JPH01159953A - 定性分析装置 - Google Patents
定性分析装置Info
- Publication number
- JPH01159953A JPH01159953A JP62316955A JP31695587A JPH01159953A JP H01159953 A JPH01159953 A JP H01159953A JP 62316955 A JP62316955 A JP 62316955A JP 31695587 A JP31695587 A JP 31695587A JP H01159953 A JPH01159953 A JP H01159953A
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- JP
- Japan
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は、試料から得られた検出信号のプロファイルを
表示あるいは記録して試料の定性分析を行う定性分析装
置に関する。
表示あるいは記録して試料の定性分析を行う定性分析装
置に関する。
（ロ）従来技術とその問題点
従来のこの種の定性分析装置、たとえば、ＥＰＭＡにお
いて試料の線分析を行うような場合には、試料ステージ
を一方向に移動させるとともに、試料から発生された特
性Ｘ線を検出してその検出信号をアナログレコーダに出
力し、横軸を分析位置、縦軸を信号強度としたプロファ
イルを記録する。
いて試料の線分析を行うような場合には、試料ステージ
を一方向に移動させるとともに、試料から発生された特
性Ｘ線を検出してその検出信号をアナログレコーダに出
力し、横軸を分析位置、縦軸を信号強度としたプロファ
イルを記録する。
そして、このプロファイルから特定元素の存在の有無を
調べるようにしている。
調べるようにしている。
この場合、検出信号の強度レベルは、試料の元素含有嵐
等によって変動するものであるから、最初、レンジが適
切に設定されていても、第４図に示すように、分析途中
で検出信号の強度レベルが次第に大きくなってレコーダ
のレンジを越えることがある。このような場合には、従
来、その都度、手動でレコーダのレンジを切り換えてお
り、このため、分析操作が煩雑となっていた。しかも、
分析途中でレンジを切り換えると、レンジ切り換え前後
の検出信号の強度レベルを直接比較することができない
という不便さもあった。
等によって変動するものであるから、最初、レンジが適
切に設定されていても、第４図に示すように、分析途中
で検出信号の強度レベルが次第に大きくなってレコーダ
のレンジを越えることがある。このような場合には、従
来、その都度、手動でレコーダのレンジを切り換えてお
り、このため、分析操作が煩雑となっていた。しかも、
分析途中でレンジを切り換えると、レンジ切り換え前後
の検出信号の強度レベルを直接比較することができない
という不便さもあった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、分析途中で検出信号の強度レベルに応じて自動的に
レンジの切り換えかできるようにして、従来の不都合を
解消することを目的とする。
て、分析途中で検出信号の強度レベルに応じて自動的に
レンジの切り換えかできるようにして、従来の不都合を
解消することを目的とする。
（ハ）問題点を解決するための手段
本発明は、」−記の目的を達成するために、次の構成を
採る。
採る。
すなわち、本発明の定性分析装置では、試料から得られ
た検出信号を時系列的に記憶するプロファイルデータメ
モリと、 前記検出信号を時分割で記憶する時分割バッファメモリ
と、 この時分割バッファメモリに記憶された検出信号の内か
らその最大値を検索する最大値検索手段と、 前記検出信号に対する各レンジごとの上限値を規制する
上限値データが記憶された」−限値設定用メモリと、 前記最大値検索手段で検索された検出信号の最大値と前
記上限値設定用メモリに記憶されている」−限値データ
とを比較して最大値が上限値を越えた場合に判定信号を
出力する比較手段と、この比較手段からの判定信号に応
答して前記プロファイルデータメモリに記憶されている
検出信号のレベルを前記上限値設定用メモリの上限値デ
ータに基づいて修正するレベル修正手段と、このレベル
修正手段で修正された検出信号を画像表示するＣＲＴモ
ニタと、 を備えている。
た検出信号を時系列的に記憶するプロファイルデータメ
モリと、 前記検出信号を時分割で記憶する時分割バッファメモリ
と、 この時分割バッファメモリに記憶された検出信号の内か
らその最大値を検索する最大値検索手段と、 前記検出信号に対する各レンジごとの上限値を規制する
上限値データが記憶された」−限値設定用メモリと、 前記最大値検索手段で検索された検出信号の最大値と前
記上限値設定用メモリに記憶されている」−限値データ
とを比較して最大値が上限値を越えた場合に判定信号を
出力する比較手段と、この比較手段からの判定信号に応
答して前記プロファイルデータメモリに記憶されている
検出信号のレベルを前記上限値設定用メモリの上限値デ
ータに基づいて修正するレベル修正手段と、このレベル
修正手段で修正された検出信号を画像表示するＣＲＴモ
ニタと、 を備えている。
（ニ）作用
試料から得られた検出信号はプロファイルデータメモリ
に時系列的に記憶される。
に時系列的に記憶される。
一方、検出信号は、時間ごとに時分割バッファメモリに
記憶される。そして、次段の最大値検索手段によって時
分割バッファメモリに記憶された検出信号の内からその
最大値が検索される。続いて、比較手段により、最大値
検索手段で検索された検出信号の最大値と上限値設定用
メモリから読み出される現在の設定レンジにおける上限
値とが比較され、最大値が上限値よりも大きくなってス
ケールオーバしている場合には判定信号が出力される。
記憶される。そして、次段の最大値検索手段によって時
分割バッファメモリに記憶された検出信号の内からその
最大値が検索される。続いて、比較手段により、最大値
検索手段で検索された検出信号の最大値と上限値設定用
メモリから読み出される現在の設定レンジにおける上限
値とが比較され、最大値が上限値よりも大きくなってス
ケールオーバしている場合には判定信号が出力される。
この判別信号に応答して、レベル修正手段はプロファイ
ルデータメモリに記憶されている検出信号のレベルを上
限値設定用メモリの上限値データに基づいて修正する。
ルデータメモリに記憶されている検出信号のレベルを上
限値設定用メモリの上限値データに基づいて修正する。
すなわち、検出信号レベルを現在のレンジよりも一段低
いレンジの下で修正し直す。そして、レベル修正された
後の検出信号がＣＲＴモニタに出力される。
いレンジの下で修正し直す。そして、レベル修正された
後の検出信号がＣＲＴモニタに出力される。
このように、分析途中で検出信号の強度レベルがスケー
ルオーバするたびに自動的にレンジが切＝４− り換えられることになる。
ルオーバするたびに自動的にレンジが切＝４− り換えられることになる。
（ポ）実施例
以下、本発明を定性分析装置としてＥＰＭＡに適用した
場合について説明する。
場合について説明する。
第１図は本発明の実施例に係るＥＰＭＡの全体構成図で
ある。同図において、符号１はＥＰＭＡの全体を示し、
２は試料ステージ、４は試料ステージ２をＸ軸方向に移
動させるＸ軸駆動部、６は試料ステージ２をＹ軸方向に
移動させるＹ軸駆動部であり、これらの駆動部４．６は
パルスモータとギヤとを組み合わせて構成されている。
ある。同図において、符号１はＥＰＭＡの全体を示し、
２は試料ステージ、４は試料ステージ２をＸ軸方向に移
動させるＸ軸駆動部、６は試料ステージ２をＹ軸方向に
移動させるＹ軸駆動部であり、これらの駆動部４．６は
パルスモータとギヤとを組み合わせて構成されている。
８は試料から発生された特性Ｘ線を分光する分光結晶、
１０は分光結晶で分光された特性Ｘ線を検出する検出器
、１２は検出器１０から出力される検出信号を増幅する
増幅器、１４は検出信号をデジタル化するＡ／Ｄ変換器
である。
１０は分光結晶で分光された特性Ｘ線を検出する検出器
、１２は検出器１０から出力される検出信号を増幅する
増幅器、１４は検出信号をデジタル化するＡ／Ｄ変換器
である。
１６は検出信号を時系列的に記憶するプロファイルデー
タメモリ、１８は検出信号を時分割で記憶する時分割バ
ッファメモリ、２０は時分割バッファメモリ１８に記憶
された検出信号の内からその最大値を検索する最大値検
索手段、２２は検出信号に対する各レンジごとの上限値
を規制する上限値データか記憶された」１限値設定用メ
モリである。
タメモリ、１８は検出信号を時分割で記憶する時分割バ
ッファメモリ、２０は時分割バッファメモリ１８に記憶
された検出信号の内からその最大値を検索する最大値検
索手段、２２は検出信号に対する各レンジごとの上限値
を規制する上限値データか記憶された」１限値設定用メ
モリである。
２４は最大値検索手段２０で検索された検出信号の最大
値と」−限値設定用メモリ２２から読み出されている現
時点の上限値データとを比較して最大値か北限値を越え
た場合に判定信号を出力する比較手段、２６は比較手段
２４からの判定信号に応答してプロファイルデータメモ
リ１６に記憶されている検出信号のレベルを」１限値設
定用メモリ２２の−上限値データに基づいて修正するレ
ベル修正手段である。また、２８はレベル修正手段２６
でレベル修正された後の検出信号を画像表示信号に変換
する表示回路、３０はＣＲＴモニタ、３２はＸ軸、Ｙ軸
部動部４．６の動作、検出器１０のゲイン、時分割バッ
ファメモリＩ８と」１限値設定用メモリ２２の書き込め
動作等を制御するコントローラである。
値と」−限値設定用メモリ２２から読み出されている現
時点の上限値データとを比較して最大値か北限値を越え
た場合に判定信号を出力する比較手段、２６は比較手段
２４からの判定信号に応答してプロファイルデータメモ
リ１６に記憶されている検出信号のレベルを」１限値設
定用メモリ２２の−上限値データに基づいて修正するレ
ベル修正手段である。また、２８はレベル修正手段２６
でレベル修正された後の検出信号を画像表示信号に変換
する表示回路、３０はＣＲＴモニタ、３２はＸ軸、Ｙ軸
部動部４．６の動作、検出器１０のゲイン、時分割バッ
ファメモリＩ８と」１限値設定用メモリ２２の書き込め
動作等を制御するコントローラである。
次に、」１記構成の動作について、試料の線分析を行う
場合を例にとって説明する。
場合を例にとって説明する。
線分析を行う場合には、たとえば、Ｘ軸部動部４により
試料ステージ２がＸ軸方向に移動されるとともに、試料
に電子ビームを照射してこの試料から発生された特性Ｘ
線が分光器８で分光された後、検出器ＩＯで検出される
。検出器ＩＯから出力される検出信号は、増幅器Ｉ２、
Ａ／Ｄ変換器Ｉ４を介してプロファイルデータメモリ１
６と時分割バッファメモリＩ８とに送出される。したが
って、プロファイルデータメモリ１６には、第２図に示
すように、試料ステージ２の移動に伴って逐次得られる
検出信号がそのまま時系列的に記憶される。
試料ステージ２がＸ軸方向に移動されるとともに、試料
に電子ビームを照射してこの試料から発生された特性Ｘ
線が分光器８で分光された後、検出器ＩＯで検出される
。検出器ＩＯから出力される検出信号は、増幅器Ｉ２、
Ａ／Ｄ変換器Ｉ４を介してプロファイルデータメモリ１
６と時分割バッファメモリＩ８とに送出される。したが
って、プロファイルデータメモリ１６には、第２図に示
すように、試料ステージ２の移動に伴って逐次得られる
検出信号がそのまま時系列的に記憶される。
一方、時分割バッファメモリ１８にはコントローラ３２
から書き込み許容信号が時分割で与えられており、その
ため、時分割バッファメモリ１８には、第２図において
符号ゴいＴ７、Ｔ３、 で示ず各期間ごとに、検出信号
が所定のデータ点数分だけ格納される。そして、各期間
Ｔ、、Ｔ２、Ｔ３、 ・において、検出信号が所定のデ
ータ点数に達すると、時分割バッファメモリ１８に格納
されたこれらの検出信号が直ちに次段の最大値検索手段
２０に転送され、ここで各期間Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、内に
含まれる検出信号の最大値が検索される。
から書き込み許容信号が時分割で与えられており、その
ため、時分割バッファメモリ１８には、第２図において
符号ゴいＴ７、Ｔ３、 で示ず各期間ごとに、検出信号
が所定のデータ点数分だけ格納される。そして、各期間
Ｔ、、Ｔ２、Ｔ３、 ・において、検出信号が所定のデ
ータ点数に達すると、時分割バッファメモリ１８に格納
されたこれらの検出信号が直ちに次段の最大値検索手段
２０に転送され、ここで各期間Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、内に
含まれる検出信号の最大値が検索される。
そして、検索された最大値のデータが比較手段２４に送
られる。
られる。
比較手段２４は、最大値検索手段２０で検索された検出
信号の最大値と上限値設定用メモリ２２から読み出され
ている現レンジに対応した上限値と比較する。そして、
最大値が現レンジの上限値を越えている場合にはレンジ
オーバを示す判定信号を出力する。この判定信号は、レ
ベル修正手段２６とコントローラ３２に与えられる。コ
ントローラ３２は、この判定信号に応答して上限値設定
用メモリ２２から現時点のレンジよりも一段低いレンジ
の上限値データを読み出す。これにより、実質的にレン
ジ切り換えが行われて上限値設定用メモリ２２の出力内
容が変更される。たとえば、検出信号に対する最初の上
限値が５００カウントであったときにスケールオーバず
れば次には上限値が１０００ツＪウントに変更される。
信号の最大値と上限値設定用メモリ２２から読み出され
ている現レンジに対応した上限値と比較する。そして、
最大値が現レンジの上限値を越えている場合にはレンジ
オーバを示す判定信号を出力する。この判定信号は、レ
ベル修正手段２６とコントローラ３２に与えられる。コ
ントローラ３２は、この判定信号に応答して上限値設定
用メモリ２２から現時点のレンジよりも一段低いレンジ
の上限値データを読み出す。これにより、実質的にレン
ジ切り換えが行われて上限値設定用メモリ２２の出力内
容が変更される。たとえば、検出信号に対する最初の上
限値が５００カウントであったときにスケールオーバず
れば次には上限値が１０００ツＪウントに変更される。
そして、この−段低いレンジの上限値データ（」１記の
例では上限値１０００カウント）がレベル修正手段２６
に転送される。
例では上限値１０００カウント）がレベル修正手段２６
に転送される。
レベル修正手段２６は、比較手段２４からの判定信号に
応答して、プロファイルデータメモリ１６に記憶されて
いる検出信号のレベルを上限値設定用メモリ２２から与
えられるレンジ切り換え後の一段低いレンジの下で設定
し直す。したがって、プロファイルデータメモリ１６に
格納されている検出信号レベルをＸｌとした場合、」１
記の例において、レンジ切り換え前ではＸ１１５００の
大きさが、レンジ切り換え後は、Ｘ１１５００の大きさ
に修正される。そして、レベル修正後の検出信号が表示
回路２８を介してＣＲＴモニタ３０に出力される。
応答して、プロファイルデータメモリ１６に記憶されて
いる検出信号のレベルを上限値設定用メモリ２２から与
えられるレンジ切り換え後の一段低いレンジの下で設定
し直す。したがって、プロファイルデータメモリ１６に
格納されている検出信号レベルをＸｌとした場合、」１
記の例において、レンジ切り換え前ではＸ１１５００の
大きさが、レンジ切り換え後は、Ｘ１１５００の大きさ
に修正される。そして、レベル修正後の検出信号が表示
回路２８を介してＣＲＴモニタ３０に出力される。
これにより、分析開始当初は、ＣＲＴモニタ３０に第３
図（ａ）に示すようなプロファイルが表示されていた場
合に、期間Ｔ２で検出信号かスケールオーバすると、期
間Ｔ３からレンジが切り換わって、同図（ｂ）に示す表
示となる。その後、継続して同図（Ｃ）に示すようにプ
ロファイルが表示されていて、期間Ｔ５で検出信号がス
ケールオーバすると、期間Ｔ６からレンジが切り換わっ
て、同図（ｄ）に示す表示となる。
図（ａ）に示すようなプロファイルが表示されていた場
合に、期間Ｔ２で検出信号かスケールオーバすると、期
間Ｔ３からレンジが切り換わって、同図（ｂ）に示す表
示となる。その後、継続して同図（Ｃ）に示すようにプ
ロファイルが表示されていて、期間Ｔ５で検出信号がス
ケールオーバすると、期間Ｔ６からレンジが切り換わっ
て、同図（ｄ）に示す表示となる。
このようにして、分析途中で検出信号のレベルがスケー
ルオーバするたびに自動的にレンジか切り換えられるこ
とになる。
ルオーバするたびに自動的にレンジか切り換えられるこ
とになる。
（へ）効果
本発明によれば、分析途中で検出信号の強度レベルに応
じて自動的にレンジが切り換えられるので、従来のよう
に、レンジを越えるたびにその都度手動でレンジ切り換
えを行うといった不便さが解消される。しかも、分析開
始から現在までのプロファイルは、常に所定のレンジ内
に収まる状態で画像表示されるので、検出信号の強度レ
ベルの変化状態を確認し易くなる等の優れた効果が発揮
される。
じて自動的にレンジが切り換えられるので、従来のよう
に、レンジを越えるたびにその都度手動でレンジ切り換
えを行うといった不便さが解消される。しかも、分析開
始から現在までのプロファイルは、常に所定のレンジ内
に収まる状態で画像表示されるので、検出信号の強度レ
ベルの変化状態を確認し易くなる等の優れた効果が発揮
される。
第１図ないし第３図は本発明の実施例を示すものて、第
１図はＥＰＭＡの全体構成図、第２図はプロファイルデ
ータメモリに時系列に記憶される検出信号のプロファイ
ルを示す説明図、第３図はＣＲＴへのプロファイルの表
示例を示す説明図である。また、第４図は従来のプロフ
ァイルの表示例を示す説明図である。 １−ＥＰＭＡ、Ｉ ６ ・プロファイルデータメモリ
、１８ 時分割バッファメモリ、２０ 最大値検索手段
、２２ 上限値設定用メモリ、２４・・・比較手段、２
６ ・レベル修正手段、３Ｏ−ＣＲＴモニタ。
１図はＥＰＭＡの全体構成図、第２図はプロファイルデ
ータメモリに時系列に記憶される検出信号のプロファイ
ルを示す説明図、第３図はＣＲＴへのプロファイルの表
示例を示す説明図である。また、第４図は従来のプロフ
ァイルの表示例を示す説明図である。 １−ＥＰＭＡ、Ｉ ６ ・プロファイルデータメモリ
、１８ 時分割バッファメモリ、２０ 最大値検索手段
、２２ 上限値設定用メモリ、２４・・・比較手段、２
６ ・レベル修正手段、３Ｏ−ＣＲＴモニタ。
Claims (1)
- （１）試料から得られた検出信号を時系列的に記憶する
プロファイルデータメモリと、 前記検出信号を時分割で記憶する時分割バッファメモリ
と、 この時分割バッファメモリに記憶された検出信号の内か
らその最大値を検索する最大値検索手段と、 前記検出信号に対する各レンジごとの上限値を規制する
上限値データが記憶された上限値設定用メモリと、 前記最大値検索手段で検索された検出信号の最大値と前
記上限値設定用メモリに記憶されている上限値データと
を比較して最大値が上限値を越えた場合に判定信号を出
力する比較手段と、 この比較手段からの判定信号に応答して前記プロファイ
ルデータメモリに記憶されている検出信号のレベルを前
記上限値設定用メモリの上限値データに基づいて修正す
るレベル修正手段と、このレベル修正手段で修正された
検出信号を画像表示するＣＲＴモニタと、 を備えることを特徴とする定性分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31695587A JP3303917B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 定性分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31695587A JP3303917B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 定性分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01159953A true JPH01159953A (ja) | 1989-06-22 |
| JP3303917B2 JP3303917B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=18082798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31695587A Expired - Fee Related JP3303917B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 定性分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3303917B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6073165U (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-23 | 日本電子株式会社 | 走査電子顕微鏡 |
-
1987
- 1987-12-15 JP JP31695587A patent/JP3303917B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6073165U (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-23 | 日本電子株式会社 | 走査電子顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3303917B2 (ja) | 2002-07-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |