JPH01162760A

JPH01162760A - 真空蒸着容器

Info

Publication number: JPH01162760A
Application number: JP31888787A
Authority: JP
Inventors: Hiroyoshi Sadamura; 定村　弘祥
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1987-12-18
Filing date: 1987-12-18
Publication date: 1989-06-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、真空容器構造に係り、特に、電子線加熱式蒸
発源で蒸発を行う真空容器構造に関する。

〔従来の技術〕

電子線ビームにより真空蒸着を行う場合、電子線ビーム
を蒸発材に正しく照射するため、電子線ビームのスポッ
ト径、あるいは、スポット径の中心が蒸発材の中心に位
置し、ビーム照射されているかどうか、電子線の照射位
置を制御し蒸着を行う。このため、電子線ビームの蒸発
材への照射状態、及び、蒸発材の溶融状態をｍ１ｌｌ察
する必要がある。一般には、真空容器の一部に、のぞき
窓が設けられている。しかし、のぞき窓自身に蒸着が行
われるため蒸着材の観察が困難になる等の間屈がある。

特開昭６１−２０７５７１号公報によれば、蒸着粒子の
飛散防止について記載されているが、蒸発時における蒸
発材の観察についての考慮がされていなかった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来、蒸発材の溶融状態は、のぞき窓から５？３を行っ
ていた。しかし、のぞき窓自身に烹着が行われ、のぞき
窓からの蒸発材の直接ｂ’ｆｔ　ｔ４が田辺になる等の
問題があった。一方、筒状の飛散防止器を配設し、真空
容器内壁への蒸若物の付着を防止したものもある。しか
し、電子線ビームで蒸着を行う場合、電子線ビームのス
ポット径や、スポットの位置を二次元走査するため、蒸
発材を溶融する際、電子線ビームの照射状態および蒸発
材の溶融状態を１１察する必要がある。従来技術は、こ
の点について考慮されていなかった。

本発明の目的は、蒸発材を溶融する際、のぞき窓を蒸発
物の付着で汚す事なく、かつ、容易に蒸発材の溶融状態
、及び、電子線ビームの照射状態をａ察することができ
る真空容器構造を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、真空容器内部に、蒸発材に相対向して複数
板の反射ガラス板を配置する事により達成される。

〔作用〕

真空容器内部に蒸発材に相対向して二段に配置された二
枚の反射ガラス板は次のような働きをする。まず、蒸発
材は電子線ビームにより加熱されて赤熱する。この発熱
光により蒸発材は、まず、上段の反射ガラス板に反射し
、次いで、下段のガラス板に反射する。そして、下段の
ガラスとほぼ水平に位置したのぞき窓から下段のガラス
板に反射されている蒸発材を観察する事が容易となる。

のぞき窓は、上段、下段の二枚の反射ガラス板が、のぞ
き窓への蒸発飛散防止板になるので、のぞき窓が汚れる
等の問題はない。さらに、反射ガラス板に蒸着物が付着
しても容易に蒸発材を反射するので何ら問題はない。な
お、反射ガラス板への反射は、蒸発に伴う蒸発材の発熱
光を利用して１１察出来るのでｌＢ！察に対する光量の
問題もない。

〔実施例〕

本発明の一実施例を第１図により説明する。

真空容器３の中には、電子線加熱式蒸発源が配置され、
フィラメント１からの電子線２を偏光してハース８の中
に配置された蒸発材７に照射し、蒸発材の溶融を行う。

この時、蒸発材７が適正な溶融状態を作るため、電子線
ビームのスポット径と偏光位置が蒸発材７の中心になる
ように調整しながら蒸発材７の溶融を行う。従って、溶
融する時、電子線ビームの位置が蒸発材７に正しく照射
されているかどうか、真空容器３の外部から観察する必
要がある。のぞき窓４から直接観察は可能であるがのぞ
き窓４に蒸着が行われ、光の透過が徐々に減少するため
、ついには観察が田辺になる等の問題があった。

本発明は、のぞき窓４の内側に反射ガラス板５および６
を蒸発材７に相対向した位置、及び、角度で配置する。

そして、反射ガラス板５、および、６の反射により、の
ぞき窓４が蒸着されることなく真空容器３の外部から容
易に蒸発材７の溶融状態と電子線ビームの照射状態を観
察することができる。

即ち、第２図に示すように、蒸発材７は、反射ガラス板
５の下面に反射し、さらに、反射ガラス板６の上面に反
射され、この反射ガラス板６の上面に写った像を、のぞ
き窓４から観察する。反射ガラス板６の下面とガラス押
え板９′は、のぞき窓４への蒸着を防止する飛散防止板
を兼ねる配置になっているので、のぞき窓４が蒸着され
光の透過が減少するようなことはない。また、ガラス押
え板９は開口部を設けであるので、のぞき窓４からは、
反射ガラス板５の上面に写った像を容易に観察すること
ができる。反射ガラス板６の下面に蒸着が行われても、
反射像を得るのに何ら問題はない。さらに、反射像を得
る光源は、蒸発材７の溶融時の発熱光を利用するため、
観察上の支障はまったくない。

〔発明の効果〕

本発明によれば、のぞき窓への蒸着を防止することがで
き、かつ、真空容器外部から蒸発材の溶融時のａｍが可
能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の真空容器内部の要部断面図
、第２図は本発明の要部であるのぞき窓、反射ガラス板
の配置と反射像の経路を示す説明図である。１・・・フィラメント、２・・・電子線、３・・・真空
容器。４・・・のぞき窓、５・・・反射ガラス板、６・・・反
射ガラス板、７・・・蒸発材、８・・・ハース、９・・
・反射ガラス押え板、９′・・・反射ガラス押え板兼然
発飛敗防止板。

Claims

【特許請求の範囲】１、真空容器内に設置される蒸発材と、電子ビームによ
つて前記蒸発材を蒸着する真空蒸着容器において、前記真空容器の内部に、蒸発源に相対向して、複数板の
反射ガラス板を配置させたことを特徴とする真空蒸着容
器。