JPH01157169U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01157169U JPH01157169U JP5286288U JP5286288U JPH01157169U JP H01157169 U JPH01157169 U JP H01157169U JP 5286288 U JP5286288 U JP 5286288U JP 5286288 U JP5286288 U JP 5286288U JP H01157169 U JPH01157169 U JP H01157169U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partition plate
- holder
- substrate holder
- melt
- melt holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 7
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 4
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案の液相エピタキシヤル装置のメ
ルト保持具の平面図、第２図は第１図の拡大斜視
図、第３図はメルト保持具に仕切板を差し込んだ
場合の平面図、第４図は第３図の拡大斜視図、第
５図及び第６図は本考案の液相エピタキシヤル装
置を示す図であり、第５図はメルト保持具を６つ
に仕切つた場合の断面図、第６図はメルト保持具
を４つに仕切つた場合の断面図である。 １……メルト保持具、３……仕切板支持溝、５
……仕切板、６ａ〜６ｆ……個別空間、８……基
板ホルダ、８ａ……凹部、９……基板、１１……
メルト保持空間。
ルト保持具の平面図、第２図は第１図の拡大斜視
図、第３図はメルト保持具に仕切板を差し込んだ
場合の平面図、第４図は第３図の拡大斜視図、第
５図及び第６図は本考案の液相エピタキシヤル装
置を示す図であり、第５図はメルト保持具を６つ
に仕切つた場合の断面図、第６図はメルト保持具
を４つに仕切つた場合の断面図である。 １……メルト保持具、３……仕切板支持溝、５
……仕切板、６ａ〜６ｆ……個別空間、８……基
板ホルダ、８ａ……凹部、９……基板、１１……
メルト保持空間。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上面に基板載置用の凹部が形成された基板ホル
ダと、この基板ホルダ上面に相対的に慴動可能に
配された枠状のメルト保持具と、上記基板ホルダ
の上面とメルト保持具の枠内空間とによつて形成
されるメルト保持空間を慴動方向に複数の区画に
仕切つて個別空間を形成する仕切板とから成る液
相エピタキシヤル装置において、 前記メルト保持具の慴動方向に沿つた両側部に
、相対向するように上記仕切板を支持する仕切板
支持溝を多数並設したことを特徴とする液相エピ
タキシヤル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5286288U JPH01157169U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5286288U JPH01157169U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01157169U true JPH01157169U (ja) | 1989-10-30 |
Family
ID=31278856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5286288U Pending JPH01157169U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01157169U (ja) |
-
1988
- 1988-04-20 JP JP5286288U patent/JPH01157169U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH01157169U (ja) | ||
| JPS63156710U (ja) | ||
| JPS6120553U (ja) | 熱処理治具 | |
| JPS6186305U (ja) | ||
| JPH0231565U (ja) | ||
| JPS6449151U (ja) | ||
| JPS62101394U (ja) | ||
| JPS6225134U (ja) | ||
| JPH0211167U (ja) | ||
| JPS6238024U (ja) | ||
| JPS5877571U (ja) | 枕 | |
| JPS60122119U (ja) | 歯科用切削具のスタンドホルダ− | |
| JPS6017166U (ja) | 陳列台 | |
| JPH0217889U (ja) | ||
| JPH01169137U (ja) | ||
| JPH02124876U (ja) | ||
| JPS59132635U (ja) | ウエハ処理装置 | |
| JPS61196524U (ja) | ||
| JPS63115224U (ja) | ||
| JPS60131337U (ja) | 心出し装置 | |
| JPS6166550U (ja) | ||
| JPS61117178U (ja) | ||
| JPS63157938U (ja) | ||
| JPS59148671U (ja) | 陳列台 | |
| JPH01140833U (ja) |