JPH01164055U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01164055U JPH01164055U JP5868888U JP5868888U JPH01164055U JP H01164055 U JPH01164055 U JP H01164055U JP 5868888 U JP5868888 U JP 5868888U JP 5868888 U JP5868888 U JP 5868888U JP H01164055 U JPH01164055 U JP H01164055U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polished
- polishing
- polishing tape
- reciprocating motion
- direction different
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 8
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 2
Description
図面は本考案にかかる研磨装置の一実施例を示
し、第１図は概略正面図、第２図は概略側面図、
第３図は基台と保持体と搬送装置及び圧接装置を
省略して示す拡大平面図、第４図は要部を拡大し
て示す正面図、第５図は要部の拡大断面図、第６
図は第３図―線拡大断面図、第７図は第３図
―線拡大断面図である。 １……基台、２……保持体、３……搬送装置、
４……圧接装置、５……第１駆動装置、６……第
２駆動装置、Ｔ……研磨テープ。
し、第１図は概略正面図、第２図は概略側面図、
第３図は基台と保持体と搬送装置及び圧接装置を
省略して示す拡大平面図、第４図は要部を拡大し
て示す正面図、第５図は要部の拡大断面図、第６
図は第３図―線拡大断面図、第７図は第３図
―線拡大断面図である。 １……基台、２……保持体、３……搬送装置、
４……圧接装置、５……第１駆動装置、６……第
２駆動装置、Ｔ……研磨テープ。
Claims (1)
- 基台１に被研磨材の保持体２と、搬送装置３を
介して連続的に送られる研磨テープＴを前記被研
磨材に圧接させる圧接装置４とを設ける一方、前
記保持体２と圧接装置４の一方を、前記研磨テー
プＴの走行方向と異なる方向に往復動させて、該
往復動により前記研磨テープＴを介して前記被研
磨材を研磨させる第１駆動装置５と、該第１駆動
装置５とは異なる方向に往復動させて、該往復動
により前記研磨テープＴを介して前記被研磨材を
研磨させる第２駆動装置６とを設けたことを特徴
とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5868888U JPH01164055U (ja) | 1988-04-30 | 1988-04-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5868888U JPH01164055U (ja) | 1988-04-30 | 1988-04-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01164055U true JPH01164055U (ja) | 1989-11-15 |
Family
ID=31284487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5868888U Pending JPH01164055U (ja) | 1988-04-30 | 1988-04-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01164055U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63200958A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-19 | Sanshin Shoko:Kk | ラツピング装置 |
-
1988
- 1988-04-30 JP JP5868888U patent/JPH01164055U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63200958A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-19 | Sanshin Shoko:Kk | ラツピング装置 |