JPH05146984A - ウエハカセツト用ハンドリングロボツト - Google Patents
ウエハカセツト用ハンドリングロボツトInfo
- Publication number
- JPH05146984A JPH05146984A JP19278491A JP19278491A JPH05146984A JP H05146984 A JPH05146984 A JP H05146984A JP 19278491 A JP19278491 A JP 19278491A JP 19278491 A JP19278491 A JP 19278491A JP H05146984 A JPH05146984 A JP H05146984A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hand
- wafer cassette
- rotation axis
- pair
- rotary shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フランジが側面側にあって隣接しているウエ
ハカセットを続けて把持するような場合であっても、簡
単な動作でこれを行なうことができるようにする。 【構成】 複数の関節を有するアームＡ１の先端に回転
軸Ｊ１６により回転可能に取り付けられたハンド１００
と、半導体ウエハカセットＣを把持するためにハンド１
００に設けられた一対のチャック部１３０とを備えたウ
エハカセット用ハンドリングロボットにおいて、前記一
対のチャック部１３０を、前記回転軸Ｊ１６の軸線方向
視においてその回転軸Ｊ１６に関し点対称に配設したこ
とを特徴とする。
ハカセットを続けて把持するような場合であっても、簡
単な動作でこれを行なうことができるようにする。 【構成】 複数の関節を有するアームＡ１の先端に回転
軸Ｊ１６により回転可能に取り付けられたハンド１００
と、半導体ウエハカセットＣを把持するためにハンド１
００に設けられた一対のチャック部１３０とを備えたウ
エハカセット用ハンドリングロボットにおいて、前記一
対のチャック部１３０を、前記回転軸Ｊ１６の軸線方向
視においてその回転軸Ｊ１６に関し点対称に配設したこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウエハカセット
（以下、ウエハカセットという）用のハンドリングロボ
ットに関する。特に、ウエハカセットの連続した把持動
作を簡単な制御によって実行することのできるウエハカ
セット用ハンドリングロボットに関するものである。
（以下、ウエハカセットという）用のハンドリングロボ
ットに関する。特に、ウエハカセットの連続した把持動
作を簡単な制御によって実行することのできるウエハカ
セット用ハンドリングロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のウエハカセット用ハンドリングロ
ボットの一例を図９、図１０に示す。このものは、クリ
ーンルーム内を走行する無軌道無人搬送車Ｖに搭載され
ているもので、６軸Ｊ１〜Ｊ６を有する垂直多関節のア
ームＡの先端に、ハンド１０が回転軸Ｊ６により回転可
能に取り付けられている。
ボットの一例を図９、図１０に示す。このものは、クリ
ーンルーム内を走行する無軌道無人搬送車Ｖに搭載され
ているもので、６軸Ｊ１〜Ｊ６を有する垂直多関節のア
ームＡの先端に、ハンド１０が回転軸Ｊ６により回転可
能に取り付けられている。
【０００３】ハンド１０は、図１０に示すように回転軸
Ｊ６に固定されたハンド本体１１と、このハンド本体１
１に対して矢印Ｘ１，Ｘ２方向にスライド可能に設けら
れたハンド部１２，１２と、このハンド部１２，１２に
それぞれ設けられた一対のチャック部１３，１３とを備
えている。
Ｊ６に固定されたハンド本体１１と、このハンド本体１
１に対して矢印Ｘ１，Ｘ２方向にスライド可能に設けら
れたハンド部１２，１２と、このハンド部１２，１２に
それぞれ設けられた一対のチャック部１３，１３とを備
えている。
【０００４】このようなウエハカセット用ハンドリング
ロボットは、チャック部１３，１３でウエハカセットＣ
のフランジ部Ｆを把持し、クリーンルーム内にあるカセ
ットストッカやプロセス装置との間でウエハカセットＣ
の受け渡しを行なうようになっている。なお、１４はＣ
ＣＤカメラであり、停止位置の誤差補正を行なうもので
ある。
ロボットは、チャック部１３，１３でウエハカセットＣ
のフランジ部Ｆを把持し、クリーンルーム内にあるカセ
ットストッカやプロセス装置との間でウエハカセットＣ
の受け渡しを行なうようになっている。なお、１４はＣ
ＣＤカメラであり、停止位置の誤差補正を行なうもので
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】最近、ウエハカセット
のハンドリングは、プロセス装置の多様化により、縦方
向、横方向、斜め方向等、様々なハンドリング姿勢が要
求されるようになってきた。
のハンドリングは、プロセス装置の多様化により、縦方
向、横方向、斜め方向等、様々なハンドリング姿勢が要
求されるようになってきた。
【０００６】従来のウエハカセット用ハンドリングロボ
ットは、図９に示すようにウエハカセットＣのフランジ
Ｆが上面側に位置する場合には問題はないのであるが、
同図仮想線Ｆ’に示すようにフランジがカセットの側面
側に位置する場合には、次のような問題が生じる。
ットは、図９に示すようにウエハカセットＣのフランジ
Ｆが上面側に位置する場合には問題はないのであるが、
同図仮想線Ｆ’に示すようにフランジがカセットの側面
側に位置する場合には、次のような問題が生じる。
【０００７】すなわち、従来のチャック部１３，１３
は、図１０に示したように、ハンドの回転軸Ｊ６の軸線
方向視においてその回転軸Ｊ６に関し点対称に配設され
てはおらず、片側（図１０では上側）に配設されている
ので、カセットＣの側面側に位置するフランジＦ’を把
持するためには、図１１に示すようにハンド本体１１が
上方に位置するような姿勢で把持しなければならない。
ハンド本体１１が下方に位置するような姿勢では、ハン
ド本体１１が他のカセットＣ’やカセットの載置台２０
と干渉してしまうので把持することはできない。
は、図１０に示したように、ハンドの回転軸Ｊ６の軸線
方向視においてその回転軸Ｊ６に関し点対称に配設され
てはおらず、片側（図１０では上側）に配設されている
ので、カセットＣの側面側に位置するフランジＦ’を把
持するためには、図１１に示すようにハンド本体１１が
上方に位置するような姿勢で把持しなければならない。
ハンド本体１１が下方に位置するような姿勢では、ハン
ド本体１１が他のカセットＣ’やカセットの載置台２０
と干渉してしまうので把持することはできない。
【０００８】このため、図１１（ａ）に示すように、先
ず左側のカセットＣを把持し、その後、続けて同図
（ｂ）に示すように隣接する右側のカセットＣ’を把持
するような場合に、ハンド本体１１が常に上方に位置す
るような把持姿勢とするためには、ハンド１０（すなわ
ち軸Ｊ６）を軸Ｊ５（図９参照）回りに揺動させるだけ
では足りず、軸Ｊ６回りにも回転させなければならな
い。
ず左側のカセットＣを把持し、その後、続けて同図
（ｂ）に示すように隣接する右側のカセットＣ’を把持
するような場合に、ハンド本体１１が常に上方に位置す
るような把持姿勢とするためには、ハンド１０（すなわ
ち軸Ｊ６）を軸Ｊ５（図９参照）回りに揺動させるだけ
では足りず、軸Ｊ６回りにも回転させなければならな
い。
【０００９】従って従来のウエハカセット用ハンドリン
グロボットでは、２軸回りの姿勢制御が必要であり、動
作が複雑化するとともに、その制御も複雑化するという
問題が生じる。
グロボットでは、２軸回りの姿勢制御が必要であり、動
作が複雑化するとともに、その制御も複雑化するという
問題が生じる。
【００１０】本発明の目的は、以上のような問題点を解
決し、フランジが側面側にあって隣接しているウエハカ
セットを続けて把持するような場合であっても、簡単な
動作でこれを行なうことのできるウエハカセット用ハン
ドリングロボットを提供することにある。
決し、フランジが側面側にあって隣接しているウエハカ
セットを続けて把持するような場合であっても、簡単な
動作でこれを行なうことのできるウエハカセット用ハン
ドリングロボットを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、複数の関節を有するアームの先端に回転軸
により回転可能に取り付けられたハンドと、半導体ウエ
ハカセットを把持するためにハンドに設けられた一対の
チャック部とを備えたウエハカセット用ハンドリングロ
ボットにおいて、前記一対のチャック部を、前記回転軸
の軸線方向視においてその回転軸に関し点対称に配設し
たことを特徴とする。
に本発明は、複数の関節を有するアームの先端に回転軸
により回転可能に取り付けられたハンドと、半導体ウエ
ハカセットを把持するためにハンドに設けられた一対の
チャック部とを備えたウエハカセット用ハンドリングロ
ボットにおいて、前記一対のチャック部を、前記回転軸
の軸線方向視においてその回転軸に関し点対称に配設し
たことを特徴とする。
【００１２】
【作用効果】本発明は上記の構成としたので、次のよう
な作用効果を奏する。
な作用効果を奏する。
【００１３】すなわち、半導体ウエハカセットを把持す
るためにハンドに設けられた一対のチャック部が、ハン
ドの回転軸の軸線方向視においてその回転軸に関し点対
称に配設されているので、フランジが側面側にあって隣
接しているウエハカセットを続けて把持するような場合
であっても、ハンドを回転軸回りに回転させる必要はな
く、回転軸を揺動させるだけでウエハカセットを把持す
るための姿勢を得ることができる。
るためにハンドに設けられた一対のチャック部が、ハン
ドの回転軸の軸線方向視においてその回転軸に関し点対
称に配設されているので、フランジが側面側にあって隣
接しているウエハカセットを続けて把持するような場合
であっても、ハンドを回転軸回りに回転させる必要はな
く、回転軸を揺動させるだけでウエハカセットを把持す
るための姿勢を得ることができる。
【００１４】したがって、本発明のウエハカセット用ハ
ンドリングロボットによれば、フランジが側面側にあっ
て隣接しているウエハカセットを続けて把持するような
場合であっても、簡単な動作でこれを行なうことができ
るという効果がある。
ンドリングロボットによれば、フランジが側面側にあっ
て隣接しているウエハカセットを続けて把持するような
場合であっても、簡単な動作でこれを行なうことができ
るという効果がある。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１６】図１は本発明に係るウエハカセット用ハン
ドリングロボットの一実施例を示す正面図、図２は平面
図、図３は側面図、図４はハンドの正面図、図５は平面
図、図６は図５におけるＶＩ−ＶＩ断面図である。
ドリングロボットの一実施例を示す正面図、図２は平面
図、図３は側面図、図４はハンドの正面図、図５は平面
図、図６は図５におけるＶＩ−ＶＩ断面図である。
【００１７】本実施例のウエハカセット用ハンドリング
ロボットは、クリーンルーム内を走行する無軌道無人搬
送車Ｖ１に搭載されているもので、６軸Ｊ１１〜Ｊ１６
を有する垂直多関節のアームＡ１の先端に、ハンド１０
０が回転軸Ｊ１６により回転可能に取り付けられてい
る。
ロボットは、クリーンルーム内を走行する無軌道無人搬
送車Ｖ１に搭載されているもので、６軸Ｊ１１〜Ｊ１６
を有する垂直多関節のアームＡ１の先端に、ハンド１０
０が回転軸Ｊ１６により回転可能に取り付けられてい
る。
【００１８】ハンド１００は、図４に示すように回転軸
Ｊ１６に固定されたハンド本体１１０と、このハンド本
体１１０に設けられたハンド部１２０，１２０と、この
ハンド部１２０，１２０にそれぞれ設けられた一対のチ
ャック部１３０，１３０とを備え、チャック部１３０，
１３０は前記回転軸Ｊ１６の軸線方向視においてその回
転軸Ｊ１６に関し点対称に配設されている。
Ｊ１６に固定されたハンド本体１１０と、このハンド本
体１１０に設けられたハンド部１２０，１２０と、この
ハンド部１２０，１２０にそれぞれ設けられた一対のチ
ャック部１３０，１３０とを備え、チャック部１３０，
１３０は前記回転軸Ｊ１６の軸線方向視においてその回
転軸Ｊ１６に関し点対称に配設されている。
【００１９】ハンド部１２０は、図５、図６にも示すよ
うに、角柱状の基部１２１がハンド本体１１０に挿通さ
れており、この基部１２１が平面視Ｌ字形の連結部材１
２２の一端部１２２ａに固定されている。連結部材１２
２は、本体１１０に固定されたガイドレール１２３に沿
ってスライドするスライドブロック１２４に固定されて
おり、他端１２２ｂは、２本のロッド１２５を介してナ
ット体１２６に連結されている。ロッド１２５は、ナッ
ト体１２６に対しては固定されており、連結部材１２２
に対しては挿通可能（スライド可能）となっている。ロ
ッド１２５の周りには、連結部材１２２とナット体１２
６との間に介装された状態でスプリング１２７が設けら
れており、連結部材１２２とナット体１２６とを引き離
す方向に作用している。１２５ａはストッパである。ナ
ット体１２６，１２６は、それぞれが螺合する部分で逆
方向のねじが形成された１本のねじ体１２８と螺合して
おり、ねじ体１２８は、これに固定されたベベルギア１
２９ａおよびモータ軸Ｍ１に固定されたベベルギア１２
９ｂを介し、モータＭにより回転駆動されるようになっ
ている。したがって、モータＭの駆動によりねじ体１２
８が回転すると、その回転方向に応じてハンド部１２
０，１２０は矢印Ｘ１方向又はＸ２方向にスライドし、
Ｘ２方向にスライドしたとき、図５に示すようにウエハ
カセットＣのフランジＦを両側から把持するようになっ
ている。このとき、ナット体１２６，１２６は、ロッド
１２５の先端が連結部材１２２よりも多少突出する程度
に移動し、これにより、ハンド部１２０によるフランジ
Ｆの把持は、スプリング１２７，１２７の弾力を持って
なされるようになっている。なお、把持した際のチャッ
ク部１３０，１３０に対するカセットＣの矢印Ｙ方向へ
の移動を規制するために、フランジＦには図８に示すよ
うなノッチ１４０を設けるとともに、チャック部１３０
にはこのノッチ１４０と係合する突起１３１を設けてあ
る。
うに、角柱状の基部１２１がハンド本体１１０に挿通さ
れており、この基部１２１が平面視Ｌ字形の連結部材１
２２の一端部１２２ａに固定されている。連結部材１２
２は、本体１１０に固定されたガイドレール１２３に沿
ってスライドするスライドブロック１２４に固定されて
おり、他端１２２ｂは、２本のロッド１２５を介してナ
ット体１２６に連結されている。ロッド１２５は、ナッ
ト体１２６に対しては固定されており、連結部材１２２
に対しては挿通可能（スライド可能）となっている。ロ
ッド１２５の周りには、連結部材１２２とナット体１２
６との間に介装された状態でスプリング１２７が設けら
れており、連結部材１２２とナット体１２６とを引き離
す方向に作用している。１２５ａはストッパである。ナ
ット体１２６，１２６は、それぞれが螺合する部分で逆
方向のねじが形成された１本のねじ体１２８と螺合して
おり、ねじ体１２８は、これに固定されたベベルギア１
２９ａおよびモータ軸Ｍ１に固定されたベベルギア１２
９ｂを介し、モータＭにより回転駆動されるようになっ
ている。したがって、モータＭの駆動によりねじ体１２
８が回転すると、その回転方向に応じてハンド部１２
０，１２０は矢印Ｘ１方向又はＸ２方向にスライドし、
Ｘ２方向にスライドしたとき、図５に示すようにウエハ
カセットＣのフランジＦを両側から把持するようになっ
ている。このとき、ナット体１２６，１２６は、ロッド
１２５の先端が連結部材１２２よりも多少突出する程度
に移動し、これにより、ハンド部１２０によるフランジ
Ｆの把持は、スプリング１２７，１２７の弾力を持って
なされるようになっている。なお、把持した際のチャッ
ク部１３０，１３０に対するカセットＣの矢印Ｙ方向へ
の移動を規制するために、フランジＦには図８に示すよ
うなノッチ１４０を設けるとともに、チャック部１３０
にはこのノッチ１４０と係合する突起１３１を設けてあ
る。
【００２０】１５０は停止位置の誤差補正を行なうため
のＣＣＤカメラであり、本実施例では、本体１１０内に
組み込んである。
のＣＣＤカメラであり、本実施例では、本体１１０内に
組み込んである。
【００２１】以上のようなウエハカセット用ハンドリン
グロボットは、ハンド１００に設けられた一対のチャッ
ク部１３０，１３０が、ハンドの回転軸Ｊ１６の軸線方
向視（図４参照）において、回転軸Ｊ１６に関し点対称
に配設されているので、図１および図７に示すように、
フランジＦが側面側にあって隣接しているウエハカセッ
トＣ１，Ｃ２を続けて把持するような場合であっても、
ハンド１００を回転軸Ｊ１６回りに回転させる必要はな
く、図１に示すような姿勢でカセットＣ１を把持した
後、図７に示すように回転軸Ｊ１６を軸Ｊ１５回りに揺
動させるだけでカセットＣ２を把持するための姿勢を得
ることができる。
グロボットは、ハンド１００に設けられた一対のチャッ
ク部１３０，１３０が、ハンドの回転軸Ｊ１６の軸線方
向視（図４参照）において、回転軸Ｊ１６に関し点対称
に配設されているので、図１および図７に示すように、
フランジＦが側面側にあって隣接しているウエハカセッ
トＣ１，Ｃ２を続けて把持するような場合であっても、
ハンド１００を回転軸Ｊ１６回りに回転させる必要はな
く、図１に示すような姿勢でカセットＣ１を把持した
後、図７に示すように回転軸Ｊ１６を軸Ｊ１５回りに揺
動させるだけでカセットＣ２を把持するための姿勢を得
ることができる。
【００２２】したがって、このようなウエハカセット用
ハンドリングロボットによれば、フランジＦが側面側に
あって隣接しているウエハカセットＣ１，Ｃ２を続けて
把持するような場合であっても、簡単な動作でこれを行
なうことができ、その制御も簡略化することができる。
ハンドリングロボットによれば、フランジＦが側面側に
あって隣接しているウエハカセットＣ１，Ｃ２を続けて
把持するような場合であっても、簡単な動作でこれを行
なうことができ、その制御も簡略化することができる。
【００２３】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
【図１】本発明に係るウエハカセット用ハンドリングロ
ボットの一実施例を示す正面図。
ボットの一実施例を示す正面図。
【図２】同上平面図。
【図３】同上側面図。
【図４】同上実施例におけるハンドの正面図。
【図５】同じく平面図。
【図６】図５におけるＶＩ−ＶＩ断面図。
【図７】同上実施例の作用説明図。
【図８】ウエハカセットの斜視図。
【図９】従来ロボットの正面図。
【図１０】従来ロボットのハンドを示す底面図。
【図１１】従来ロボットの動作説明図。
Ａ１ アーム Ｃ ウエハカセット Ｊ１６ 回転軸 １００ ハンド １３０ チャック部
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の関節を有するアームの先端に回転
軸により回転可能に取り付けられたハンドと、半導体ウ
エハカセットを把持するためにハンドに設けられた一対
のチャック部とを備えたウエハカセット用ハンドリング
ロボットにおいて、前記一対のチャック部を、前記回転
軸の軸線方向視においてその回転軸に関し点対称に配設
したことを特徴とするウエハカセット用ハンドリングロ
ボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19278491A JPH05146984A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | ウエハカセツト用ハンドリングロボツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19278491A JPH05146984A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | ウエハカセツト用ハンドリングロボツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05146984A true JPH05146984A (ja) | 1993-06-15 |
Family
ID=16296944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19278491A Pending JPH05146984A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | ウエハカセツト用ハンドリングロボツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05146984A (ja) |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5660517A (en) * | 1994-04-28 | 1997-08-26 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing system with wafer container docking and loading station |
| US5664337A (en) * | 1996-03-26 | 1997-09-09 | Semitool, Inc. | Automated semiconductor processing systems |
| US5836736A (en) * | 1994-04-28 | 1998-11-17 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing system with wafer container docking and loading station |
| US5975825A (en) * | 1997-03-05 | 1999-11-02 | Tec-Sem Ag | Transfer apparatus for wafers |
| US5983479A (en) * | 1996-02-21 | 1999-11-16 | Nec Corporation | Apparatus and method of automatically removing a wafer carrier from a container |
| US6091498A (en) * | 1996-07-15 | 2000-07-18 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing apparatus having lift and tilt mechanism |
| US6203582B1 (en) | 1996-07-15 | 2001-03-20 | Semitool, Inc. | Modular semiconductor workpiece processing tool |
| US6273110B1 (en) | 1997-12-19 | 2001-08-14 | Semitool, Inc. | Automated semiconductor processing system |
| US6279724B1 (en) | 1997-12-19 | 2001-08-28 | Semitoll Inc. | Automated semiconductor processing system |
| US6354791B1 (en) | 1997-04-11 | 2002-03-12 | Applied Materials, Inc. | Water lift mechanism with electrostatic pickup and method for transferring a workpiece |
| US6645355B2 (en) | 1996-07-15 | 2003-11-11 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing apparatus having lift and tilt mechanism |
| US6723174B2 (en) | 1996-03-26 | 2004-04-20 | Semitool, Inc. | Automated semiconductor processing system |
| US6833035B1 (en) | 1994-04-28 | 2004-12-21 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing system with wafer container docking and loading station |
| US6942738B1 (en) | 1996-07-15 | 2005-09-13 | Semitool, Inc. | Automated semiconductor processing system |
| US7080652B2 (en) | 1994-04-28 | 2006-07-25 | Semitool, Inc. | Automated semiconductor processing systems |
| US7278813B2 (en) | 2000-07-07 | 2007-10-09 | Semitool, Inc. | Automated processing system |
| JP2012015420A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送車のグリッパ装置、及び搬送車 |
| US20120128452A1 (en) * | 2009-07-29 | 2012-05-24 | Muratec Automation Co., Ltd. | Transport system and set-up method |
| JP2019519097A (ja) * | 2016-04-29 | 2019-07-04 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント（グループ）カンパニー リミティド | カセットハンドリングロボットマニピュレータ、及び自動カセット搬送装置 |
| WO2022193347A1 (zh) * | 2021-03-19 | 2022-09-22 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 晶圆载具的夹取装置 |
-
1991
- 1991-07-08 JP JP19278491A patent/JPH05146984A/ja active Pending
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5660517A (en) * | 1994-04-28 | 1997-08-26 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing system with wafer container docking and loading station |
| US5836736A (en) * | 1994-04-28 | 1998-11-17 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing system with wafer container docking and loading station |
| US7080652B2 (en) | 1994-04-28 | 2006-07-25 | Semitool, Inc. | Automated semiconductor processing systems |
| US6960257B2 (en) | 1994-04-28 | 2005-11-01 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing system with wafer container docking and loading station |
| US6833035B1 (en) | 1994-04-28 | 2004-12-21 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing system with wafer container docking and loading station |
| US5983479A (en) * | 1996-02-21 | 1999-11-16 | Nec Corporation | Apparatus and method of automatically removing a wafer carrier from a container |
| US5664337A (en) * | 1996-03-26 | 1997-09-09 | Semitool, Inc. | Automated semiconductor processing systems |
| US6723174B2 (en) | 1996-03-26 | 2004-04-20 | Semitool, Inc. | Automated semiconductor processing system |
| US6654122B1 (en) | 1996-07-15 | 2003-11-25 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing apparatus having lift and tilt mechanism |
| US7074246B2 (en) | 1996-07-15 | 2006-07-11 | Semitool, Inc. | Modular semiconductor workpiece processing tool |
| US6440178B2 (en) | 1996-07-15 | 2002-08-27 | Semitool, Inc. | Modular semiconductor workpiece processing tool |
| US6645355B2 (en) | 1996-07-15 | 2003-11-11 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing apparatus having lift and tilt mechanism |
| US6203582B1 (en) | 1996-07-15 | 2001-03-20 | Semitool, Inc. | Modular semiconductor workpiece processing tool |
| US6942738B1 (en) | 1996-07-15 | 2005-09-13 | Semitool, Inc. | Automated semiconductor processing system |
| US6091498A (en) * | 1996-07-15 | 2000-07-18 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing apparatus having lift and tilt mechanism |
| US7002698B2 (en) | 1996-07-15 | 2006-02-21 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing apparatus having lift and tilt mechanism |
| US5975825A (en) * | 1997-03-05 | 1999-11-02 | Tec-Sem Ag | Transfer apparatus for wafers |
| US6354791B1 (en) | 1997-04-11 | 2002-03-12 | Applied Materials, Inc. | Water lift mechanism with electrostatic pickup and method for transferring a workpiece |
| US6273110B1 (en) | 1997-12-19 | 2001-08-14 | Semitool, Inc. | Automated semiconductor processing system |
| US6279724B1 (en) | 1997-12-19 | 2001-08-28 | Semitoll Inc. | Automated semiconductor processing system |
| US7278813B2 (en) | 2000-07-07 | 2007-10-09 | Semitool, Inc. | Automated processing system |
| US20120128452A1 (en) * | 2009-07-29 | 2012-05-24 | Muratec Automation Co., Ltd. | Transport system and set-up method |
| US9048275B2 (en) * | 2009-07-29 | 2015-06-02 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system and set-up method |
| JP2012015420A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送車のグリッパ装置、及び搬送車 |
| JP2019519097A (ja) * | 2016-04-29 | 2019-07-04 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント（グループ）カンパニー リミティド | カセットハンドリングロボットマニピュレータ、及び自動カセット搬送装置 |
| US11383940B2 (en) | 2016-04-29 | 2022-07-12 | Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. | Robot arm for holding cassette and automatic cassette transfer device |
| WO2022193347A1 (zh) * | 2021-03-19 | 2022-09-22 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 晶圆载具的夹取装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6491491B1 (en) | Articulated robot | |
| US6494666B2 (en) | Simplified and enhanced SCARA arm | |
| US8585111B2 (en) | Robot hand and robot apparatus | |
| US5438647A (en) | Multi-manipulator robot apparatus | |
| US5857826A (en) | Work transporting robot and semiconductor device manufacturing apparatus | |
| JP2633808B2 (ja) | 半導体処理システム用のカセット入力／出力装置 | |
| JPH0465148A (ja) | 自動ハンドリング装置 | |
| US6435807B1 (en) | Integrated edge gripper | |
| DE3877107D1 (de) | Werkzeugwechselsystem. | |
| WO2020095875A1 (ja) | ロボットハンド及びそれを備えるロボット | |
| JPH0757460B2 (ja) | ワ−ク反転ロボツト | |
| JP4199432B2 (ja) | ロボット装置及び処理装置 | |
| JPS5924940A (ja) | 工作機械のロボツト | |
| JP4253945B2 (ja) | ロボットハンドのチルト機構 | |
| US11491664B2 (en) | Robotic platform manipulating peripeheral nerve system | |
| JPS61236487A (ja) | 産業用ロボツトの制御装置 | |
| JPS6263207A (ja) | 把持装置 | |
| JPH11881A (ja) | クリーンロボット | |
| JP7409800B2 (ja) | ロボット制御装置、ロボット、及びロボット制御方法 | |
| SU1549746A1 (ru) | Промышленный робот | |
| JPS63109927A (ja) | ロボツトア−ム用デイスクマニピユレ−タ | |
| JPS6254638A (ja) | 工具交換装置 | |
| JPS63191536A (ja) | 複数のマガジン間の工具移動方法と装置 | |
| JPS6279986A (ja) | 工業用ロボツトのハンド装置 | |
| JPS6215093A (ja) | 把持装置 |