JPH01165631U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01165631U JPH01165631U JP6120488U JP6120488U JPH01165631U JP H01165631 U JPH01165631 U JP H01165631U JP 6120488 U JP6120488 U JP 6120488U JP 6120488 U JP6120488 U JP 6120488U JP H01165631 U JPH01165631 U JP H01165631U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning
- chip
- positions
- piezoelectric element
- positioning member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第１図はこの発明の一実施例を示す平面図、第
２図はこの発明の他の実施例を示す平面図、第３
図はこの発明の他の実施例を示す正面図、第４図
は従来装置の平面図である。 図において、１はチツプ、２，３ａ，４，５ａ
は爪、６，８はブロツク、７，７ａ，９，９ａは
圧電素子、１０，１１，１２，１３はエアーシリ
ンダーである。なお各図中同一符号は同一または
相当部分を示す。
２図はこの発明の他の実施例を示す平面図、第３
図はこの発明の他の実施例を示す正面図、第４図
は従来装置の平面図である。 図において、１はチツプ、２，３ａ，４，５ａ
は爪、６，８はブロツク、７，７ａ，９，９ａは
圧電素子、１０，１１，１２，１３はエアーシリ
ンダーである。なお各図中同一符号は同一または
相当部分を示す。
Claims (1)
- チツプを位置決めするチツプ位置決め装置にお
いて、上記チツプの第１面を位置きめすると共に
その位置決め面に第１の圧電素子が設けられた第
１の位置決め部材、上記チツプの上記第１面に隣
り合う第２面を位置決めすると共にその位置決め
面に第２の圧電素子が設けられた第２の位置決め
部材、上記第１の位置決め部材に向つて上記チツ
プを押す第１の押圧片、及び上記第２の位置決め
部材に向つて上記チツプを押す第２の押圧片を備
えたチツプ位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6120488U JPH01165631U (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6120488U JPH01165631U (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01165631U true JPH01165631U (ja) | 1989-11-20 |
Family
ID=31286880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6120488U Pending JPH01165631U (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01165631U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009517233A (ja) * | 2005-11-30 | 2009-04-30 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 機械要素ないし加工物の振動低下方法 |
| JP2017204569A (ja) * | 2016-05-11 | 2017-11-16 | 三益半導体工業株式会社 | 回転テーブル用ウェーハ保持機構及び方法並びにウェーハ回転保持装置 |
-
1988
- 1988-05-10 JP JP6120488U patent/JPH01165631U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009517233A (ja) * | 2005-11-30 | 2009-04-30 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 機械要素ないし加工物の振動低下方法 |
| JP2017204569A (ja) * | 2016-05-11 | 2017-11-16 | 三益半導体工業株式会社 | 回転テーブル用ウェーハ保持機構及び方法並びにウェーハ回転保持装置 |