JPH01159185A - マニピュレータ付き搬送車カセットハンド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体ウヱハカセットを処理装置に搬送す
るマニピュレータ付き搬送車に関するものである。

〔従来の技術〕

第８図は、従来のカセットノ・ンドの概略斜視図である
。図において、（１）は半導体ウヱハ（以下「ウヱハ」
と称する）　、（２）はウヱハ収納カセット（以下「カ
セット」と称する）　、（３）はハンド爪であシ、ハン
ド爪有（８ａ）とハンド爪右（８ｂ）の２つから成る。

（４〕はハンド爪開閉機構部、（５）はハンド爪開閉機
構部を取付ける取付は板、（６）は取付は板（５）を回
転させ、カセット（２）を縦置きの状Ｂ（ウヱハ（１）
が水平に並んだ状態）から横置きの状ａ（ウヱハ（１）
が垂直に並んだ状態、図で示す状態）に、またその逆方
向に動かす回転機構部である。（７）はハンド取付板、
（３）はθ３モータであり、ハンド取付板（７）を介し
て回転機構部（６）と接続されておフ、回転することに
よフ、回転機構部（６）を目的の位置に回転させる。（
９）はマニピュレータ部、０１ｌＢはハンド機構部で、
カセツ）　（２）　、ハンド爪（３）、ハンド爪開閉機
Ｈｅ部（４）、取付板（５）１回転機構部（６）から成
る。

第４図は、上記のカセットハンドが取付けられるマニピ
ュレータ付き搬送車の概略図である。カセットハンドの
軸数を除いて、上下方向のＺ軸、回転方向の０１−θ！
、θ３の４軸を有している。（ロ）は、誘導テープであ
シ（２）は誘導テープａのを識別装置（図示せず）によ
ル、読み取フながら車輪（図示せず）により走行する搬
送車である。

次に動作について説明する。上記のマニピュレータ付き
搬送車は、処理装置にカセットを移載するが、処理装置
のタイプによって、縦置きの状態、または、横置きの状
態のカセットを把持しなければならない。以下処理装置
から、縦置きのカセットを取り込み、別の処理装置に、
横置きで載せる場合について説明する・ 搬送車（２）を動かし誘導テープ（ロ）に涜って移動し
、取フ込もうとする目的のカセット（２）を保持してい
る処理装置（図示せず）の前にて停止させる。火に、θ
１．θ！―θ３軸を動かして、目的とするカセット（２
）の真上にカセットハンドを停止させる。次に、回転機
構部（６）により、ハンド爪（３）をα軸を中心に回転
させ、縦置きに置かれたカセット（２）を取れる状態に
し、また、ハンド爪開閉機構部（４）によりハンド爪（
３）を開状態とする。この状態のまま、Ｚ軸を動かして
、アニビュレータ部、（９）を下方へ−下げて行キ、ハ
ンド爪（３）がカセット（２）を取れる位置で停止させ
、ハンド爪開閉機構部（４）によフハンド爪（３）を閉
状態にして、カセット（２）を把持する。次に、先はど
とは逆に、Ｚ軸を動かして、把持したカセット（２）を
上昇させ、次に、回転機構部（６）により、ハンド爪（
３）をα軸を中心に回転させ、カセット（２）を、搬送
し易い、横置き状態（図に示す状態）にする。θ１．θ
２．θ３軸を動かし、マニピュレータ部（９）を縮め、
人、物に轟らない形にし、誘導テープ０ηに沿い次の処
理装置（図示せず）へと移動する。

移動を終了すると、上記と同じように、θｌ、θ２゜θ
３軸を駆動して、目的とする位置の真上にカセットハン
ドを移動させて停止する。横置き状態で、カセット（２
）を置くので、回転機構（６）によフハンド爪（３）を
α軸を中心に動かす必要はなく、そのまま、Ｚ軸を動か
し、マニピュレータ部（９）を下降させ、移載位置にて
停止し、ハンド開閉機構部（４）によりハンド爪（３）
を開くことにより、カセット（２）を置く。

後は、逆の手順で、マニピュレータ部（９）を動かし、
次の搬送元の処理装置へ移動する◎ 〔発明が解決しようとする問題点〕 従来のマニピュレータ付き搬送車は以上の様に構成され
ているので、搬送車の走行路の停止位置での水平度が、
精度良く保たれていないと、カセットハンドの水平度が
保てず、歪みが生じ、カセットをつかめない等の問題点
があった。

この発明は、上記の様な問題点を解消するためになされ
たもので、サーボ制御する軸をふやすことなく、走行路
の水平度が、精度良く保たれていなくとも、カセットを
把持することが可能なマニピュレータ付き搬送車を得る
ことを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るマニピュレータ付き搬送車は、マニピュ
レータ部とハンド機構部の間に、ハンド機構部の重量で
回転が可能な構造とし、また、この回転をブレーキ機構
により拘束する機構部を設けたものである。

〔作用〕

この発明におけるマニピュレータ部とハンド機構部の接
続機構部は、ハンド機構部の重量により、ハンド機構部
を水平になるように回転させるように動作し、また、ハ
ンド機構部を固定する必要がある場合は、ブレーキ機構
部を動作させる。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例について説明する。

第１図はカセットハンドの概略斜視図である。図におい
て、（１）ないしＱ□は、従来例で説明したものと同じ
ものである。（至）はハンド機構部００の重量によフ動
き、また、ブレーキ機構の備わった接続機構部である。

第２図は、接続機構部（至）の内部溝道を示したもので
、（ａ）は第１図のβ軸に平行で水平な面で切断した断
面図、（ｂ）はβ軸に垂直な面で切断した断面図である
。（１４ａ）はアニピュレータ側軸受、（１４ｂ）はハ
ンド側軸受、０θは軸、（１１はキーであシ、軸（至）
のマニピュレータ側軸受（１４ａ）の回転を固定してい
る。αη（至）はベアリング、ａ呻はてこの支点、（１
）はブレーキ機構の一部であるソレノイド、（財）はバ
ネ、（２）はブレーキ接触部であシ、実際に＃Ｊ００と
接触し回転を止める。このカセットハンドは、＠４図に
示される従来と同じマニピュレータ付き搬送車＠に接続
される。

次に動作について説明する。まず、接続機構部（至）の
ブレーキ機構について簡単に説明する。ソレノイド（７
）に電流を流さない状態では、バネ（ロ）の作用により
、てこの支点ＤＩを通して、ブレーキ接触部勾は、軸ａ
ｌζ強く押しつけられ、軸Ｑｅを中心にハンド側軸受（
１４ｂ）は回転しない。すなわち、ブレーキがかかった
状態である。逆に、ソレノイド（ホ）に電流を流すと、
ソレノイド勾は、バネ（２）に逆って、てこの一端を引
張る。これにより、ブレーキ接触部し）は、軸（至）か
ら離れ、同軸が可能な状態、すなわち、ブレーキがはず
れた状態となる。

次に、従来例で説明した場合と同様に、処理装置から、
縦置きのカセットを取り込み、次の処理装置に、横置き
で載せる場合（こついて説明する。

搬送車＠を動かして、誘導テープαυに沿って移動し、
取）込もうとする目的のカセット（２）を保持している
処理装置（図示せず）の前にて停止する。

次にθ１．θ！、θ３を動かして、目的とするカセット
（２）の真上にカセットハンドを停止させる。そして１
ソレノイド曽に電流を流し軸（至）に対して、ハンド側
軸受（１４ｂ）の動ける状態にすると、カセットハンド
の重量により、β軸の回シに回転してバランスし、左右
のハンド爪（８ａ）・（８ｂ）は、水平となる。

これにより、搬送車＠の走行面の水平度が保たれていな
くとも、補正がなされたこととなる。ただし、接続機構
部（至）の下に取付けられる機構は、重量において、左
右でバランスしている。左右のノ１ンド爪（ｓａ）−（
８ｂ）の水平が保たれると、ソレノイド（ホ）の電流を
切シカセットＩ・ンドが自由に動かないように固定する
。後は、従来装置と同様に、カセット（２）を把持して
取フ込み、次の処理装置（図示せず）へ移動し、その前
で停止する。θ１．θ！、θ３軸を駆動して、把持した
カセット（２）を目的とするカセット（２）を置く位置
の真上に移動させ、移動が終了すると停止させる。ここ
でも、床の水平度の補正を行うために、ソレノイドに）
に電流を流し、把持しているカセット（２）の水平を保
ち、完了するとソレノイド勾の電流を切り、固定する。

処理装置には、横置きで置くので、Ｚ軸を動かして、マ
ニピュレータ部（９）を下降させ、従来と同様にしてカ
セット（２）を置く。後は、従来と同様にして、マニピ
ュレータ部（９）を動かし、次の搬送元の処理装置へ移
動する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、マニピュレータ部と
ハンド機構部との間に、／＼ンド機構部の重量により、
このハンド機構部が水平になる様に回転が可能で、且つ
、ブレーキ機構を備えた接続機構部を取シ付けたことに
より、搬送車の床面の水面度の精度が悪いところでも、
カセットの積込み、積降ろしが可能であるなどの効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるカセットハンドの概
略斜視図、第２図は第１図の装置の接続機構部の断面図
、第８図は、従来のカセットハンドの概略斜視図、第４
図は、マニピュレータ付き搬送車の概略斜視図である。 図において（１）はウヱハ、（２）はカセット、（３）
はノ・ンド爪、（８ａ）はノ１ンド爪有、（８ｂ）はハ
ンド爪左、（４）はハンド爪開閉機構部、（５）は取付
板、（６）は回転機構部、（７）はハンド取付板、（８
）はθ３モータ、（９）はマニピュレータ部、Ｑ（１は
ハンド機構部、（ロ）は誘導テープ、（６）は搬送車、
（２）は接続機構部、（１４ａ）はマニピュレータ側軸
受、（１４ｂ）はハンド側軸承、（至）は軸、（１４は
キー、αη（ト）はベアリング、α９はてこの支点、（
ホ）はソレノイド、（２）はバネ、（財）はプレ−４＆
接触部である。 尚、図中、同一符号は、同一、又は相補部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 誘導テープと、上記誘導テープに沿つて走行ある搬送車
   と、上記搬送車上に載せられた複数の軸を有するマニピ
   ュレータ機構部と、上記マニピュレータ機構部の先端に
   設けられた半導体ウヱハカセットを把持するハンド機構
   部から成るマニピュレータ付き搬送車において、マニピ
   ュレータ部とハンド部の間に、ハンド機構部の重量で、
   回転が可能な構造とし、また、この回転をブレーキ機構
   により拘束する接続機構部を設けたことを特徴とするマ
   ニピュレータ付き搬送車カセットハンド。