、再生信号振幅が小さくな
る。誤り検出訂正回路３２は、再生信号振幅が小さくな
った個所において符号誤りを検出する。したがってこの
符号誤りの状態を観測することにより光ディスクスタン
パの表面の欠陥が検出できる。次に、検出された欠陥な
どによって引き起こされた符号誤りを計数回路３３によ
り計数し、記憶回路３４により欠陥の発生位置や大きさ
などを記憶する。記憶されたこれらのデータをパーソナ
ルコンピュータ（図示せず）によりデータ処理する。
第４図は信号記録用案内溝があらかじめ記録された追記
型あるいは書換え可能型光ディスクスタンパ検査装置用
の前記信号処理回路２７の一構成例を示すブロック図で
あり、第５図は第４図における各所の信号出力図である
。第５図（ａ）の実線で示される再生信号２６は、光デ
ィスクスタンパ表面に欠陥がないときには５１ａの信号
振幅であるが、欠陥により光ピツクアップからのレーザ
光が散乱されると５２ａのように信号振幅が小さくなる
。比較器４１では再生信号２６を基準値と比較すること
により欠陥を検出し、第５図（ｂ）のような出力信号４
２を計数回路４３および記憶回路４４に出力する。ここ
で光ディスクスタンパの面振れが大きく光スポットの焦
点ずれが大きい場合、あるいは光ディスクスタンパ表面
にごみ、はこりなどが付着している場合も、第５図（ａ
）の５３ａのように再生信号振幅は小さく成り欠陥と誤
判定されることになるが、本発明の光ディスクスタンパ
検査装置においては光ディスクスタンパ表面にごみ、は
こりなどが付着しにくく、さらに光ディスクスタンパの
面振れを矯正するため、欠陥の誤判定を防止できる。
型あるいは書換え可能型光ディスクスタンパ検査装置用
の前記信号処理回路２７の一構成例を示すブロック図で
あり、第５図は第４図における各所の信号出力図である
。第５図（ａ）の実線で示される再生信号２６は、光デ
ィスクスタンパ表面に欠陥がないときには５１ａの信号
振幅であるが、欠陥により光ピツクアップからのレーザ
光が散乱されると５２ａのように信号振幅が小さくなる
。比較器４１では再生信号２６を基準値と比較すること
により欠陥を検出し、第５図（ｂ）のような出力信号４
２を計数回路４３および記憶回路４４に出力する。ここ
で光ディスクスタンパの面振れが大きく光スポットの焦
点ずれが大きい場合、あるいは光ディスクスタンパ表面
にごみ、はこりなどが付着している場合も、第５図（ａ
）の５３ａのように再生信号振幅は小さく成り欠陥と誤
判定されることになるが、本発明の光ディスクスタンパ
検査装置においては光ディスクスタンパ表面にごみ、は
こりなどが付着しにくく、さらに光ディスクスタンパの
面振れを矯正するため、欠陥の誤判定を防止できる。
なお、第１図は送り機構２５を光ピツクアップ２４の移
動用として用いる構造を示しているが、これはスピンド
ルモータ１１の移動用として用いる構造でも良い。
動用として用いる構造を示しているが、これはスピンド
ルモータ１１の移動用として用いる構造でも良い。
以上述べたように本発明によれば、光ディスクスタンパ
表面にごみ、はこりなどが付着しにくく、さらに光ディ
スクスタンパの面振れを矯正し光スポットの焦点ずれを
小さくして、再生信号の劣化を防ぐため、光ディスクス
タンパ表面の欠陥などを誤判定することなく正確に検査
可能となる。
表面にごみ、はこりなどが付着しにくく、さらに光ディ
スクスタンパの面振れを矯正し光スポットの焦点ずれを
小さくして、再生信号の劣化を防ぐため、光ディスクス
タンパ表面の欠陥などを誤判定することなく正確に検査
可能となる。
第１図は本発明の光ディスクスタンパ検査装置の概略図
、第２図（ａ）、（ｂ）は本発明の真空チャック本体の
一例を示す断面図及び正面図、第３図は再生専用光ディ
スクスタンパ検査装置の信号処理回路の一構成例を示す
ブロック図、第４図は追記型あるいは書換え可能型光デ
ィスクスタンパ検査装置用の信号処理回路の一構成例を
示すブロック図、第５図（ａ）、（ｂ）は第４図におけ
る各所の信号出力図、第６図は従来の光ディスクスタン
パ検査装置の概略図である。 ＩＬ６１・・・スピンドルモータ １２・・・・・・カップリング １３ａＸｂ・・・軸受け １４・・・・・・ハウジング １５・・・・・・真空シール １６・・・・・・真空案内溝 １７・・・・・・真空チャック本体 １８・・・・・・チャック面 １９・・・・・・多孔質材料 ２０・・・・・・光ディスクスタンパ ２０ａ、６３ａ・光ディスクスタンパの信号が記録され
ていない面 ２０ｂ、６３ｂ・光ディスクスタンパの信号が記録され
ている面 ２１・・・・・・真空導入口 ２２・・・・・・方向制御弁 ２３・・・・・・真空発生源 ２４．６４・・・光ピツクアップ ２５．６５・・・光ピンクアップ送り機構２６．６６・
・・再生信号 ２７．６７・・・信号処理回路 ３１・・・・・・復号器 ３２・・・・・・誤り検出訂正回路 ３３．４３・・・計数回路 ３４．４４・・・記憶回路 ４１・・・・・・比較回路 ６２・・・・・・チャック機構 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 （α） （ｂ） 章２図 ２？ 惠 第４図 （ｄ） （ら）
、第２図（ａ）、（ｂ）は本発明の真空チャック本体の
一例を示す断面図及び正面図、第３図は再生専用光ディ
スクスタンパ検査装置の信号処理回路の一構成例を示す
ブロック図、第４図は追記型あるいは書換え可能型光デ
ィスクスタンパ検査装置用の信号処理回路の一構成例を
示すブロック図、第５図（ａ）、（ｂ）は第４図におけ
る各所の信号出力図、第６図は従来の光ディスクスタン
パ検査装置の概略図である。 ＩＬ６１・・・スピンドルモータ １２・・・・・・カップリング １３ａＸｂ・・・軸受け １４・・・・・・ハウジング １５・・・・・・真空シール １６・・・・・・真空案内溝 １７・・・・・・真空チャック本体 １８・・・・・・チャック面 １９・・・・・・多孔質材料 ２０・・・・・・光ディスクスタンパ ２０ａ、６３ａ・光ディスクスタンパの信号が記録され
ていない面 ２０ｂ、６３ｂ・光ディスクスタンパの信号が記録され
ている面 ２１・・・・・・真空導入口 ２２・・・・・・方向制御弁 ２３・・・・・・真空発生源 ２４．６４・・・光ピツクアップ ２５．６５・・・光ピンクアップ送り機構２６．６６・
・・再生信号 ２７．６７・・・信号処理回路 ３１・・・・・・復号器 ３２・・・・・・誤り検出訂正回路 ３３．４３・・・計数回路 ３４．４４・・・記憶回路 ４１・・・・・・比較回路 ６２・・・・・・チャック機構 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 （α） （ｂ） 章２図 ２？ 惠 第４図 （ｄ） （ら）
Claims (1)
- 検査対象とする光ディスクスタンパ表面に微小スポット
に集光したレーザ光を照射し、前記光ディスクスタンパ
表面からの反射光量を検出することにより前記光ディス
クスタンパ表面の欠陥などを検出する装置において、前
記光ディスクスタンパの信号が記録されている面を下に
向け、信号が記録されていない面を真空チャック機構を
用いて真空吸着することを特徴とする光ディスクスタン
パ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30670487A JPH01147347A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | 光ディスクスタンパ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30670487A JPH01147347A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | 光ディスクスタンパ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01147347A true JPH01147347A (ja) | 1989-06-09 |
Family
ID=17960302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30670487A Pending JPH01147347A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | 光ディスクスタンパ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01147347A (ja) |
-
1987
- 1987-12-03 JP JP30670487A patent/JPH01147347A/ja active Pending
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