JPH01158951U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01158951U JPH01158951U JP5508488U JP5508488U JPH01158951U JP H01158951 U JPH01158951 U JP H01158951U JP 5508488 U JP5508488 U JP 5508488U JP 5508488 U JP5508488 U JP 5508488U JP H01158951 U JPH01158951 U JP H01158951U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spot
- photodetector
- fluorescent screen
- diffraction pattern
- detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 5
- 238000002003 electron diffraction Methods 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
図面は本考案の実施例を示し、第１図は反射高
速電子回折装置（ＲＨＥＥＤ）の構成図、第２図
はスポツト確認装置の平面図、第３図はスポツト
確認装置の他の例を示す平面図、第４図は回折パ
ターンから所望のスポツトを特定する場合の説明
図である。 １……反射高速電子回折装置（ＲＨＥＥＤ）、
４……試料、６……蛍光板、１０……Ｘ−Ｙステ
ージ、１４……光検出器、１６……スポツト確認
装置、２５……位置切換手段。
速電子回折装置（ＲＨＥＥＤ）の構成図、第２図
はスポツト確認装置の平面図、第３図はスポツト
確認装置の他の例を示す平面図、第４図は回折パ
ターンから所望のスポツトを特定する場合の説明
図である。 １……反射高速電子回折装置（ＲＨＥＥＤ）、
４……試料、６……蛍光板、１０……Ｘ−Ｙステ
ージ、１４……光検出器、１６……スポツト確認
装置、２５……位置切換手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 試料表面に電子線を照射し、該試料表面で回折
された電子線を蛍光板に入射させて回折パターン
を得る反射高速電子回折装置において、 直交するＸ軸とＹ軸の２方向に沿つてそれぞれ
移動可能に設けられたＸ−Ｙステージを有し、こ
のＸ−Ｙステージに前記蛍光板の回折パターンの
スポツトの光を検出する光検出器と前記回折パタ
ーンの所望のスポツトを確認するスポツト確認装
置とをＸ軸方向あるいはＹ軸方向に沿つて一定の
間隔を存して固定するとともに、前記スポツト確
認装置で確認した特定のスポツト位置に光検出器
を位置させる位置切換手段を備えることを特徴と
する反射高速電子回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5508488U JPH01158951U (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5508488U JPH01158951U (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01158951U true JPH01158951U (ja) | 1989-11-02 |
Family
ID=31280988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5508488U Pending JPH01158951U (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01158951U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6357562B2 (ja) * | 1979-06-05 | 1988-11-11 | Yamaguchi Kikai Kogyo Kk |
-
1988
- 1988-04-22 JP JP5508488U patent/JPH01158951U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6357562B2 (ja) * | 1979-06-05 | 1988-11-11 | Yamaguchi Kikai Kogyo Kk |
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