JPH01125547U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01125547U JPH01125547U JP2136888U JP2136888U JPH01125547U JP H01125547 U JPH01125547 U JP H01125547U JP 2136888 U JP2136888 U JP 2136888U JP 2136888 U JP2136888 U JP 2136888U JP H01125547 U JPH01125547 U JP H01125547U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- semiconductor
- speed
- utility
- registration request
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例である半導体検査
装置の斜視説明図、第２図は従来の半導体検査装
置の斜視説明図である。 図において、１はシリコンウエハ、２はステー
ジ、５は電子ビームの光源発振部、６は検出器、
７はステージ２の回転駆動装置、８は走査機構を
示す。なお、図中同一符号は同一、または相当部
分を示す。
装置の斜視説明図、第２図は従来の半導体検査装
置の斜視説明図である。 図において、１はシリコンウエハ、２はステー
ジ、５は電子ビームの光源発振部、６は検出器、
７はステージ２の回転駆動装置、８は走査機構を
示す。なお、図中同一符号は同一、または相当部
分を示す。
Claims (1)
- 複数個の同一パターンからなる被検査半導体素
子を回転走査による比較検査法によつて高速高精
度な検査を可能としたことを特徴とする半導体検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2136888U JPH01125547U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2136888U JPH01125547U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125547U true JPH01125547U (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=31238549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2136888U Pending JPH01125547U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01125547U (ja) |
-
1988
- 1988-02-19 JP JP2136888U patent/JPH01125547U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0312439U (ja) | ||
| JPH0714649U (ja) | 真空吸着チャック | |
| JPS63188938U (ja) | ||
| JPS6322730U (ja) | ||
| JPS62152445U (ja) | ||
| JPH0412647U (ja) | ||
| JPS6146502U (ja) | レ−ザ加工装置のインテグレ−シヨンミラ− | |
| JPS61192445U (ja) | ||
| JPH01161334U (ja) | ||
| JPS6378092A (ja) | 回転テ−ブル | |
| JPH0241252U (ja) | ||
| JPH0321842U (ja) | ||
| JPS62252135A (ja) | パタ−ン転写装置 | |
| JPH0227727U (ja) | ||
| JPS6365236U (ja) | ||
| JPH0381278U (ja) | ||
| JPS62166625U (ja) | ||
| JPS646044U (ja) | ||
| JPH01129648U (ja) | ||
| JPH01174844U (ja) | ||
| JPS6339154U (ja) | ||
| JPS6166348U (ja) | ||
| JPH02138418U (ja) | ||
| JPH02128511U (ja) | ||
| JPS6331360U (ja) |