JPH01166534A - 被処理物収納部支持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野〕 本発明はウェーハなどの被処理物を収納するウェーハカ
セットなどの被処理物収納部をロボットなどにより自動
供給する機構に関するものである。

〔従来の技術〕

従来１回転運動を含む動きによりウェーハを搬送する機
構を有する処理装置では、ウェーハカセットを処理装置
前面に対し、非平行に供給せざるを得なかった。なお、
この種の装置として関連するものには例えば雑誌日経マ
イクロデバイス１９８７年１１月号１３７ページ等が挙
げられる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記の従来技術では、ウェーハカセットはロボットで自
動供給する場合、装置の前面に対して、斜めに設置する
必要があり、前面に対して平行に設置する場合に比較し
、１動作多く必要とし、従来のロボットでは対応できな
い、又、この対応をするには高価なロボットを必要とし
た。

したがって、本発明の目的は、上記の欠点を解消するこ
との出来る機構を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的を解決するには、ウェーハカセット支持機構
に回転機構を設置することにより達成される。

〔作用〕

その動作は次のようになる。

（１）通常ロボットによりウェーハカセットを処理装置
前面に平行に供給する。

（２）シかる後に、ウェーハカセット支持機構を回転さ
せ、搬送機中心にウェーハカセットを向ける。

したがって、安価なロボットでウェーハカセットを自動
供給できるようになる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図および第２図により説
明する。

ウェーハの入ったウェーハカセット１を第１図のごとく
ロボットによりウェーハカセット支持機構２に供給する
。又、空のウェーハカセット１′をウェーハカセット支
持機構２′に供給する。３は搬送機、４，４′は処理室
、５は処理装置を示す。

その後、ウェーハカセット支持機構２を回転させ、第２
図のごとく、搬送機３の中心に向ける。

搬送機３はその中心軸のまわりに回転し、さらに上下、
前進後退運動をする機構を備えており。

ウェーハをウェーハカセット１から処理室３，３′ヘロ
ードしたり、アンロードしたりすることができる。

この時、処理室４，４′の数は本発明とはかかわりない
。

又、ウェーハカセット支持機構２，２′が上下運動をし
、搬送機３が上下運転をしないものでも良い。

〔発明の効果〕

本発明によれば、安価なロボットでウェーハカセットを
自動供給できるメリットがある。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は、本発明による装置の平面図であ
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、処理室と被処理物収納部とを同一円周上又は同心円
   周上に配置し、その中心に設置した搬送機の回転運動を
   含む動きにより被処理物を搬送する機構を備えた処理装
   置において、被処理物収納部を処理装置の前面に平行に
   供給したのち、その支持機構を回転させ、被処理物収納
   部を搬送機中心部へ向けることを特徴とした被処理物収
   納支持機構。