JPH01162589U - - Google Patents

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JPH01162589U
JPH01162589U JP5687688U JP5687688U JPH01162589U JP H01162589 U JPH01162589 U JP H01162589U JP 5687688 U JP5687688 U JP 5687688U JP 5687688 U JP5687688 U JP 5687688U JP H01162589 U JPH01162589 U JP H01162589U
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slats
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案を具体化したスライドチルタ
ーの正面図、第２図は同じく側面図、第３図はこ
の考案に関するた込みシヤツターの正面図、第４
図はガイドレール内を示す横断面図、第５図はス
ラツトをたたみ込んだ状態のリンク機構を示す概
略図、第６図はスラツトを下降させた状態のリン
ク機構を示す概略図、第７図はチルターガイドを
移動させた状態を示す概略図、第８図及び第９図
はこの考案に関する従来例を示す概略図である。 ガイドレール…２、スラツト…５、リンク機構
…６、スライドチルター…１１、チルトアーム…
１２、チルターガイド…１３、コイルスプリング
（付勢手段）…１５、係合軸…１６、案内溝…１
７、作動部…１９、第一のガイドローラ…２１。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ スラツトの両側に位置するガイドレール内に
    リンク機構を内装し、上下に多数段のスラツトを
    そのリンク機構にそれぞれ回転可能に支持し、モ
    ータの駆動力でガイドレール内を昇降されるスラ
    イドチルターをリンク機構の下端に連結し、その
    スライドチルターの昇降に基いてリンク機構を伸
    縮してスラツトを昇降し、ガイドレール内におい
    て各スラツトにチルトアームを介してチルターガ
    イドを連結し、スラツトを下降させた状態で同ス
    ライドチルターの昇降に基いてチルターガイドを
    移動させてスラツトを回動するたたみ込みシヤツ
    ターにおいて、チルターガイド１３の下端に係合
    軸１６を突出するとともに、スライドチルター１
    １にはその係合軸１６を案内してチルターガイド
    を移動させる案内溝１７を設けたことを特徴とす
    るたたみ込みシヤツターのスラツト回動装置。 ２ 案内溝１７は下方へ開口して上方へ垂直に延
    びる導入部１８とその導入部１８に連続して斜め
    上方へ延びる作動部１９を備えた実用新案登録請
    求の範囲第１項に記載のたたみ込みシヤツターの
    スラツト回動装置。 ３ スライドチルター１１はスラツト昇降時にチ
    ルターガイド１３に沿つて転動する第一のガイド
    ローラ２１を備えた実用新案登録請求の範囲第１
    項に記載のたたみ込みシヤツターのスラツト回動
    装置。
JP5687688U 1988-04-27 1988-04-27 たたみ込みシャッターのスラット回動装置 Expired - Lifetime JPH075197Y2 (ja)

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JPH01162589U true JPH01162589U (ja) 1989-11-13
JPH075197Y2 JPH075197Y2 (ja) 1995-02-08

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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US5345170A (en) 1992-06-11 1994-09-06 Cascade Microtech, Inc. Wafer probe station having integrated guarding, Kelvin connection and shielding systems
US5561377A (en) 1995-04-14 1996-10-01 Cascade Microtech, Inc. System for evaluating probing networks
US6002263A (en) 1997-06-06 1999-12-14 Cascade Microtech, Inc. Probe station having inner and outer shielding
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US6965226B2 (en) 2000-09-05 2005-11-15 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
EP1432546A4 (en) 2001-08-31 2006-06-07 Cascade Microtech Inc OPTICAL TESTING APPARATUS
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US7250779B2 (en) 2002-11-25 2007-07-31 Cascade Microtech, Inc. Probe station with low inductance path
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US7250626B2 (en) 2003-10-22 2007-07-31 Cascade Microtech, Inc. Probe testing structure
US7187188B2 (en) 2003-12-24 2007-03-06 Cascade Microtech, Inc. Chuck with integrated wafer support
DE202005021434U1 (de) 2004-06-07 2008-03-20 Cascade Microtech, Inc., Beaverton Thermooptische Einspannvorrichtung
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US7535247B2 (en) 2005-01-31 2009-05-19 Cascade Microtech, Inc. Interface for testing semiconductors

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Publication number Publication date
JPH075197Y2 (ja) 1995-02-08

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