JPH01155251U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01155251U JPH01155251U JP5120888U JP5120888U JPH01155251U JP H01155251 U JPH01155251 U JP H01155251U JP 5120888 U JP5120888 U JP 5120888U JP 5120888 U JP5120888 U JP 5120888U JP H01155251 U JPH01155251 U JP H01155251U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion beam
- filament
- ion
- sample
- generation means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 7
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の説明図、第２図
はその中性化電子補給装置およびガードの平面図
、第３図は従来例の説明図である。 １……イオンビーム発生手段、２……中性化電
子補給装置、３……ガード、１１……イオンビー
ム、１２……試料。
はその中性化電子補給装置およびガードの平面図
、第３図は従来例の説明図である。 １……イオンビーム発生手段、２……中性化電
子補給装置、３……ガード、１１……イオンビー
ム、１２……試料。
Claims (1)
- 試料に向けてイオンビームを発生するイオンビ
ーム発生手段と、前記試料と前記イオンビーム発
生手段との間の前記イオンビーム内に配置されて
熱電子を放出するフイラメントを有する中性化電
子補給装置とを備えたイオン処理装置において、
前記フイラメントの前記イオンビームが照射され
る面を被覆しかつ前記フイラメントと同電位のガ
ードを設けたことを特徴とするイオン処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5120888U JPH01155251U (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5120888U JPH01155251U (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01155251U true JPH01155251U (ja) | 1989-10-25 |
Family
ID=31277239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5120888U Pending JPH01155251U (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01155251U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0458445A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-02-25 | Rikagaku Kenkyusho | 電子ビーム源 |
-
1988
- 1988-04-15 JP JP5120888U patent/JPH01155251U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0458445A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-02-25 | Rikagaku Kenkyusho | 電子ビーム源 |