JPH01166000A - 電子線照射装置のビームシャッタ - Google Patents
電子線照射装置のビームシャッタInfo
- Publication number
- JPH01166000A JPH01166000A JP32614087A JP32614087A JPH01166000A JP H01166000 A JPH01166000 A JP H01166000A JP 32614087 A JP32614087 A JP 32614087A JP 32614087 A JP32614087 A JP 32614087A JP H01166000 A JPH01166000 A JP H01166000A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- shutter
- foil
- irradiation window
- window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、照射窓を開閉してこの照射窓から照射され
る電子線を遮蔽する電子線照射装置のビームシャッタに
関するものである。
る電子線を遮蔽する電子線照射装置のビームシャッタに
関するものである。
電子線照射装置は、高真空中で発生させた電子を加速し
、この加速された電子を大気中に取り出して物体に照射
することによりその物体に化学反応を起こさせる装置で
ある。
、この加速された電子を大気中に取り出して物体に照射
することによりその物体に化学反応を起こさせる装置で
ある。
電子線照射装置では、例えば照射時間の制御や窓箔の保
護のためにビームシャッタが用いられる。
護のためにビームシャッタが用いられる。
すなわち、ビームシャッタを使用することにより、電子
ビームが発生した後、安定状態になるまでは遮断してお
き、安定状態になってから照射を開始することができる
。そのため照射時間の制御が容易になる。また、電子流
を出さないときやメンテナンス時に、照射窓の窓箔を覆
って保護したり、不慮のライン停止時に電子線を遮断し
、被照射物に過度の電子線が照射されるのを防止するこ
とにも利用できる。
ビームが発生した後、安定状態になるまでは遮断してお
き、安定状態になってから照射を開始することができる
。そのため照射時間の制御が容易になる。また、電子流
を出さないときやメンテナンス時に、照射窓の窓箔を覆
って保護したり、不慮のライン停止時に電子線を遮断し
、被照射物に過度の電子線が照射されるのを防止するこ
とにも利用できる。
第３図ないし第５図は従来の走査型電子線照射装置の一
例を示す。図において、５１ａは真空容器５１の走査管
部であり、走査方向に末広がりとなったテーパ状に形成
されている。走査管部５１ａは、窓箔５９を張った照射
窓６０を下面に有し、照射窓６０を開閉するビームソヤ
ンク５２が走査管部５１ａの下方に設けである。ビーム
シャッタ５２は、第４図に示すように、リンク機構５３
に取付げてあり、エアシリンダ５４の駆動により同図の
実線で示す位置と鎖線で示す位置との間に横移動する。
例を示す。図において、５１ａは真空容器５１の走査管
部であり、走査方向に末広がりとなったテーパ状に形成
されている。走査管部５１ａは、窓箔５９を張った照射
窓６０を下面に有し、照射窓６０を開閉するビームソヤ
ンク５２が走査管部５１ａの下方に設けである。ビーム
シャッタ５２は、第４図に示すように、リンク機構５３
に取付げてあり、エアシリンダ５４の駆動により同図の
実線で示す位置と鎖線で示す位置との間に横移動する。
ビームシャッタ５２は、電子線を浴びることにより発熱
するため、第５図に示すように冷却水の循環パイプ５６
を蛇行状に設けである。循環パイプ５６は、ステンレス
板からなる箱状のシャッタ本体５５内に収納しである。
するため、第５図に示すように冷却水の循環パイプ５６
を蛇行状に設けである。循環パイプ５６は、ステンレス
板からなる箱状のシャッタ本体５５内に収納しである。
循環パイプ５６の両端には給水および排水用チューブの
接続口５７゜５８が設けである。
接続口５７゜５８が設けである。
この構成によると、ビームシャッタ５２で走査管部５１
ａの照射窓６０を閉じることにより、電子ビームの遮断
が行われる。
ａの照射窓６０を閉じることにより、電子ビームの遮断
が行われる。
〔発明が解決しようとする問題点］
しかし、ビームシャッタ５２は照射窓６０側に向いた面
がステンレス板で形成されているため、大部分の電子線
が透過できず、加速電子が表面で散乱し、照射窓６０の
窓箔５９に当たる。そのため、窓箔５９が劣化するとい
う問題点がある。
がステンレス板で形成されているため、大部分の電子線
が透過できず、加速電子が表面で散乱し、照射窓６０の
窓箔５９に当たる。そのため、窓箔５９が劣化するとい
う問題点がある。
この発明の目的は、加速電子の散乱を減少できる電子線
照射装置のビームシャッタを提供することである。
照射装置のビームシャッタを提供することである。
この電子線照射装置のビームシャッタは、内部が冷却水
の循環路となるシャンク本体の照射窓側面を解放し、こ
の面を電子線の透過が可能な金属箔で覆ったものである
。
の循環路となるシャンク本体の照射窓側面を解放し、こ
の面を電子線の透過が可能な金属箔で覆ったものである
。
この発明の構成によると、電子線を受ける照射窓側面を
金属箔としたので、照射窓から照射される電子線が金属
箔を透過し、内部の冷却水によりエネルギを失う。これ
によって加速電子の散乱が減少する。
金属箔としたので、照射窓から照射される電子線が金属
箔を透過し、内部の冷却水によりエネルギを失う。これ
によって加速電子の散乱が減少する。
（実施例］
この発明の一実施例を第１図および第２図に基づいて説
明する。このビームシャッタは、上面が解放された箱状
のシャッタ本体１を設け、シャッタ本体１の上面を金属
′４２で覆ったものである。
明する。このビームシャッタは、上面が解放された箱状
のシャッタ本体１を設け、シャッタ本体１の上面を金属
′４２で覆ったものである。
シャッタ本体１の上面は照射窓に向ける面である。
シャッタ本体１内は、複数枚の平行な仕切壁３で仕切る
ことにより、全体にわたって冷却水の循環路４を蛇行状
に形成しである。循環路４の両端は、シャッタ本体１の
端面に突出した接続口５，６に連通し、これら接続口５
，６に接続したフレキシブルチューブにより冷却水の供
給手段に接続する。
ことにより、全体にわたって冷却水の循環路４を蛇行状
に形成しである。循環路４の両端は、シャッタ本体１の
端面に突出した接続口５，６に連通し、これら接続口５
，６に接続したフレキシブルチューブにより冷却水の供
給手段に接続する。
第２図に示すように、金属箔２は、シャッタ本体１の上
面周縁に設けたフランジ１ａと枠体７との間で挟むこと
により取付ける。
面周縁に設けたフランジ１ａと枠体７との間で挟むこと
により取付ける。
シャッタ本体１は、ステンレス製の板等で形成する。金
属箔２は、電子線の透過が可能な金属、例えばアルミ箔
、銅箔、チタン箔を用いることができるが、電子線の透
過性が良くかつオゾンの腐食を受けないことから、チタ
ン箔（３０μｍ以下）を用いることが望ましい。
属箔２は、電子線の透過が可能な金属、例えばアルミ箔
、銅箔、チタン箔を用いることができるが、電子線の透
過性が良くかつオゾンの腐食を受けないことから、チタ
ン箔（３０μｍ以下）を用いることが望ましい。
このビームシャッタは、例えば第４図のリンク機構５３
にビームシャッタ５２に代えて取付ける。
にビームシャッタ５２に代えて取付ける。
この構成のビームシャッタよると、電子線の照射される
面を金属箔２としたので、照射窓から照射される電子線
が金属箔２を透過し、内部の循環路３を循環する冷却水
によりエネルギを失う。これによって加速電子の散乱が
減少し、照射窓の窓箔の劣化が低減する。冷却水に吸収
された電子はアースから放出される。
面を金属箔２としたので、照射窓から照射される電子線
が金属箔２を透過し、内部の循環路３を循環する冷却水
によりエネルギを失う。これによって加速電子の散乱が
減少し、照射窓の窓箔の劣化が低減する。冷却水に吸収
された電子はアースから放出される。
散乱電子の減少は、加速電圧にもよるが、通常は次の程
度である。すなわち、従来例ではビームシャッタで受け
た電子ビームの中で５０〜６０％が散乱していたところ
が、この実施例では２０〜３０％程度に減少する。
度である。すなわち、従来例ではビームシャッタで受け
た電子ビームの中で５０〜６０％が散乱していたところ
が、この実施例では２０〜３０％程度に減少する。
なお、前記実施例では走査型の電子線照射装置に適用し
た場合について説明したが、この発明は非走査型の電子
線照射装置に適用することもできる。また、この発明の
ビームシャッタと同様な構成によりビームキャッチャ−
を製作することもできる。
た場合について説明したが、この発明は非走査型の電子
線照射装置に適用することもできる。また、この発明の
ビームシャッタと同様な構成によりビームキャッチャ−
を製作することもできる。
この発明の電子線照射装置のビームシャッタは、電子線
の照射される面を金属箔としたので、照射窓から照射さ
れる電子線が金属箔を透過し、内部の冷却水によりエネ
ルギを失う。これによって加速電子の散乱が減少し、照
射窓の劣化が緩和されるという効果がある。
の照射される面を金属箔としたので、照射窓から照射さ
れる電子線が金属箔を透過し、内部の冷却水によりエネ
ルギを失う。これによって加速電子の散乱が減少し、照
射窓の劣化が緩和されるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例の斜視図、第２図はその断
面図、第３図は従来の電子線照射装置の破断正面図、第
４図はその破断側面図、第５図は同しくそのビームシセ
ッタの斜視図である。 ■・・・シャッタ本体、２・・・金属箔、３・・・仕切
壁、４・・・循環路 ｑフ ロ９１− 第３図 第４図
面図、第３図は従来の電子線照射装置の破断正面図、第
４図はその破断側面図、第５図は同しくそのビームシセ
ッタの斜視図である。 ■・・・シャッタ本体、２・・・金属箔、３・・・仕切
壁、４・・・循環路 ｑフ ロ９１− 第３図 第４図
Claims (1)
- 電子線照射装置の電子線を取り出す照射窓を開閉可能に
覆うビームシャッタにおいて、照射窓側面が解放されて
内部が冷却水の循環路となるシャッタ本体を有し、この
シャッタ本体の前記照射窓側面を電子線の透過が可能な
金属箔で覆ったことを特徴とする電子線照射装置のビー
ムシャッタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32614087A JPH0795119B2 (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 電子線照射装置のビームシャッタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32614087A JPH0795119B2 (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 電子線照射装置のビームシャッタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01166000A true JPH01166000A (ja) | 1989-06-29 |
| JPH0795119B2 JPH0795119B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=18184498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32614087A Expired - Fee Related JPH0795119B2 (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 電子線照射装置のビームシャッタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0795119B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100727680B1 (ko) * | 2005-12-26 | 2007-06-13 | 한국원자력연구원 | 냉각 회로를 개선한 대전류 이온 빔 인출 전극 및 그 제조방법 |
| KR100762959B1 (ko) * | 2005-04-20 | 2007-10-02 | 학교법인 포항공과대학교 | 광 개폐 장치 |
| JP2012120780A (ja) * | 2010-12-10 | 2012-06-28 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 電子線殺菌装置 |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP32614087A patent/JPH0795119B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100762959B1 (ko) * | 2005-04-20 | 2007-10-02 | 학교법인 포항공과대학교 | 광 개폐 장치 |
| KR100727680B1 (ko) * | 2005-12-26 | 2007-06-13 | 한국원자력연구원 | 냉각 회로를 개선한 대전류 이온 빔 인출 전극 및 그 제조방법 |
| JP2012120780A (ja) * | 2010-12-10 | 2012-06-28 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 電子線殺菌装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0795119B2 (ja) | 1995-10-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2215149T3 (es) | Blanco para la produccion de rayos x. | |
| JPS638440B2 (ja) | ||
| ES2192601T3 (es) | Unidad de interior montada en el techo para un sistema de acondicionamiento de aire. | |
| JPH11339702A5 (ja) | ||
| US4446374A (en) | Electron beam accelerator | |
| JP4563380B2 (ja) | 電子ビーム照射の方法及び装置 | |
| JPH0795119B2 (ja) | 電子線照射装置のビームシャッタ | |
| DE2040534A1 (de) | Vorrichtung zum bestrahlen von produkten und werkstuecken in gesteuerter atmosphaere | |
| SE469305B (sv) | Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgrad | |
| US2832353A (en) | Apparatus for moistening tobacco and other products in bulk | |
| CA2089643A1 (en) | Particle accelerator transmission window configurations, cooling and materials processing | |
| JPS63292553A (ja) | Ｘ線発生装置におけるプラズマ飛散防止機構 | |
| JP3819794B2 (ja) | 水処理システム | |
| JP3717239B2 (ja) | Ｘ線発生装置 | |
| KR102506051B1 (ko) | 전자빔을 이용한 나노입자 합성장치 | |
| US1580187A (en) | Furnace-door frame | |
| JP2699910B2 (ja) | イオン注入装置における偏向電磁石装置 | |
| JPH0733199Y2 (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPS6235639B2 (ja) | ||
| JPH0540480Y2 (ja) | ||
| JPH0729800U (ja) | Ｘ線照射装置 | |
| DE3050369T1 (de) | Electron accelerator | |
| US854004A (en) | Submarine boat. | |
| DE69720983T2 (de) | Anlage zum sterilisieren von produkten durch bestrahlung | |
| DE4440536C2 (de) | Brutschrank |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |