JPH01153523A - 超電導材の製造方法 - Google Patents
超電導材の製造方法Info
- Publication number
- JPH01153523A JPH01153523A JP62309485A JP30948587A JPH01153523A JP H01153523 A JPH01153523 A JP H01153523A JP 62309485 A JP62309485 A JP 62309485A JP 30948587 A JP30948587 A JP 30948587A JP H01153523 A JPH01153523 A JP H01153523A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- superconducting
- superconducting material
- coating film
- oxygen
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、基材の表面上に超電導物質からなる皮膜が
形成された超電導材の製造方法に関するものである。
形成された超電導材の製造方法に関するものである。
超電導材料は、既に高エネルギ粒子加速器、医療診断用
ＭＨＩ−ＣＴおよび物性研究装置などにおいて、超電導
マグネットの形で実用化されている。このような超電導
材料の応用分野は広く、今後、例えば、発電機、エネル
ギーの貯蔵や変換、リニアモーターカー、資源回収用磁
気骨Ｍ装置、核融合炉、送電ケーブルおよび磁気シール
ド材等に対する超電導材料の応用が期待されており、更
に、超高速度コンピューター、赤外線検出器、および、
低雑音の増幅器やミキサー等に対する、ジョセフソン効
果を利用した超電導素子の応用が期待されている。これ
らが本格的に実用化されたときの産業的および社会的イ
ンパクトの大きさは計り知れないものがある。
ＭＨＩ−ＣＴおよび物性研究装置などにおいて、超電導
マグネットの形で実用化されている。このような超電導
材料の応用分野は広く、今後、例えば、発電機、エネル
ギーの貯蔵や変換、リニアモーターカー、資源回収用磁
気骨Ｍ装置、核融合炉、送電ケーブルおよび磁気シール
ド材等に対する超電導材料の応用が期待されており、更
に、超高速度コンピューター、赤外線検出器、および、
低雑音の増幅器やミキサー等に対する、ジョセフソン効
果を利用した超電導素子の応用が期待されている。これ
らが本格的に実用化されたときの産業的および社会的イ
ンパクトの大きさは計り知れないものがある。
これまでに開発された代表的な超電導材料としてはＮｂ
−Ｔｉ合金があり、これは、現在９Ｔまでの磁界発生用
線材として、広く使用されている。Ｎｂ−Ｔｉ合金のＴ
ｃ （超電導状態が存在する臨界温度）は、９にである
。
−Ｔｉ合金があり、これは、現在９Ｔまでの磁界発生用
線材として、広く使用されている。Ｎｂ−Ｔｉ合金のＴ
ｃ （超電導状態が存在する臨界温度）は、９にである
。
このＮｂ −Ｔｉ合金よりも格段に高いＴｃを有する超
電導材料として、化合物系の超電導材料が開発され、現
在、Ｎｂ１Ｓｎ （Ｔｃ ： １８Ｋ ）およびＶ３Ｇ
ａ （Ｔｃ ：１５Ｋ）が線材化され、実用に供されて
いる。更に、Ｎｂ、Ｇｅによれば、２３にのＴｃが得ら
れている。
電導材料として、化合物系の超電導材料が開発され、現
在、Ｎｂ１Ｓｎ （Ｔｃ ： １８Ｋ ）およびＶ３Ｇ
ａ （Ｔｃ ：１５Ｋ）が線材化され、実用に供されて
いる。更に、Ｎｂ、Ｇｅによれば、２３にのＴｃが得ら
れている。
このように、長年にわたって高Ｔｃの超電導材料を得る
ための努力がなされてきたが、従来の合金系および化合
物系の超電導材料においては、現状ではＴｃ２３Ｋが大
きな壁になっている。即ち、Ｔｃが２３に以下の超電導
材料の冷却には、高価な液体ヘリウムを必要とするため
、これが超電導材料の広範な応用を阻害している。
ための努力がなされてきたが、従来の合金系および化合
物系の超電導材料においては、現状ではＴｃ２３Ｋが大
きな壁になっている。即ち、Ｔｃが２３に以下の超電導
材料の冷却には、高価な液体ヘリウムを必要とするため
、これが超電導材料の広範な応用を阻害している。
このＴＣの壁を大幅に打破する超電導物質に関し、１９
８６年に１８Ｍチューリッヒ研究所のＭｕｌｌｅｒ氏等
が、Ｂａ−Ｌａ−Ｃｕ−０系の複合酸化物で超電導の徴
候が認められたことを発表して以来、複合酸化物超電導
物質の開発競争に拍車がかかった。即ち、１９８６年代
の超電導物質のＴｃは４０に級であったが、翌年（１９
８７年）の初めには、早くも液体窒素の温度である７７
Ｋを超えるＴｃを有するＹ−Ｂａ−Ｃｕ−０系のＣｕ、
Ｏ，基を含む複合酸化物超電導物質が開発され、そのＴ
ｃは約９３Ｋに達した。
８６年に１８Ｍチューリッヒ研究所のＭｕｌｌｅｒ氏等
が、Ｂａ−Ｌａ−Ｃｕ−０系の複合酸化物で超電導の徴
候が認められたことを発表して以来、複合酸化物超電導
物質の開発競争に拍車がかかった。即ち、１９８６年代
の超電導物質のＴｃは４０に級であったが、翌年（１９
８７年）の初めには、早くも液体窒素の温度である７７
Ｋを超えるＴｃを有するＹ−Ｂａ−Ｃｕ−０系のＣｕ、
Ｏ，基を含む複合酸化物超電導物質が開発され、そのＴ
ｃは約９３Ｋに達した。
更に、その後も精力的に超電導物質の開発が続けられて
おり、最近、安定性等に問題はあるものの、室温で超電
導現象を示す超電導物質の開発も報告されている。
おり、最近、安定性等に問題はあるものの、室温で超電
導現象を示す超電導物質の開発も報告されている。
上述のように、液体窒素温度（７７Ｋ）で使用可能な、
Ｃｕ、Ｏ，基を含む複合酸化物超電導物質が開発された
ことによって、超電導材料の前述した応用分野への実用
化の期待度が、−段と高められてきた。
Ｃｕ、Ｏ，基を含む複合酸化物超電導物質が開発された
ことによって、超電導材料の前述した応用分野への実用
化の期待度が、−段と高められてきた。
超電導材料の実用化に当らて必要なことは、超電導物質
の線材化、皮膜化等、その加工技術の開発である。
の線材化、皮膜化等、その加工技術の開発である。
このような加工技術のうち、超電導材料の皮膜化に関し
ては、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法によって、
基材の表面上に複合酸化物超電導皮膜を形成する方法が
試みられており、最近ではレーザ蒸着法またはプラズマ
溶射法による皮膜の形成が研究されている。
ては、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法によって、
基材の表面上に複合酸化物超電導皮膜を形成する方法が
試みられており、最近ではレーザ蒸着法またはプラズマ
溶射法による皮膜の形成が研究されている。
しかしながら、レーザ蒸着法またはプラズマ溶射法によ
って、基材の表面上にＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超
電導物質の皮膜を形成した場合に、レーザ蒸着まま、ま
たは、プラズマ溶射ままでは、皮膜成分中の酸素量が不
足し、所望の超電導特性を有する皮膜を形成することが
できない問題がある。
って、基材の表面上にＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超
電導物質の皮膜を形成した場合に、レーザ蒸着まま、ま
たは、プラズマ溶射ままでは、皮膜成分中の酸素量が不
足し、所望の超電導特性を有する皮膜を形成することが
できない問題がある。
そこで、レーザ蒸着法またはプラズマ溶射法によって、
基材の表面上にＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超電導物
質の皮膜を形成し、このようにして得られたレーザ蒸着
まま、またはプラズマ溶射ままの超電導素材に対し、酸
素含有雰囲気中において、所定温度まで加熱した後、そ
の温度で所定時間保持し次いで所定速度で冷却すること
からなる熱処理を施し、これによって、前記皮膜に所望
の超電導特性を付与する試みがなされている。
基材の表面上にＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超電導物
質の皮膜を形成し、このようにして得られたレーザ蒸着
まま、またはプラズマ溶射ままの超電導素材に対し、酸
素含有雰囲気中において、所定温度まで加熱した後、そ
の温度で所定時間保持し次いで所定速度で冷却すること
からなる熱処理を施し、これによって、前記皮膜に所望
の超電導特性を付与する試みがなされている。
しかしながら、超電導素材に、上述した加熱。
保持、冷却からなる熱処理を施すためには、長時間を要
し且つ大規模な設備が必要とされ、処理効果が悪い問題
がある。
し且つ大規模な設備が必要とされ、処理効果が悪い問題
がある。
従って、この発明の目的は、基材の表面上にＣｕヨＯ７
基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜が形成された超電
導材を製造するに当り、皮膜成分中の不足する酸素を効
率的に補給し、かくして、超電導特性の優れた皮膜を有
する超電導材を製造するための方法を提供することにあ
る。
基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜が形成された超電
導材を製造するに当り、皮膜成分中の不足する酸素を効
率的に補給し、かくして、超電導特性の優れた皮膜を有
する超電導材を製造するための方法を提供することにあ
る。
この発明は、基材の表面上に、Ｃｕ＊Ｏｙ基を含む複合
酸化物超電導物質の皮膜を形成し、次いで、このように
して得られた超電導素材を、酸素含有雰囲気の減圧容器
内に収容し、前記減圧容器内に収容された前記超電導素
材の前記皮膜に向けて酸素イオンを放射することにより
皮膜成分中に酸素を補給し、かくして、前記皮膜に優れ
た超電導特性を付与することに特徴を有するものである
。
酸化物超電導物質の皮膜を形成し、次いで、このように
して得られた超電導素材を、酸素含有雰囲気の減圧容器
内に収容し、前記減圧容器内に収容された前記超電導素
材の前記皮膜に向けて酸素イオンを放射することにより
皮膜成分中に酸素を補給し、かくして、前記皮膜に優れ
た超電導特性を付与することに特徴を有するものである
。
この発明における超電導素材は、例えば、第２図に示す
レーザ蒸着装置または第３図に示すブラズマ溶射装置に
よって調製される。
レーザ蒸着装置または第３図に示すブラズマ溶射装置に
よって調製される。
第２図に示すレーザ蒸着装置は、真空容器４と、真空容
器４内に設けられた蒸着源５と、蒸着源５に向けてレー
ザａを発射させるためのレーザ発生袋Ｗ（図示せず）と
からなっている。６は基材２の加熱用ヒータである。蒸
着源５としてＣｕ、Ｏ，基を含む複合酸化物焼結体を使
用し、蒸着源５の上方に基材２を配置する。次いで、真
空容器４内を所定の真空度に減圧し、そして、レーザａ
を蒸着源５に照射して、蒸着源５から蒸発した粒子を、
ヒータ６で加熱されている基材２の表面上に付着させる
。かくして、基材２の表面上にＣｕ、Ｏｙ基を含む複合
酸化物超電導物質の皮膜３が形成された超電導素材１が
調製される。
器４内に設けられた蒸着源５と、蒸着源５に向けてレー
ザａを発射させるためのレーザ発生袋Ｗ（図示せず）と
からなっている。６は基材２の加熱用ヒータである。蒸
着源５としてＣｕ、Ｏ，基を含む複合酸化物焼結体を使
用し、蒸着源５の上方に基材２を配置する。次いで、真
空容器４内を所定の真空度に減圧し、そして、レーザａ
を蒸着源５に照射して、蒸着源５から蒸発した粒子を、
ヒータ６で加熱されている基材２の表面上に付着させる
。かくして、基材２の表面上にＣｕ、Ｏｙ基を含む複合
酸化物超電導物質の皮膜３が形成された超電導素材１が
調製される。
第３図に示すプラズマ溶射装置は、真空容器４と、真空
容器４内に設けられた溶射ノズル７と、溶射ノズル７に
設けられたタングステン電極８と、溶射ノズル７とタン
グステン電極８との間に接続された電源９とからなって
いる。真空容器４内に溶射ノズル７と対向して基材２を
配置する０次いで、真空容器４内を所定の真空度に減圧
し、溶射ノズル７内に、アルゴン、ヘリウム等の作動ガ
スおよびＣｕ、Ｏ，基を含む複合酸化物超電導物質の粉
末をそれぞれ供給し、そして、電源９を作動させて、溶
射ノズル７からタングステン電極８に向けてプラズマジ
ェットを発生させる。かくして、基材２の表面上にＣｕ
つＯｙ基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜３が形成さ
れた超電導素材１が調製される。
容器４内に設けられた溶射ノズル７と、溶射ノズル７に
設けられたタングステン電極８と、溶射ノズル７とタン
グステン電極８との間に接続された電源９とからなって
いる。真空容器４内に溶射ノズル７と対向して基材２を
配置する０次いで、真空容器４内を所定の真空度に減圧
し、溶射ノズル７内に、アルゴン、ヘリウム等の作動ガ
スおよびＣｕ、Ｏ，基を含む複合酸化物超電導物質の粉
末をそれぞれ供給し、そして、電源９を作動させて、溶
射ノズル７からタングステン電極８に向けてプラズマジ
ェットを発生させる。かくして、基材２の表面上にＣｕ
つＯｙ基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜３が形成さ
れた超電導素材１が調製される。
次いで、上述のようにして調製された超電導素材ｌを、
第１図に示す減圧容器１０内に収容する。
第１図に示す減圧容器１０内に収容する。
減圧容器１０内は、例えば１０−’Ｔｏｒｒの圧力の酸
素含有雰囲気に保たれている。
素含有雰囲気に保たれている。
減圧容器１０には、超電導素材１の皮ｖ３に向けて酸素
イオンを放射するためのイオンガン１１が設けられてい
る。イオンガン１１は、その基端に取り付けられた酸素
供給管１２を通じて吹き込まれる酸素をイオン化するた
めの機構と、イオン化された酸素を加速しそして集束す
るための機構とからなっている。従って、酸素供給管１
２を通じて吹き込まれた酸素は、酸素イオンビームとな
って、イオンガン１１の先端から皮膜３に向は放射され
る。
イオンを放射するためのイオンガン１１が設けられてい
る。イオンガン１１は、その基端に取り付けられた酸素
供給管１２を通じて吹き込まれる酸素をイオン化するた
めの機構と、イオン化された酸素を加速しそして集束す
るための機構とからなっている。従って、酸素供給管１
２を通じて吹き込まれた酸素は、酸素イオンビームとな
って、イオンガン１１の先端から皮膜３に向は放射され
る。
このようにして、イオンガン１１から放射された酸素は
、超電導素材１の皮膜３中に浸透する結果、皮膜３の成
分中に不足する酸素が補給され、基材２の表面上に超電
導特性の優れたＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超電導物
質の皮膜３が形成された超電導材が製造される。
、超電導素材１の皮膜３中に浸透する結果、皮膜３の成
分中に不足する酸素が補給され、基材２の表面上に超電
導特性の優れたＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超電導物
質の皮膜３が形成された超電導材が製造される。
超電導素材１がある程度以上の面積を存している場合に
は、イオンガン１１を皮膜３に向は移動させながら酸素
イオンビームを放射する。かくすることにより、超電導
素材１の皮膜３の全面にわたり、均一に酸素の補給が行
なわれる。
は、イオンガン１１を皮膜３に向は移動させながら酸素
イオンビームを放射する。かくすることにより、超電導
素材１の皮膜３の全面にわたり、均一に酸素の補給が行
なわれる。
次に、この発明を実施例により説明する。
蒸着源としての複合酸化物焼結体として、Ｙ＋、 Ｊａ
ｏ、 ｈｃｕｏｚの成分組成を有する、直径２００、厚
さ１０ｎの円盤状の複合酸化物焼結体を使用し、被蒸着
体としての基材として、１辺の長さが１５龍で厚さがＩ
Ｉｆｌの、イツトリウム安定化ジルコニア（ＹＳＺ）か
らなる四角形状の板を使用し、第２図に示したレーザ蒸
着装置により下記条件で基材の表面上に超電導物質の皮
膜を形成した。
ｏ、 ｈｃｕｏｚの成分組成を有する、直径２００、厚
さ１０ｎの円盤状の複合酸化物焼結体を使用し、被蒸着
体としての基材として、１辺の長さが１５龍で厚さがＩ
Ｉｆｌの、イツトリウム安定化ジルコニア（ＹＳＺ）か
らなる四角形状の板を使用し、第２図に示したレーザ蒸
着装置により下記条件で基材の表面上に超電導物質の皮
膜を形成した。
（ａｌ 真空容器の真空度： １０−”Ｔｏｒｒ （
酸素雰囲気）中） 基材の加熱温度ニア００℃ （Ｃ１レーザビームの種類：炭酸ガスレーザ（ｄｌ
レーザビームの出カニ３００Ｗｔｅｌ レーザビーム
の照射時間：５分かくして、基材の表面上に、’ｌｏ−
Ｊａａ、６ＣｕｌＯ，からなる成分組成を有する厚さ２
μｍの皮膜が形成された超電導素材を調製した。
酸素雰囲気）中） 基材の加熱温度ニア００℃ （Ｃ１レーザビームの種類：炭酸ガスレーザ（ｄｌ
レーザビームの出カニ３００Ｗｔｅｌ レーザビーム
の照射時間：５分かくして、基材の表面上に、’ｌｏ−
Ｊａａ、６ＣｕｌＯ，からなる成分組成を有する厚さ２
μｍの皮膜が形成された超電導素材を調製した。
次いで、この超電導素材に対し、第１図に示した装置に
より、下記条件で酸素イオンを放射して、その皮膜成分
中に酸素を補給し、本発明超電導材を製造した。
より、下記条件で酸素イオンを放射して、その皮膜成分
中に酸素を補給し、本発明超電導材を製造した。
ｆａｔ 減圧容器内の雰囲気：Ｏｔ：１００％（ｂｌ
減圧容器内の圧カニ １０−’Ｔｏｒｒ（ｃｌ
イオンガンの加速電圧：４．ｏｏｏｖ（ｄｌ イオン
ビームの電流：５００ｍＡ［８１イオンガンの出カニ２
ＫＷ 上記により製造された本発明超電導材、および、比較の
ための上述した蒸着ままの超電導素材について、各々の
Ｔｃ （超電導臨界温度）および７７ＫにおけるＪｃＣ
Ｇｎ界電流密度）を、四端子抵抗測定法によって調べた
。
減圧容器内の圧カニ １０−’Ｔｏｒｒ（ｃｌ
イオンガンの加速電圧：４．ｏｏｏｖ（ｄｌ イオン
ビームの電流：５００ｍＡ［８１イオンガンの出カニ２
ＫＷ 上記により製造された本発明超電導材、および、比較の
ための上述した蒸着ままの超電導素材について、各々の
Ｔｃ （超電導臨界温度）および７７ＫにおけるＪｃＣ
Ｇｎ界電流密度）を、四端子抵抗測定法によって調べた
。
この結果を第１表に示す。
第 １ 表
第１表から明らかなように、本発明超電導材は、超電導
素材に比べてＴｃに優れており、特に、７７Ｋにおける
Ｊｃは、超電導素材の場合には得られないのに対し、本
発明超電導材の場合には高い値を示した。また、本発明
超電導材の場合には、７７にでマイスナー効果が確認さ
れた。
素材に比べてＴｃに優れており、特に、７７Ｋにおける
Ｊｃは、超電導素材の場合には得られないのに対し、本
発明超電導材の場合には高い値を示した。また、本発明
超電導材の場合には、７７にでマイスナー効果が確認さ
れた。
以上述べたように、この発明によれば、基材の表面上に
Ｃｕ、Ｏ，基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜が形成
された超電導材を製造するに当り、皮膜成分中に不足す
る酸素が、皮膜に割れや溶損が生ずることのない低温状
態において効率的に補給され、かくして、超電導特性の
優れた皮膜を有する超電導材を製造することができる工
業上有用な効果がもたらされる。
Ｃｕ、Ｏ，基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜が形成
された超電導材を製造するに当り、皮膜成分中に不足す
る酸素が、皮膜に割れや溶損が生ずることのない低温状
態において効率的に補給され、かくして、超電導特性の
優れた皮膜を有する超電導材を製造することができる工
業上有用な効果がもたらされる。
第１図はこの発明の方法によって超電導素材の皮膜成分
中に酸素を補給する一実施Ｎｉｌを示す概略断面図、第
２図はこの発明の方法に使用される超電導素材を製造す
るためのレーザ蒸着装置を示す概略断面図、第３図は同
じく超電導素材を製造するためのプラズマ溶射装置を示
す概略断面図である０図面において、 １・・・超電導素材、 ２・・・基材、３・・・皮
膜、 ４・・・真空容器、５・・・蒸着源、
６・・・ヒータ、７・・・溶射ノズル、
８・・・タングステン電極、９・・・電源、
１０・・・容器、１１・・・イオンガン、
１２・・・酸素供給管。 出 願 人 日本綱管株式会社 代 理 人 潮 谷 奈 津 夫第１
図
中に酸素を補給する一実施Ｎｉｌを示す概略断面図、第
２図はこの発明の方法に使用される超電導素材を製造す
るためのレーザ蒸着装置を示す概略断面図、第３図は同
じく超電導素材を製造するためのプラズマ溶射装置を示
す概略断面図である０図面において、 １・・・超電導素材、 ２・・・基材、３・・・皮
膜、 ４・・・真空容器、５・・・蒸着源、
６・・・ヒータ、７・・・溶射ノズル、
８・・・タングステン電極、９・・・電源、
１０・・・容器、１１・・・イオンガン、
１２・・・酸素供給管。 出 願 人 日本綱管株式会社 代 理 人 潮 谷 奈 津 夫第１
図
Claims (1)
- 基材の表面上に、Ｃｕ＿ｘＯ＿ｙ基を含む複合酸化物
超電導物質の皮膜を形成し、次いで、このようにして得
られた超電導素材を、酸素含有雰囲気の減圧容器内に収
容し、前記減圧容器内に収容された前記超電導素材の前
記皮膜に向けて酸素イオンを放射することにより皮膜成
分中に酸素を補給し、かくして、前記皮膜に優れた超電
導特性を付与することを特徴とする、超電導材の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62309485A JPH01153523A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 超電導材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62309485A JPH01153523A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 超電導材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153523A true JPH01153523A (ja) | 1989-06-15 |
Family
ID=17993554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62309485A Pending JPH01153523A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 超電導材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01153523A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6428225A (en) * | 1987-04-28 | 1989-01-30 | Toray Industries | Production of superconducting material |
-
1987
- 1987-12-09 JP JP62309485A patent/JPH01153523A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6428225A (en) * | 1987-04-28 | 1989-01-30 | Toray Industries | Production of superconducting material |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN116322281A (zh) | 一种利于提高超导载流性能的处理方法、超导层、超导材料 | |
| HK2196A (en) | Method for preparing thin film of compound oxide superconductor | |
| JPH01153523A (ja) | 超電導材の製造方法 | |
| JPH0531493B2 (ja) | ||
| JPH01153521A (ja) | 超電導材の製造方法 | |
| JPH0534292B2 (ja) | ||
| JPH01153520A (ja) | 超電導材の製造方法 | |
| JPH0825742B2 (ja) | 超電導材料の作製方法 | |
| JPH01153522A (ja) | 超電導材の製造方法 | |
| JPH01153524A (ja) | 超電導材の製造方法 | |
| JPH01153519A (ja) | 超電導材の製造方法 | |
| JP2713343B2 (ja) | 超電導回路の作製方法 | |
| JPH0453819B2 (ja) | ||
| JPH0534287B2 (ja) | ||
| JPH01173606A (ja) | 超電導コイルの製造方法 | |
| JPH0455132B2 (ja) | ||
| JPH0531498B2 (ja) | ||
| JPH0453820B2 (ja) | ||
| JPH0531497B2 (ja) | ||
| KR920001675B1 (ko) | 초전도물품(超電導物品) | |
| JPH01173608A (ja) | 超電導コイルの製造方法 | |
| JPH01173607A (ja) | 超電導コイルの製造方法 | |
| JPH0534290B2 (ja) | ||
| JP3182048B2 (ja) | 超伝導線の製造装置 | |
| JPH08106827A (ja) | 超伝導線の製造方法 |