JPH01153364U - - Google Patents
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- JPH01153364U JPH01153364U JP4920388U JP4920388U JPH01153364U JP H01153364 U JPH01153364 U JP H01153364U JP 4920388 U JP4920388 U JP 4920388U JP 4920388 U JP4920388 U JP 4920388U JP H01153364 U JPH01153364 U JP H01153364U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- injection plate
- gas
- gas injection
- electrode
- introduction pipe
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 7
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 5
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図ａ〜ｃはそれぞれ本考案におけるガス注
入板の構成例を示す簡略断面図、第２図ａ，ｂは
それぞれ同じくガス注入板の下面図及び第２図ａ
の―線断面図、第３図は本考案を適用できる
リアクテイブイオンエツチング装置の一例の構成
を示す説明図、第４図ａ〜ｃは本考案の作用の説
明図、第５図は従来におけるガス注入板の下面図
である。 １……真空室、２，３……上、下部電極、４…
…ガス注入板、５……ガス導入管、６……ウエー
ハ、７……細孔、８……メクラ栓、９……螺着孔
、１０……細孔治具、１１……高周波電源、１２
……排気口、１３……圧力制御弁、１４……排気
装置、１５……放射溝、１７……リング状細溝。
入板の構成例を示す簡略断面図、第２図ａ，ｂは
それぞれ同じくガス注入板の下面図及び第２図ａ
の―線断面図、第３図は本考案を適用できる
リアクテイブイオンエツチング装置の一例の構成
を示す説明図、第４図ａ〜ｃは本考案の作用の説
明図、第５図は従来におけるガス注入板の下面図
である。 １……真空室、２，３……上、下部電極、４…
…ガス注入板、５……ガス導入管、６……ウエー
ハ、７……細孔、８……メクラ栓、９……螺着孔
、１０……細孔治具、１１……高周波電源、１２
……排気口、１３……圧力制御弁、１４……排気
装置、１５……放射溝、１７……リング状細溝。
Claims (1)
- 真空室１内に上、下部電極２，３を対向して配
置し、上記電極２の下面にガス注入板４を取付け
、上、下部電極２，３間に高周波電力を印加する
と共に上部電極２のガス導入管５より反応ガスを
導入しこのガス導入管５に連通するガス注入板４
から反応ガスを注入しつつ排気して下部電極３上
のウエーハ６のエツチングを行う装置において、
ガス注入板４に多数の細孔７を設け、必要に応じ
てこれらの細孔７の一部にメクラ栓８を施設せし
めてなるプラズマエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4920388U JPH01153364U (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4920388U JPH01153364U (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153364U true JPH01153364U (ja) | 1989-10-23 |
Family
ID=31275319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4920388U Pending JPH01153364U (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01153364U (ja) |
-
1988
- 1988-04-11 JP JP4920388U patent/JPH01153364U/ja active Pending
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