JPH01162130A - 流体中に含まれるパーティクル検出装置 - Google Patents
流体中に含まれるパーティクル検出装置Info
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- JPH01162130A JPH01162130A JP62320098A JP32009887A JPH01162130A JP H01162130 A JPH01162130 A JP H01162130A JP 62320098 A JP62320098 A JP 62320098A JP 32009887 A JP32009887 A JP 32009887A JP H01162130 A JPH01162130 A JP H01162130A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
純水、酸溶液、アルカリ溶液−の高純度の流体中に含ま
れるパーティクル数を検出する装置の改良に関し、 被測定流体の温度がどのように変化しても、正しいパー
ティクル数を測定できるよう改良した、流体中に含まれ
るパーティクル検出装置を提供することを目的とし、 レーザ発生装置と、該レーザ発生装置の発生するレーザ
光が透過して入射するレーザ光入射窓と射出するレーザ
光射出窓とを有し、被測定流体を供給されるセンサーセ
ルと、該センサーセルのレーザ光射出窓を透過して射出
されたレーザ光を、被測定流体中に含まれるパーティク
ルにより散乱された散乱レーザ光と散乱されなかった非
散乱光とに分離する手段と、前記散乱光を集束し検出す
る散乱光検出手段と、前記非散乱レーザ光を検出する非
散乱光検出手段と、前記散乱光検出手段の検出値と前記
非散乱光検出手段の検出値とを入力され、被測定流体中
のパーティクル数を算出するパーティクル数算出手段と
を具備してなる、流体中に含まれるパーティクル検出装
置において、前記センサーセルには温度検出手段が設け
られ、前記パーティクル検出装置には、該温度検出手段
の検出する前記センサーセルの温度に追従して、前記被
測定流体の温度を制御する流体温度制御手段を設けるよ
う構成する。
れるパーティクル数を検出する装置の改良に関し、 被測定流体の温度がどのように変化しても、正しいパー
ティクル数を測定できるよう改良した、流体中に含まれ
るパーティクル検出装置を提供することを目的とし、 レーザ発生装置と、該レーザ発生装置の発生するレーザ
光が透過して入射するレーザ光入射窓と射出するレーザ
光射出窓とを有し、被測定流体を供給されるセンサーセ
ルと、該センサーセルのレーザ光射出窓を透過して射出
されたレーザ光を、被測定流体中に含まれるパーティク
ルにより散乱された散乱レーザ光と散乱されなかった非
散乱光とに分離する手段と、前記散乱光を集束し検出す
る散乱光検出手段と、前記非散乱レーザ光を検出する非
散乱光検出手段と、前記散乱光検出手段の検出値と前記
非散乱光検出手段の検出値とを入力され、被測定流体中
のパーティクル数を算出するパーティクル数算出手段と
を具備してなる、流体中に含まれるパーティクル検出装
置において、前記センサーセルには温度検出手段が設け
られ、前記パーティクル検出装置には、該温度検出手段
の検出する前記センサーセルの温度に追従して、前記被
測定流体の温度を制御する流体温度制御手段を設けるよ
う構成する。
純水、酸溶液、アルカリ溶液等の高純度の流体中に含ま
れるパーティクル数を検出する装置の改良に関する。
れるパーティクル数を検出する装置の改良に関する。
従来技術に係る流体中に含まれるパーティクル検出装置
の構成を第４図に示す０図において、被測定流体は、配
管５を介してセンサーセル１に供給され、レーザ発生装
置２において発生されたレーザは、サファイア、ガラス
等の耐蝕性があり、しかも、レーザ透過性の良い材料か
らなる窓６ａを透過してセンサーセル１に入射し、同様
に、サファイア、ガラス等の耐蝕性があり、しかも、レ
ーザ透過性の良い材料からなる窓６ｂを透過して外部に
射出される。
の構成を第４図に示す０図において、被測定流体は、配
管５を介してセンサーセル１に供給され、レーザ発生装
置２において発生されたレーザは、サファイア、ガラス
等の耐蝕性があり、しかも、レーザ透過性の良い材料か
らなる窓６ａを透過してセンサーセル１に入射し、同様
に、サファイア、ガラス等の耐蝕性があり、しかも、レ
ーザ透過性の良い材料からなる窓６ｂを透過して外部に
射出される。
ここで、被測定流体中のパーティクルによって散乱され
た散乱レーザ光は、窓６ｂを透過して外部に射出した後
、中央に開口を有する平面鏡７によって屈折され、集光
レンズ８によって集光され、散乱光検出手段３によって
検出される。
た散乱レーザ光は、窓６ｂを透過して外部に射出した後
、中央に開口を有する平面鏡７によって屈折され、集光
レンズ８によって集光され、散乱光検出手段３によって
検出される。
一方、被測定流体中のパーティクルによって散乱されな
かった非散乱レーザ光は、レーザ光射出窓６ｂを透過し
て外部に射出された後、平面鏡７の中央の開ロアａを通
り、非散乱光検出手段４によって検出される。
かった非散乱レーザ光は、レーザ光射出窓６ｂを透過し
て外部に射出された後、平面鏡７の中央の開ロアａを通
り、非散乱光検出手段４によって検出される。
前記散乱光検出手段３および非散乱光検出手段４の検出
値をパーティクル数算出手段９において比較することに
よって被測定流体中のパーティクル数を測定する。
値をパーティクル数算出手段９において比較することに
よって被測定流体中のパーティクル数を測定する。
たり、上記せる従来技術に係る流体中に含まれるパーテ
ィクル検出装置を使用すると、全く同一の被測定流体で
あっても、その温度が相違すると、その中に含まれてい
るものとして検出されるパーティクル数が相違するとい
う欠点が発見された。
ィクル検出装置を使用すると、全く同一の被測定流体で
あっても、その温度が相違すると、その中に含まれてい
るものとして検出されるパーティクル数が相違するとい
う欠点が発見された。
そこで、この現象を確認するため、全く同一の被測定流
体の温度を約２０°Ｃ（Ａをもって第２図・第３図に図
示する）から−旦１００°Ｃ（Ｂをもって第２図・第３
図に図示する）まで昇温し、再び約２０°Ｃ（Ｃをもっ
て第２図・第３図に図示する）まで降温して、上記の流
体中に含まれるパーティクル検出装置を使用して、その
中に含まれるものとして検出されるパーティクル数を測
定し、その結果を、第２図と第３図とに示す。
体の温度を約２０°Ｃ（Ａをもって第２図・第３図に図
示する）から−旦１００°Ｃ（Ｂをもって第２図・第３
図に図示する）まで昇温し、再び約２０°Ｃ（Ｃをもっ
て第２図・第３図に図示する）まで降温して、上記の流
体中に含まれるパーティクル検出装置を使用して、その
中に含まれるものとして検出されるパーティクル数を測
定し、その結果を、第２図と第３図とに示す。
第２図は、被測定流体の昇温・降温の経過を示す、時間
・温度曲線であり、第３図は昇温過程及び降温過程にお
いて、上記せる全く同一の被測定流体から検出されたパ
ーティクル数を示す。
・温度曲線であり、第３図は昇温過程及び降温過程にお
いて、上記せる全く同一の被測定流体から検出されたパ
ーティクル数を示す。
上記の実験結果から、被測定流体の温度が変化すれば、
パーティクル数の測定値が変化するだけでなく、同じ温
度であっても、その温度に到達するまでの温度の履歴が
異なれば、異なった測定値を示すことが確認された。
パーティクル数の測定値が変化するだけでなく、同じ温
度であっても、その温度に到達するまでの温度の履歴が
異なれば、異なった測定値を示すことが確認された。
このことは、従来技術に係る流体中に含まれるパーティ
クル検出装置をもって測定した被測定流体中のパーティ
クル数の測定値が、測定後に施される温度補正のみをも
ってしては、正しい値に換算されないことを示している
。
クル検出装置をもって測定した被測定流体中のパーティ
クル数の測定値が、測定後に施される温度補正のみをも
ってしては、正しい値に換算されないことを示している
。
本発明の目的は、この欠点を解消することにあり、被測
定流体の温度がどのように変化しても、正しいパーティ
クル数を測定できるよう改良した、流体中に含まれるパ
ーティクル検出装置を提供することにある。
定流体の温度がどのように変化しても、正しいパーティ
クル数を測定できるよう改良した、流体中に含まれるパ
ーティクル検出装置を提供することにある。
上記の目的は、レーザ発生装置（２）と、該レーザ発生
装置（２）の発生するレーザ光が透過して入射するレー
ザ光入射窓（６ａ）と射出するレーザ光射出窓（６ｂ）
とを有し、被測定流体を供給されるセンサーセル（１）
と、該センサーセル（１）のレーザ光射出窓（６ｂ）を
透過して射出されたレーザ光を、被測定流体中に含まれ
るパーティクルにより散乱された散乱レーザ光と、散乱
されなかった非散乱光とに分離する手段（７）と、前記
散乱レーザ光を検出する散乱光検出手段（３）と、前記
非散乱レーザ光を検出する非散乱光検出手段（４）と、
前記散乱光検出手段（３）の検出値と前記非散乱光検出
手段（４）の検出値とを入力され、被測定流体中のパー
ティクル数を夏山するパーティクル数算出手段（９）と
を具備している、流体中に含まれるパーティクル検出装
置において、前記センサーセル（１）には温度検出手段
（１０ａ）が設けられ、前記パーティクル検出装置には
、該温度検出手段（１０ａ）の検出する前記センサーセ
ル（１）の温度に追従して、前記被測定流体の温度を制
御する流体温度制御手段（１０）が設けられることによ
って達成される。
装置（２）の発生するレーザ光が透過して入射するレー
ザ光入射窓（６ａ）と射出するレーザ光射出窓（６ｂ）
とを有し、被測定流体を供給されるセンサーセル（１）
と、該センサーセル（１）のレーザ光射出窓（６ｂ）を
透過して射出されたレーザ光を、被測定流体中に含まれ
るパーティクルにより散乱された散乱レーザ光と、散乱
されなかった非散乱光とに分離する手段（７）と、前記
散乱レーザ光を検出する散乱光検出手段（３）と、前記
非散乱レーザ光を検出する非散乱光検出手段（４）と、
前記散乱光検出手段（３）の検出値と前記非散乱光検出
手段（４）の検出値とを入力され、被測定流体中のパー
ティクル数を夏山するパーティクル数算出手段（９）と
を具備している、流体中に含まれるパーティクル検出装
置において、前記センサーセル（１）には温度検出手段
（１０ａ）が設けられ、前記パーティクル検出装置には
、該温度検出手段（１０ａ）の検出する前記センサーセ
ル（１）の温度に追従して、前記被測定流体の温度を制
御する流体温度制御手段（１０）が設けられることによ
って達成される。
なお、センサーセル（１）のレーザ光射出窓（６ｂ）を
透過して外部に射出されたレーザ光を、被測定流体中に
含まれるパーティクルにより散乱された散乱光と、散乱
されなかった非散乱光とに分離する手段（７）は、中央
（非散乱光の光軸に対応する領域）に開口（７ａ）を有
し、非散乱光の光軸に傾斜して配設される平面鏡（７）
または凸面鏡（７）等をもって実現することができる。
透過して外部に射出されたレーザ光を、被測定流体中に
含まれるパーティクルにより散乱された散乱光と、散乱
されなかった非散乱光とに分離する手段（７）は、中央
（非散乱光の光軸に対応する領域）に開口（７ａ）を有
し、非散乱光の光軸に傾斜して配設される平面鏡（７）
または凸面鏡（７）等をもって実現することができる。
〔１乍用〕
本発明に係る、流体中に含まれるパーティクル検出装置
においては、センサーセル１に温度検出手段１０ａを設
け、一方、被測定流体の供給配管５に流体温度制御装置
１０を設け、この流体温度制御装置１０を、温度検出手
段１０ａの検出する温度に追従して制御し、センサーセ
ル１に流入する被測定流体の温度をセンサーセル１の温
度と同一にするように制御するので、流体中に含まれる
パーティクル検出装置に供給される被測定流体の温度は
、常に、流体中に含まれるパーティクル検出装置のセン
サーセルの温度（実質的には室温）と同一になり、正し
いパーティクル数を測定することができる。
においては、センサーセル１に温度検出手段１０ａを設
け、一方、被測定流体の供給配管５に流体温度制御装置
１０を設け、この流体温度制御装置１０を、温度検出手
段１０ａの検出する温度に追従して制御し、センサーセ
ル１に流入する被測定流体の温度をセンサーセル１の温
度と同一にするように制御するので、流体中に含まれる
パーティクル検出装置に供給される被測定流体の温度は
、常に、流体中に含まれるパーティクル検出装置のセン
サーセルの温度（実質的には室温）と同一になり、正し
いパーティクル数を測定することができる。
以下、図面を参照しつ＼、本発明の一実施例に係る流体
中に含まれるパーティクル検出装置について説明する。
中に含まれるパーティクル検出装置について説明する。
第１図参照
ｌはセンサーセルであり、被測定流体が供給される配管
５が接続され、レーザ発生装置２において発生されたレ
ーザ光を透過するサファイア、ガラス等の耐蝕性があり
、しかも、レーザ透光性の良い材料からなるレーザ光入
射窓６ａと、同様に、レーザ光を透過するサファイア、
ガラス等の耐蝕性があり、しかも、レーザ透光性の良い
材料からなるレーザ光射出窓６ｂとををする。
５が接続され、レーザ発生装置２において発生されたレ
ーザ光を透過するサファイア、ガラス等の耐蝕性があり
、しかも、レーザ透光性の良い材料からなるレーザ光入
射窓６ａと、同様に、レーザ光を透過するサファイア、
ガラス等の耐蝕性があり、しかも、レーザ透光性の良い
材料からなるレーザ光射出窓６ｂとををする。
７は被測定流体中に含まれるパーティクルによって散乱
されて光軸が入射光の光軸からずれたレーザ光（散乱レ
ーザ光）と、被測定流体中に含まれるパーティクルによ
って散乱されず光軸が入射光の光軸からずれなかったレ
ーザ光（非散乱光）とを分離する機能を有する手段であ
り、本例においては、非散乱光の光軸に対応する領域に
開ロアａを有し、非散乱光の光軸に傾斜して配置された
平面ａ７をもって構成されている。散乱レーザ光は平面
鏡７によって反射して光路を変更するが、非散乱レーザ
光は開ロアａを通過して光路を変更することなく直進す
る。
されて光軸が入射光の光軸からずれたレーザ光（散乱レ
ーザ光）と、被測定流体中に含まれるパーティクルによ
って散乱されず光軸が入射光の光軸からずれなかったレ
ーザ光（非散乱光）とを分離する機能を有する手段であ
り、本例においては、非散乱光の光軸に対応する領域に
開ロアａを有し、非散乱光の光軸に傾斜して配置された
平面ａ７をもって構成されている。散乱レーザ光は平面
鏡７によって反射して光路を変更するが、非散乱レーザ
光は開ロアａを通過して光路を変更することなく直進す
る。
３は散乱レーザ光検出手段であり、センサーセル１内に
おいてパーティクルによって散乱し、平面鏡７の表面で
反射して光路を変更した散乱レーザ光を集光レンズ８を
介して集光して、その強度を検出する。
おいてパーティクルによって散乱し、平面鏡７の表面で
反射して光路を変更した散乱レーザ光を集光レンズ８を
介して集光して、その強度を検出する。
４は非散乱レーザ光検出手段であり、センサーセル１内
においてパーティクルによって散乱しなかった非散乱レ
ーザ光を平面鏡７の中央部にある開ロアａを通して受光
しその強度を検出する。
においてパーティクルによって散乱しなかった非散乱レ
ーザ光を平面鏡７の中央部にある開ロアａを通して受光
しその強度を検出する。
９はパーティクル数算出手段であり、散乱レーザ光検出
手段３による検出値と非散乱レーザ光検出手段４による
検出値とを比較し、被測定流体中に含まれるパーティク
ル数を算出する。
手段３による検出値と非散乱レーザ光検出手段４による
検出値とを比較し、被測定流体中に含まれるパーティク
ル数を算出する。
１０ａが本発明の要旨に係る温度検出手段であり、セン
サーセル１の温度を検出する。この温度検出手段１０ａ
の検出値は四季を通じて多少変化するが、お−むね室温
であり、常時恒温に近い。
サーセル１の温度を検出する。この温度検出手段１０ａ
の検出値は四季を通じて多少変化するが、お−むね室温
であり、常時恒温に近い。
１０ｂは被測定流体の温度を検出する被測定流体温度検
出器であり、本発明の要旨に係る温度検出手段１０ａの
検出値とともに調節器１０ｃに入力される。
出器であり、本発明の要旨に係る温度検出手段１０ａの
検出値とともに調節器１０ｃに入力される。
調節器１０ｃは、被測定流体の温度をセンサーセル１の
温度に一致させるように動作する０本例においては、加
熱及び／または冷却媒体を供給する配管１０ｄに設けら
れた制御弁１０ｅを制御する。その結果、熱交換器１０
ｆにおける熱交換量は制御され、センサーセル１に供給
される被測定流体の温度はセンサーセル１の温度と等し
くされる。したがって、流体中に含まれるパーティクル
検出装置をもって検出されるパーティクルの数の精度は
顕著に向上する。なお、本実施例においては、散乱光と
非散乱光とを分離する手段７として、中央（非散乱光の
光軸に対応する領域）に開ロアａを有し、非散乱光の光
軸に傾斜して設けられる平面鏡７を使用しているが、こ
れは１例であって、本発明を限定するものではない、上
記の他、中央（非散乱光の光軸に対応する領域）に開口
（図示せず）を有し、非散乱光の光軸に傾斜して設けら
れる凹面鏡（図示せず）を使用することもできる。
温度に一致させるように動作する０本例においては、加
熱及び／または冷却媒体を供給する配管１０ｄに設けら
れた制御弁１０ｅを制御する。その結果、熱交換器１０
ｆにおける熱交換量は制御され、センサーセル１に供給
される被測定流体の温度はセンサーセル１の温度と等し
くされる。したがって、流体中に含まれるパーティクル
検出装置をもって検出されるパーティクルの数の精度は
顕著に向上する。なお、本実施例においては、散乱光と
非散乱光とを分離する手段７として、中央（非散乱光の
光軸に対応する領域）に開ロアａを有し、非散乱光の光
軸に傾斜して設けられる平面鏡７を使用しているが、こ
れは１例であって、本発明を限定するものではない、上
記の他、中央（非散乱光の光軸に対応する領域）に開口
（図示せず）を有し、非散乱光の光軸に傾斜して設けら
れる凹面鏡（図示せず）を使用することもできる。
この場合には、集光レンズ８は不要となる。
以上説明せるとおり、本発明に係る、流体中に含まれる
バーティク、ル検出装置においては、センサーセルに供
給される被測定流体の温度が被測定流体供給前のセンサ
ーセルの温度と等しくなるよう制御されるので、原始的
には高温であった被測定流体が供給されても、センサー
セルに到着するときは被測定流体供給前のセンサーセル
の温度と等しくなり、センサーセル内温度は、被測定流
体供給前も、供給後も（測定期間中も）、変化しないの
で、流体中に含まれるパーティクル検出装置をもって検
出されるパーティクルの数の精度は顕著に向上する。
バーティク、ル検出装置においては、センサーセルに供
給される被測定流体の温度が被測定流体供給前のセンサ
ーセルの温度と等しくなるよう制御されるので、原始的
には高温であった被測定流体が供給されても、センサー
セルに到着するときは被測定流体供給前のセンサーセル
の温度と等しくなり、センサーセル内温度は、被測定流
体供給前も、供給後も（測定期間中も）、変化しないの
で、流体中に含まれるパーティクル検出装置をもって検
出されるパーティクルの数の精度は顕著に向上する。
第１図は、本発明の一実施例に係る流体中に含まれるパ
ーティクル検出装置の構成図である。 第２図は、従来技術に係る流体中に含まれるパーティク
ル検出装置の欠点を確認するためになした試験における
、被測定流体の時間に対する温度変化を示す曲線である
。 第３図は、従来技術に係る流体中に含まれるパーティク
ル検出装置の欠点をｔ＊ｉ！するためになした試験の結
果を示すグラフであり、被測定流体が第２図に示す温度
変化をした場合のパーティクル数測定値である。 第４図は、従来技術に係る流体中に含まれるパーティク
ル検出装置の構成図である。 １・・・センサーセル、 ２・・・レーザ発生装置、 ３・・・散乱レーザ光検出手段、 ４・・・非散乱レーザ光検出手段、 ５・・・被測定流体供給配管、 ６ａ・・・レーザ入射窓、 ６ｂ・・・レーザ射出窓、 ７・・・散乱光と非散乱光とを分離する手段（鏡）７ａ
・・・鏡７に非散乱光の光軸に対応して設けられた開口
、 ８・・・集光レンズ、 ９・・・パーティクル数算出手段、 １０ａ・・・センサーセルの温度検出器、１０ｂ・・・
被測定流体の温度検出器、１０ｃ・・・調節器、 １０ｄ・・・冷却及び／または加熱媒体供給配管、１０
ｅ・・・制御弁、 １０ｆ・・・熱交換器。
ーティクル検出装置の構成図である。 第２図は、従来技術に係る流体中に含まれるパーティク
ル検出装置の欠点を確認するためになした試験における
、被測定流体の時間に対する温度変化を示す曲線である
。 第３図は、従来技術に係る流体中に含まれるパーティク
ル検出装置の欠点をｔ＊ｉ！するためになした試験の結
果を示すグラフであり、被測定流体が第２図に示す温度
変化をした場合のパーティクル数測定値である。 第４図は、従来技術に係る流体中に含まれるパーティク
ル検出装置の構成図である。 １・・・センサーセル、 ２・・・レーザ発生装置、 ３・・・散乱レーザ光検出手段、 ４・・・非散乱レーザ光検出手段、 ５・・・被測定流体供給配管、 ６ａ・・・レーザ入射窓、 ６ｂ・・・レーザ射出窓、 ７・・・散乱光と非散乱光とを分離する手段（鏡）７ａ
・・・鏡７に非散乱光の光軸に対応して設けられた開口
、 ８・・・集光レンズ、 ９・・・パーティクル数算出手段、 １０ａ・・・センサーセルの温度検出器、１０ｂ・・・
被測定流体の温度検出器、１０ｃ・・・調節器、 １０ｄ・・・冷却及び／または加熱媒体供給配管、１０
ｅ・・・制御弁、 １０ｆ・・・熱交換器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ［１］レーザ発生装置（２）と、 該レーザ発生装置（２）の発生するレーザ光が透過して
入射するレーザ光入射窓（６ａ）と射出するレーザ光射
出窓（６ｂ）とを有し、被測定流体を供給されるセンサ
ーセル（１）と、 該センサーセル（１）のレーザ光射出窓（６ｂ）を透過
して射出されたレーザ光を、被測定流体中に含まれるパ
ーティクルにより散乱された散乱レーザ光と、散乱され
なかった非散乱光とに分離する手段（７）と、 前記散乱レーザ光を検出する散乱光検出手段（３）と、 前記非散乱レーザ光を検出する非散乱光検出手段（４）
と、 前記散乱光検出手段（３）の検出値と前記非散乱光検出
手段（４）の検出値とを入力され、被測定流体中のパー
ティクル数を算出するパーティクル数算出手段（９）と を具備してなる、流体中に含まれるパーティクル検出装
置において、 前記センサーセル（１）には、温度検出手段（１０ａ）
が設けられ、 前記パーティクル検出装置には、該温度検出手段（１０
ａ）の検出する前記センサーセル（１）の温度に追従し
て、前記被測定流体の温度を制御する流体温度制御手段
（１０）が具備されてなることを特徴とする、流体中に
含まれるパーティクル検出装置。 ［２］前記散乱光と前記非散乱光とを分離する手段（７
）は、前記レーザ光射出窓（６ｂ）を透過した前記非散
乱光の光軸上に設けられ、前記非散乱光の光軸に対応す
る領域に開口（７ａ）を有し、前記散乱光の光軸に対し
傾斜をもって配設されてなる平面鏡（７）と、該平面鏡
（７）によって反射された前記散乱光を集束する光学系
（８）とよりなることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の流体中に含まれるパーティクル検出装置。 ［３］前記散乱光と前記非散乱光とを分離する手段（７
）は、前記レーザ光射出窓（６ｂ）を透過した前記非散
乱光の光軸上に設けられ、前記非散乱光の光軸に対応す
る領域に開口（７ａ）を有し、前記散乱光の光軸に対し
傾斜して配設されてなる凹面鏡（７）よりなり、前記散
乱光検出手段（３）は前記凹面鏡（７）の焦点の位置に
配設されてなることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の流体中に含まれるパーティクル検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62320098A JP2592273B2 (ja) | 1987-12-19 | 1987-12-19 | 流体中に含まれるパーティクル検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62320098A JP2592273B2 (ja) | 1987-12-19 | 1987-12-19 | 流体中に含まれるパーティクル検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01162130A true JPH01162130A (ja) | 1989-06-26 |
| JP2592273B2 JP2592273B2 (ja) | 1997-03-19 |
Family
ID=18117692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62320098A Expired - Fee Related JP2592273B2 (ja) | 1987-12-19 | 1987-12-19 | 流体中に含まれるパーティクル検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2592273B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000131233A (ja) * | 1998-10-28 | 2000-05-12 | Dade Behring Marburg Gmbh | 光学式インプロセス制御による比濁分析検出ユニット |
| JP2009276265A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Yokogawa Electric Corp | 透過散乱形濁度計 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57182167A (en) * | 1981-05-02 | 1982-11-09 | Toa Medical Electronics Co Ltd | Blood analyzer |
| JPS57182168U (ja) * | 1981-05-12 | 1982-11-18 | ||
| JPS6042640A (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-06 | Toshiba Corp | 粒径測定装置 |
| JPS61181939A (ja) * | 1985-02-06 | 1986-08-14 | Mitsubishi Electric Corp | 液中微粒子計測システム |
-
1987
- 1987-12-19 JP JP62320098A patent/JP2592273B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57182167A (en) * | 1981-05-02 | 1982-11-09 | Toa Medical Electronics Co Ltd | Blood analyzer |
| JPS57182168U (ja) * | 1981-05-12 | 1982-11-18 | ||
| JPS6042640A (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-06 | Toshiba Corp | 粒径測定装置 |
| JPS61181939A (ja) * | 1985-02-06 | 1986-08-14 | Mitsubishi Electric Corp | 液中微粒子計測システム |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000131233A (ja) * | 1998-10-28 | 2000-05-12 | Dade Behring Marburg Gmbh | 光学式インプロセス制御による比濁分析検出ユニット |
| JP2009276265A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Yokogawa Electric Corp | 透過散乱形濁度計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2592273B2 (ja) | 1997-03-19 |
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