JPH032247U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH032247U JPH032247U JP6298989U JP6298989U JPH032247U JP H032247 U JPH032247 U JP H032247U JP 6298989 U JP6298989 U JP 6298989U JP 6298989 U JP6298989 U JP 6298989U JP H032247 U JPH032247 U JP H032247U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical component
- light
- photodetector
- tray
- determination device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す光学部品表面
判定装置の側面図、第２図、第３図は回折格子の
表面判定原理についての説明図、第４図は他の実
施例を示す光学部品表面判定装置の斜視図である
。 １……光源、３……光検出器、５……回折格子
（光学部品）、５ａ……格子面、７……開口窓。
判定装置の側面図、第２図、第３図は回折格子の
表面判定原理についての説明図、第４図は他の実
施例を示す光学部品表面判定装置の斜視図である
。 １……光源、３……光検出器、５……回折格子
（光学部品）、５ａ……格子面、７……開口窓。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 検査対象の光学部品の表面に斜め方向から
光ビームを出射する光源と、光学部品表面で反射
した前記光ビームを受光し、入射した光強度に応
じた出力をする光検出器とを備えたことを特徴と
する光学部品表面判定装置。 (2) 前記光検出器の手前に、検査対象が回折格
子面を持つ光学部品である場合における前記回折
格子面で反射した回折光を遮へいする開口窓を設
けたことを特徴とする請求項１記載の光学部品表
面判定装置。 (3) 複数の光学部品を乗せるトレイと、このト
レイを１方向または直角２方向に移動調整するス
テージとを備え、かつ、少なくとも、このトレイ
上の現在検査対象の光学部品および前記光検出器
を暗部環境に設けたことを特徴とする請求項１記
載の光学部品表面判定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6298989U JPH032247U (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6298989U JPH032247U (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH032247U true JPH032247U (ja) | 1991-01-10 |
Family
ID=31592641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6298989U Pending JPH032247U (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH032247U (ja) |
-
1989
- 1989-05-30 JP JP6298989U patent/JPH032247U/ja active Pending
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