JPH02118931A - 光ディスクスタンパ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は光デイスクスタンパの検査装置１こ関する。

［従来の技術］ 従来は第６図に示すように、検査対象とする光ディスク
スタンパ６３の表面に微小又ポットに集光したレーザ光
を照射し、光ディスクスタンパ６３の表面からの反射光
を検出して表面の欠陥などを検査する装置として、光デ
ィスクスタンパ６３の中心穴付近のみをチャックするた
めにマグネットチャックなどのチャック機構６２を用い
、光ディスクスタンパ６３の信号が記録されている面６
３ｂを下に向けてチャックすることにより、光デイスク
スタンパの表面６３にほこりやごみなどが付着すること
を防ぎ、はこりやごみなどの影響で変化した反射光量を
光デイスクスタンパ６３の表面の欠陥と誤判定すること
を防止する、光ディスクスタンパ検査装置が知られてい
た。

［発明が解決しようとする課題］ このような従来の光ディスクスタンパ検査装置において
は、検査対象とする光ディスクスタンパの厚みが約３０
０ミクロンと薄いこと、さらに光ディスクスタンパ製造
工程中のメツキ工程で発生した応力が後の剥離工程で解
放されることにより、面振れが大きくなるため、光ディ
スクスタンパ表面に集光すべき光スポットの焦点ずれ量
が大きくなり、検出信号の劣化を招いている。そのため
、劣化した検出信号を光ディスクスタンパ表面の欠陥と
誤判定する場合があった。

そこで本発明はこのような問題１点を解決するためのも
ので、その目的とするところは、光ディスクスタンパ表
面へのごみ、はこりなどの付着を防ぎ、さらに光ディス
クスタンパの面振れを矯正し光スポットの焦点ずれを小
さくして再生信号の劣化を防ぐことにより、光ディスク
スタンパ表面の欠陥などを誤判定することなく正確に検
査できる光ディスクスタンパ検査装置を提供することに
ある。

〔課題を解決するための手段１ 本発明の光ディスクスタンパ検査装置は、検査対象とす
る光ディスクスタンパ表面に微小スポットに集光したレ
ーザ光を照射し、前記光ディスクスタンパ表面からの反
射光量を（炙出することにより、前記光ディスクスタン
パ表面の欠陥などを検査する光ディスクスタンパ検査装
置において、前記光ディスクスタンパの信号が記録され
ている面を下に向け、信号が記録されていない面をマグ
ネットチャック樋溝を用いて吸着することを特徴とする
。

（作　用１ 本発明の上記光ディスクスタンパ検査装置によれば、検
査対象とする光ディスクスタンパの信号が記録されてい
る面を下に向けて、表面へのごみ、はこりなどの付着を
防ぎ、さらに光ディスクスタンパの信号が記録されてい
ない面をマグネットチャック機構を用いて吸着し、光デ
ィスクスタンパの面振れを矯正し光スポットの焦点ずれ
を小さくして再生信号の劣化を防ぐことにより、光ディ
スクスタンパ表面の欠陥などを誤判定することなく正確
に検査することが可能となる。

［実　旅　例１ 以下、本発明について図面に基づいて詳細に説明する。

第１図は本発明の光ディスクスタンパ検査装置の一構成
例の概略図である。第１図において検査対象とする光デ
イスクスタンパ１６を吸着し１面振れを矯正するするマ
ダラ、ットチャック本体１５は、ベアリング１３ａ、ｂ
によりハウジング１４に支持され、カップリング１２を
介してスピンドルモータ１１により回転させられる。

チャツク本体１５内部にはコイル１７が組み込まれ、電
源２０から例えばブラシ２７およびスリンブリング２８
のような給電手段により、電流が供給される。チャック
本体１５の表面は、非６Ｒ１生材料からなる仕切扱１８
で仕切られ、ｌｉｎ性材料からなる吸着板Ｉ９が取り付
けられて＝ｍ石を構成している。コイル１７から発生１
−る６ｎ力線２６がスタンバ１６を通ることにより、吸
着板１９はスタンバ１６の、信号が記録されていない面
１６ａを吸着する。一方、検査終了時など除給材の際に
は、スイッチ２１を切ってコイル１７への電流の供給を
ｅ断すること（こより、スタンバを取り外す。

なお、第１図ではコイルへの給電手段として、ブラシお
よびスリップリングを用いた例を示しているが、これは
水根接点などを用いてもよい。

光ディスクスタンパ１６の信号が記録されている面１６
１）は、マグネットチャックに吸着される際には下向き
になり、光ピツクアップ２３と対向する。一方、ヘッド
送り１購２２に取り付けられた光ピツクアップ２３は、
スピンドルモータ１１によって回転させられる光デイス
クスタンパ１６の表面に微小久ポットに集光したレーザ
光を照射し、光デイスクスタンパ１６の表面がらの反射
光を検出して再生信号２４を得る。得られた再生信号２
４は欠陥検査用の信号処理回路２５に送られ、光ディス
クスタンパ１６の表面の欠陥検査が行われる。

マグネットチャックの一例としては第１図に示したよう
に、電電石を用いたものがある。その１也の例を第２図
に示す。第２図（ａ）はスタンバを吸着している際のマ
グネットチャックの断面図であり、第２図（ｂ）はスタ
ンバを取り外した際のマグネットチャックの断面図であ
る。この例で口ま…力の発生源として、極鉄板３１で仕
切られた永久６ｎ石３２を用いている。チャック本体１
５の表面は第１構成例と同様に非Ｉｉｎ性材本４からな
る仕切板３０で仕切られ、ｍ性体からなる吸着板２９が
取り付けられている。

スタンバを吸着する際には、永久ａ＋石３２は仕切板３
０の上方にあり、第２図（ａ）のように、ｍ力線２６が
スタンバ１６の内部を通っている。

一方、除給材の際には、カムなどの駆動手段（図示せず
）により永久ｍ石３２を吸着板２９の上方に移動させる
ことにより、５ｆ１力線２６は第２図（ｂ）のようにヂ
ャック内部を通ることになる。

これらのマグネットチャックはいずれも吸着板２９の面
振れが、例えばコンパクトディスクの面振れ規格値であ
る５０ミクロン以下に仕上げられており、光ディスクス
タンパ１Ｇを吸着することにより、その面振れを矯正す
ることが可能である。

第３図はコンパクトディスク（ＣＤ）、ＣＤ−ＲＯＭ、
ＣＤ−Ｉなと再生専用光ディスクスタンパ検査装置用の
、前記信号処理回路２５の一構成例を示すブロック図で
ある。光ピツクアップ２３により検出された再生信号２
４は復号器３３において、蜆格化されたフォーマット信
号に復号された後、誤り検出訂正回路３４に入力される
。光ピツクアップ２３から照射されたレーザ光は、光デ
ィスクスタンパの表面に欠陥などがあるとそれにより敗
乱されて反射光量が減少するため、再生信号振幅が小さ
くなる。誤り検出訂正回路３４は、再生信号振幅が小さ
くなった個所において符号誤りを検出する。したがって
この符号謬りの状態を観測することにより、光ディスク
スタンパの表面の欠陥が検出できる。次に、検出された
欠陥などによって引き起こされた符号誤りを計数回路３
５により計数し、記・億回路３６により欠陥の発生位置
や大きさなどを記″１する。記憶されたこれらのデータ
をパーソナルコンピュータ（図示せず）によりデータ処
理する。

第４図は信号記録用案内溝があらかじめ記録された、追
記型あるいは書換え可能型光ディスクスタンパ検査装置
用の、前記信号処理回路２５の一構成例を示すブロック
図であり、第５図は第４図における各所の信号出力図で
ある。第５図（ａ）の実線で示される再生信号２４は、
光ディスクスタンパ表面に欠陥がないときには５１ａの
信号振幅であるが、欠陥により光ピツクアップからのレ
ーザ光が敗乱されると５２ａのように信号振偏が小さく
なる。比較器４１では再生信号２４を基準値と比較する
ことにより欠陥を検出し、第５図（ｂ）のような出力信
号４２を計数回路４３おミび記憶回路４４に出力する。

ここで光ディスクスタンパの面振れが大きく光スポット
の焦点ずれが大きい場合、あるいは光ディスクスタンパ
表面にごみ、はこりなどが付着している場合ら、第５図
（ａ）の５３ａのように再生信号振幅は小さくなり、欠
陥と誤判定されることになるが、本発明の光ディスクス
タンパ検査装置においては光ディスクスタンパ表面（こ
こ゛み、はこりなと゛が１寸着しくこくく、さらに光デ
ィスクスタンパの面振れを矯正するため、欠陥の誤判定
を防止できる。

なお、第１図は送り１横２２を光ビックアップ２３の移
動用として用いるｔＲ’Ｕを示しているが、これはチャ
ック１横１１の移動用として用いる構造でも良い。

（発明の効果１ 以上述べたように本発明によれば、光ディスクスタンパ
の信号が記録されている面を下に向けるチャック構造を
用いているため、光ディスクスタンパ表面にごみ、はこ
りなどが付着しにくく、さらに光ディスクスタンパの面
触れを矯正し、光スポットの焦点ずれを小さくして再生
信号の劣化を防ぐため、光ディスクスタンパ表面の欠陥
などを誤判定することなく正確に検査可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の光デイスクスタンパ検査装置の第１実
施例の概略図、第２図は第２実施例の断面図、第３図は
再生専用光ディスクスタンパｔｌｉ　ｉｌ装置の信号処
理回路の一購成例を示すブロック図、第４図は追記型あ
るいは書換え可能型光ディスクスタンパ検査装置用の信
号処理回路の一構成例を示すブロック図、第５図は第４
図における各所の信号出力図、第６図は従来の光デイス
クスタンパ検査装置の概略図。 ｌ　５　・ １６　・ ２３　・ ２５　・ ・チャック本体 ・光デイスクスタンパ ・光ビックアンプ ・信号処理回路 以 上 出願人　セイコーエプソン株式会社 代理人　弁理士　鈴　木　喜三部（他１名）第２図（ａ
） 第７ 第３０ 蜜４図 （Ｑ） （ｂ’）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　検査対象とする光ディスクスタンパ表面に微小スポッ
   トに集光したレーザ光を照射し、前記光ディスクスタン
   パ表面からの反射光量を検出することにより、前記光デ
   ィスクスタンパ表面の欠陥などを検査する光ディスクス
   タンパ検査装置において、前記光ディスクスタンパの信
   号が記録されている面を下に向け、信号が記録されてい
   ない面をマグネットチャック機構を用いて吸着すること
   を特徴とする光ディスクスタンパ検査装置。