JPH01162244U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01162244U JPH01162244U JP1988055508U JP5550888U JPH01162244U JP H01162244 U JPH01162244 U JP H01162244U JP 1988055508 U JP1988055508 U JP 1988055508U JP 5550888 U JP5550888 U JP 5550888U JP H01162244 U JPH01162244 U JP H01162244U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- cutting body
- semiconductor
- cutting
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例の半導体製造装置
の正面図、第2図はその動作説明用の側面図、第
3図は切削加工によつて得られた半導体ペレツト
の断面図、第4図は上記半導体ペレツトを用いて
組み立てたDHD型ダイオードの断面図、第5図
は同じくリードレス型ダイオードの断面図である
。第6図は従来のDHD型ダイオードの断面図、
第7図はその半導体ペレツトの断面図である。 13……水平動作台、14……昇降台、15…
…半導体ウエーハ、16……切削体。
の正面図、第2図はその動作説明用の側面図、第
3図は切削加工によつて得られた半導体ペレツト
の断面図、第4図は上記半導体ペレツトを用いて
組み立てたDHD型ダイオードの断面図、第5図
は同じくリードレス型ダイオードの断面図である
。第6図は従来のDHD型ダイオードの断面図、
第7図はその半導体ペレツトの断面図である。 13……水平動作台、14……昇降台、15…
…半導体ウエーハ、16……切削体。
Claims (1)
- バンプ電極が形成された半導体ウエーハを載置
固定する台の上方に、周囲に切削刃を備えた切削
体を配置し、前記半導体ウエーハと切削体とを相
対的に水平方向および上下方向に移動可能に構成
してなる半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988055508U JPH01162244U (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988055508U JPH01162244U (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01162244U true JPH01162244U (ja) | 1989-11-10 |
Family
ID=31281410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988055508U Pending JPH01162244U (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01162244U (ja) |
-
1988
- 1988-04-25 JP JP1988055508U patent/JPH01162244U/ja active Pending
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