JPS62290616A - ウエハ搬送機構 - Google Patents
ウエハ搬送機構Info
- Publication number
- JPS62290616A JPS62290616A JP13151786A JP13151786A JPS62290616A JP S62290616 A JPS62290616 A JP S62290616A JP 13151786 A JP13151786 A JP 13151786A JP 13151786 A JP13151786 A JP 13151786A JP S62290616 A JPS62290616 A JP S62290616A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- arm
- carrier
- carriers
- chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
［発明の技術分野］
本発明は例えば半導体ウェハのブローバにウェハを搬送
することが可能なウェハ搬送機構に係り、特にベルトを
使わずピンセットアームを用いた装置に適用して可能な
ウェハ搬送機構に関する。
することが可能なウェハ搬送機構に係り、特にベルトを
使わずピンセットアームを用いた装置に適用して可能な
ウェハ搬送機構に関する。
［発明の技術的背景コ
ウェハ上に作り込まれた半導体集積回路（ＬＳＩ）の各
電気特性をテス１−するためのブローバは、ＬＳ［の生
産駄の増加と微細化によりマニュアル方式からセミオー
ト、更にフルオート方式へと発展、改良されてきた。そ
れに伴ないウェハを収納力セントから取り出しブロービ
ングエリアまで搬送、セットするウェハ搬送装置も自動
化が進んでいる。
電気特性をテス１−するためのブローバは、ＬＳ［の生
産駄の増加と微細化によりマニュアル方式からセミオー
ト、更にフルオート方式へと発展、改良されてきた。そ
れに伴ないウェハを収納力セントから取り出しブロービ
ングエリアまで搬送、セットするウェハ搬送装置も自動
化が進んでいる。
このような自動ウェハ搬送装置として、一般に第３図に
示すようなベルト＆エア搬送方式のオートローダが停及
している。すなわち、第３図においてウェハ１０１はエ
レベータ部に設置した供給カセット１０２より１枚ごと
取り出され、搬送ベルト１０３によりプリフライメント
ステージ１０４まで送られる。ここでメカニカルなコー
スアライメントが行われる。続いてベルヌーイチャック
１０５により吸着ステージに運ばれバキュームチャック
される。ブロービング終了後のウェハは再びベルヌーイ
チャック１０５によりアンロードポジション１０６まで
運ばれ搬送ベルト１０３上に置かれ、搬送ベル［・によ
り収納カセットに収納される。
示すようなベルト＆エア搬送方式のオートローダが停及
している。すなわち、第３図においてウェハ１０１はエ
レベータ部に設置した供給カセット１０２より１枚ごと
取り出され、搬送ベルト１０３によりプリフライメント
ステージ１０４まで送られる。ここでメカニカルなコー
スアライメントが行われる。続いてベルヌーイチャック
１０５により吸着ステージに運ばれバキュームチャック
される。ブロービング終了後のウェハは再びベルヌーイ
チャック１０５によりアンロードポジション１０６まで
運ばれ搬送ベルト１０３上に置かれ、搬送ベル［・によ
り収納カセットに収納される。
このような搬送ベルト１０３を用いたローダに対し、更
に無塵化を実現するものとしてカセットからブリフライ
メントステージ（サブチャック）までの搬送をベルトを
用いずピンセットアームを用いたものが開発されている
。このようなウェハ搬送機構においては、ウェハ供給カ
セットからビンセットアームでウェハを取り出し、サブ
チャック上にセットし、測定後、サブチャック上に置か
れたウェハを再びピンセットアームで保持し１元の供給
カセットのスロットへ収納するようになっており、ウェ
ハ供給部には通常複数個（３〜４）のカセットがセット
可能になっている。従って。
に無塵化を実現するものとしてカセットからブリフライ
メントステージ（サブチャック）までの搬送をベルトを
用いずピンセットアームを用いたものが開発されている
。このようなウェハ搬送機構においては、ウェハ供給カ
セットからビンセットアームでウェハを取り出し、サブ
チャック上にセットし、測定後、サブチャック上に置か
れたウェハを再びピンセットアームで保持し１元の供給
カセットのスロットへ収納するようになっており、ウェ
ハ供給部には通常複数個（３〜４）のカセットがセット
可能になっている。従って。
ピンセットアームを塔載したピンセットアームベースを
複数個並んだカセットに沿って平行移動させる必要があ
り、装置が大型化し、駆動機構も複雑化し、高価格にな
らざるを得なかった。
複数個並んだカセットに沿って平行移動させる必要があ
り、装置が大型化し、駆動機構も複雑化し、高価格にな
らざるを得なかった。
［発明の目的コ
本発明はこのような従来のウェハ搬送機構の難点に鑑み
なされたもので、２個以上のウェハ供給部を備えたウェ
ハ搬送機構において、ウェハ搬送手段を平行移動するこ
となくウェハの取り出しが可能なコンパクトで低価格の
ウェハ搬送機構を提供せんとするものである。
なされたもので、２個以上のウェハ供給部を備えたウェ
ハ搬送機構において、ウェハ搬送手段を平行移動するこ
となくウェハの取り出しが可能なコンパクトで低価格の
ウェハ搬送機構を提供せんとするものである。
［発明の概要］
このような目的を達成するために本発明のウェハ搬送機
構は、移送されたウェハを収納する２個以上のウェハキ
ャリアと、該ウェハキャリアに収納された前記ウェハを
取り出し移送する搬送手段と、該搬送手段による前記ウ
ェハの取出し前に前記ウェハキャリアの各々を前記搬送
手段に対向するよう回転し設置するキャリアロック機構
とを具備することを特徴とする。
構は、移送されたウェハを収納する２個以上のウェハキ
ャリアと、該ウェハキャリアに収納された前記ウェハを
取り出し移送する搬送手段と、該搬送手段による前記ウ
ェハの取出し前に前記ウェハキャリアの各々を前記搬送
手段に対向するよう回転し設置するキャリアロック機構
とを具備することを特徴とする。
［発明の実施例］
以下１本発明の装置を半４体ウェハのプローバにおける
ウェハ搬送部に適用した好ましい実施例を図面を参照し
て説明する。
ウェハ搬送部に適用した好ましい実施例を図面を参照し
て説明する。
半導体ウェハのプローバは当業者においては周知である
から、その詳細を略す。このプローバはウェハキャリア
に複数のウェハが収納された状態でキャリア収納部に搬
入さ九、このキャリア収納部から搬送手段によりウェハ
を一枚ずつ取り出してブローバの測定位置に搬送し、再
び測定済ウェハを戻す構成である。
から、その詳細を略す。このプローバはウェハキャリア
に複数のウェハが収納された状態でキャリア収納部に搬
入さ九、このキャリア収納部から搬送手段によりウェハ
を一枚ずつ取り出してブローバの測定位置に搬送し、再
び測定済ウェハを戻す構成である。
第１図に示すウェハ搬送機構ｌは、ウェハブローバ本体
２に隣接して設置されるもので、キャリア収納部３とウ
ェハ搬送手段としてのビンセントアームアッセンブリ４
及びハントリンクアーム５から成る。キャリア収納部３
は、ウェハを収納するウェハキャリア３ａ、３ｂとキャ
リア載置台６ａ、６ｂ（第２図）から成り、ＵＰ／ＤＯ
ＷＮ機構で移動する。又、ウェハキャリア３ａ、３ｂを
載置台６ａ、６ｂにセットする時、図示しないモータに
よってキャリアロック機構が働くと、キャリア３ａ、３
ｂの正面３０ａ及び３０ｂがビンセットアームアッセン
ブリ４の中心軸４１を向くように回転する。キャリア載
置台６ａ、６ｂには後述の発光素子の光を通過させる孔
７がそれぞれ設けられている。
２に隣接して設置されるもので、キャリア収納部３とウ
ェハ搬送手段としてのビンセントアームアッセンブリ４
及びハントリンクアーム５から成る。キャリア収納部３
は、ウェハを収納するウェハキャリア３ａ、３ｂとキャ
リア載置台６ａ、６ｂ（第２図）から成り、ＵＰ／ＤＯ
ＷＮ機構で移動する。又、ウェハキャリア３ａ、３ｂを
載置台６ａ、６ｂにセットする時、図示しないモータに
よってキャリアロック機構が働くと、キャリア３ａ、３
ｂの正面３０ａ及び３０ｂがビンセットアームアッセン
ブリ４の中心軸４１を向くように回転する。キャリア載
置台６ａ、６ｂには後述の発光素子の光を通過させる孔
７がそれぞれ設けられている。
ビンセットアームアッセンブリ４はビンセットアーム８
及びサブチャック９を塔載し、且つビンセットアーム８
とサブチャック９の駆動機構を内蔵しており、中心軸４
１を回転軸として回転し。
及びサブチャック９を塔載し、且つビンセットアーム８
とサブチャック９の駆動機構を内蔵しており、中心軸４
１を回転軸として回転し。
キャリア３ａ及び３ｂの各中心３１ａ、３１ｂを向（こ
とができる。ビンセットアームアッセンブリ４には発光
ダイオードなどの発光素子１０が設けられ、装置フレー
ム１１のビンセットアームアッセンブリ４の中心軸４１
とキャリア３ａの中心軸３１ａを結ぶ直線との交点Ａと
、中心軸４１とキャリア３ｂの中心軸３１ｂを結ぶ直線
との交点Ｂにはそれぞれ受光素子１２が設けられており
、前述のキャリア載置台６ａ、６ｂの孔７と共に、セン
サ一手段を構成する。すなわちキャリア３ａがロック機
構によりビンセットアームアッセンブリ４の中心軸４１
に向けて回転した状態でビンセットアームアッセンブリ
４がキャリア３ａの中心軸３１ａに向くように回転する
と、発光素子１０からの光はキャリア載置台６ａの孔７
を通してフレーム１１の受光素子１２に達し、キャリア
３ａ及びビンセットアームアッセンブリ４が対面したこ
とを検知する。又、この受発光素子１０．１２はキャリ
ア３ａ内各スロツト３２のウェハをセンスする時にも用
いられる。キャリア３ｂに関しても同様である。 ピン
セットアーム８は中心軸４１と直交する方向に前後に移
動し、キャリア３ａ又はキャリア３ｂ内のウェハを取り
出し、サブチャック９上に搬送すると共に、サブチャッ
ク７９上の測定済ウェハを元のキャリア３ａ又は３ｂ内
に収納する。サブチャック９はピンセットアームアッセ
ンブリ４の中心軸４１上に設置され、ウェハを一時吸着
保持すると共にプリアライン／センター出しを行う。
とができる。ビンセットアームアッセンブリ４には発光
ダイオードなどの発光素子１０が設けられ、装置フレー
ム１１のビンセットアームアッセンブリ４の中心軸４１
とキャリア３ａの中心軸３１ａを結ぶ直線との交点Ａと
、中心軸４１とキャリア３ｂの中心軸３１ｂを結ぶ直線
との交点Ｂにはそれぞれ受光素子１２が設けられており
、前述のキャリア載置台６ａ、６ｂの孔７と共に、セン
サ一手段を構成する。すなわちキャリア３ａがロック機
構によりビンセットアームアッセンブリ４の中心軸４１
に向けて回転した状態でビンセットアームアッセンブリ
４がキャリア３ａの中心軸３１ａに向くように回転する
と、発光素子１０からの光はキャリア載置台６ａの孔７
を通してフレーム１１の受光素子１２に達し、キャリア
３ａ及びビンセットアームアッセンブリ４が対面したこ
とを検知する。又、この受発光素子１０．１２はキャリ
ア３ａ内各スロツト３２のウェハをセンスする時にも用
いられる。キャリア３ｂに関しても同様である。 ピン
セットアーム８は中心軸４１と直交する方向に前後に移
動し、キャリア３ａ又はキャリア３ｂ内のウェハを取り
出し、サブチャック９上に搬送すると共に、サブチャッ
ク７９上の測定済ウェハを元のキャリア３ａ又は３ｂ内
に収納する。サブチャック９はピンセットアームアッセ
ンブリ４の中心軸４１上に設置され、ウェハを一時吸着
保持すると共にプリアライン／センター出しを行う。
ハンドリングアーム５は軸５１を中心に回転し。
そのアーム部５２によってウェハを吸着保持しサブチャ
ック９上からブローバ本体１のチャックトップ１３に移
送し、且つ測定済ウェハをチャックトップ１３からサブ
チャック９上に移送する。
ック９上からブローバ本体１のチャックトップ１３に移
送し、且つ測定済ウェハをチャックトップ１３からサブ
チャック９上に移送する。
ハンドリングアーム５は、ウェハのアンロードからロー
ドまでのタイムラグを少なくするため２個設けることが
望ましい。
ドまでのタイムラグを少なくするため２個設けることが
望ましい。
次に本実施例のウェハ搬送機構の動作について説明する
。
。
まずオペレータはキャリア３ａ、３ｂを平行（図中、端
線で示す位置）にセットする。キャリア３ａ、３ｂは自
動的に搬入されてもよい。次いでキャリアロック機構に
よりキャリア載置台６ａ、６ｂを共に回転させ、キャリ
ア３ａ、３ｂの正面３０ａ、３０ｂをピンセットアーム
アッセンブリ４に向けて移動させる（図中、実線で示す
位置）。
線で示す位置）にセットする。キャリア３ａ、３ｂは自
動的に搬入されてもよい。次いでキャリアロック機構に
よりキャリア載置台６ａ、６ｂを共に回転させ、キャリ
ア３ａ、３ｂの正面３０ａ、３０ｂをピンセットアーム
アッセンブリ４に向けて移動させる（図中、実線で示す
位置）。
すなわちピンセットアーム８の回転軸４１に対してほぼ
同一円周上に位置する方向にキャリア３ａ。
同一円周上に位置する方向にキャリア３ａ。
３ｂを回転させる。次にピンセットアームアッセンブリ
４をキャリア３ａと対面するように回転させる。この際
１発光素子１０の光がキャリア載置台６ａの孔７を通過
しフレーム１１の受光素？ １２に達することにより、
アッセンブリ４とキャリア３ａの正常／不良回転がチェ
ックさ九る。次いでキャリア３ａのｕｐ／ＤＯＷＮ機構
によりキャリア３ａを上下方向に移動し、スロット３２
内のウェハを受発光素子１０．１２で検知した後、ピン
セットアーム４をキャリア３ａ側に移動しピンセットア
ーム４でウェハを保持する。ウェハを保持した状態でピ
ンセットアーム４を後方（キャリア３ａと反対の方向）
に移動し、ウェハをサブチャック９上に載置させる。サ
ブチャック９上でウェハのブリアライン／センター出し
を行った後、ハンドリングアーム５によりウェハをチャ
ックトップ１３に移送する。チャックトップ１３に移送
さ」ｔたウェハはファインアライメント後、プロービン
グされる。ブロービング後のウェハを再びハンドリング
アーム５に保持し、サブチャック９上に移送し、ピンセ
ットアーム４で元のキャリア３ａのスロット３２内に戻
す。
４をキャリア３ａと対面するように回転させる。この際
１発光素子１０の光がキャリア載置台６ａの孔７を通過
しフレーム１１の受光素？ １２に達することにより、
アッセンブリ４とキャリア３ａの正常／不良回転がチェ
ックさ九る。次いでキャリア３ａのｕｐ／ＤＯＷＮ機構
によりキャリア３ａを上下方向に移動し、スロット３２
内のウェハを受発光素子１０．１２で検知した後、ピン
セットアーム４をキャリア３ａ側に移動しピンセットア
ーム４でウェハを保持する。ウェハを保持した状態でピ
ンセットアーム４を後方（キャリア３ａと反対の方向）
に移動し、ウェハをサブチャック９上に載置させる。サ
ブチャック９上でウェハのブリアライン／センター出し
を行った後、ハンドリングアーム５によりウェハをチャ
ックトップ１３に移送する。チャックトップ１３に移送
さ」ｔたウェハはファインアライメント後、プロービン
グされる。ブロービング後のウェハを再びハンドリング
アーム５に保持し、サブチャック９上に移送し、ピンセ
ットアーム４で元のキャリア３ａのスロット３２内に戻
す。
以上の実施例からも明らかなようにこのウェハ搬送＠構
は、複数のウェハ供給部とプローバ本体との間に、ピン
セットアーム及びサブチャックを塔載したアッセンブリ
を配設し、ウェハ供給部とピンセットアームが向き合う
ように各ウェハ供給部及びアッセンブリを回転可能にす
ることにより、ピンセラ１〜アームベース（アッセンブ
リ）を平行移動することなく複数のウェハ供給部からの
ウェハの取り出しができＪＡ置をコンパクト且つ低価格
にすることができる。しかも、サブチャック上でウェハ
ー径に関係なくプリアライメントを自在に行うことがで
き各種ウェハに対応できる。
は、複数のウェハ供給部とプローバ本体との間に、ピン
セットアーム及びサブチャックを塔載したアッセンブリ
を配設し、ウェハ供給部とピンセットアームが向き合う
ように各ウェハ供給部及びアッセンブリを回転可能にす
ることにより、ピンセラ１〜アームベース（アッセンブ
リ）を平行移動することなく複数のウェハ供給部からの
ウェハの取り出しができＪＡ置をコンパクト且つ低価格
にすることができる。しかも、サブチャック上でウェハ
ー径に関係なくプリアライメントを自在に行うことがで
き各種ウェハに対応できる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、ウェハの取出し前
にウェハの収納されたキャリアを搬送手段に向けて回転
させるので、搬送手段の回転運動によって複数のキャリ
アからウェハを取出すことができる高速搬送が可能であ
る。
にウェハの収納されたキャリアを搬送手段に向けて回転
させるので、搬送手段の回転運動によって複数のキャリ
アからウェハを取出すことができる高速搬送が可能であ
る。
第１図および第２図は本発明のウェハ搬送機構の概略を
示す図、第３図は従来のウェハ搬送機構を示す図である
。 １・・・・・・・ウェハ搬送機構 ２・・・・・・・プローバ本体 ３ａ、３ｂ・・・・・・・・・キャリア３１ａ、３１ｈ
・・・・・中心ね ４・・・・・・・ピンセットアームアッセンブリ（搬送
手段〉 ４１・・・・・中心軸 ５・・・・・・・ハンドリングアーム ６ａ、６ｂ・・・キャリア載置台 ７・・・・・・・孔 ８・・・・・・・ピンセットアーム（搬送手段）９・・
・・・・・サブチャック １０・・・・・発光素子 １１・・・・・フレーム １２・・・・・受光素子 １３・・・・・チャックトップ 代理人 弁理士 守 谷 −雄 第１図 第２図
示す図、第３図は従来のウェハ搬送機構を示す図である
。 １・・・・・・・ウェハ搬送機構 ２・・・・・・・プローバ本体 ３ａ、３ｂ・・・・・・・・・キャリア３１ａ、３１ｈ
・・・・・中心ね ４・・・・・・・ピンセットアームアッセンブリ（搬送
手段〉 ４１・・・・・中心軸 ５・・・・・・・ハンドリングアーム ６ａ、６ｂ・・・キャリア載置台 ７・・・・・・・孔 ８・・・・・・・ピンセットアーム（搬送手段）９・・
・・・・・サブチャック １０・・・・・発光素子 １１・・・・・フレーム １２・・・・・受光素子 １３・・・・・チャックトップ 代理人 弁理士 守 谷 −雄 第１図 第２図
Claims (1)
- 移送されたウェハを収納する２個以上のウェハキャリア
と、該ウェハキャリアに収納された前記ウェハを取り出
し移送する搬送手段と、該搬送手段による前記ウェハの
取出し前に前記ウェハキャリアの各々を前記搬送手段に
対向するよう回転し設置するキャリアロック機構とを具
備することを特徴とするウェハ搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13151786A JPS62290616A (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 | ウエハ搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13151786A JPS62290616A (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 | ウエハ搬送機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62290616A true JPS62290616A (ja) | 1987-12-17 |
| JPH0577565B2 JPH0577565B2 (ja) | 1993-10-27 |
Family
ID=15059897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13151786A Granted JPS62290616A (ja) | 1986-06-05 | 1986-06-05 | ウエハ搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62290616A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01166534A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-06-30 | Hitachi Ltd | 被処理物収納部支持機構 |
| JPH02263454A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-26 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
| JPH0348439A (ja) * | 1989-07-17 | 1991-03-01 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 熱処理装置 |
| JPH05198659A (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | プラズマ処理装置 |
| JPH06196541A (ja) * | 1991-11-18 | 1994-07-15 | Fusion Syst Corp | ウエハ搬送装置 |
| JPH06268044A (ja) * | 1993-03-15 | 1994-09-22 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
| JPH07235580A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-09-05 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
| EP0452939B1 (en) * | 1990-04-19 | 2000-11-02 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for loading workpieces in a processing system |
| JP2007173285A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Nec Electronics Corp | ウェーハプローバ装置およびウェーハ検査方法 |
| TWI452643B (zh) * | 2006-05-11 | 2014-09-11 | 東京威力科創股份有限公司 | Inspection device and inspection method |
-
1986
- 1986-06-05 JP JP13151786A patent/JPS62290616A/ja active Granted
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01166534A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-06-30 | Hitachi Ltd | 被処理物収納部支持機構 |
| JPH02263454A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-26 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
| JPH0348439A (ja) * | 1989-07-17 | 1991-03-01 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 熱処理装置 |
| US6454508B2 (en) | 1990-04-19 | 2002-09-24 | Applied Materials, Inc. | Dual cassette load lock |
| US6599076B2 (en) | 1990-04-19 | 2003-07-29 | Applied Materials, Inc. | Dual cassette load lock |
| US6454519B1 (en) | 1990-04-19 | 2002-09-24 | Applied Materials, Inc. | Dual cassette load lock |
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| JPH05198659A (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | プラズマ処理装置 |
| JPH06268044A (ja) * | 1993-03-15 | 1994-09-22 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
| JPH07235580A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-09-05 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
| JP2007173285A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Nec Electronics Corp | ウェーハプローバ装置およびウェーハ検査方法 |
| TWI452643B (zh) * | 2006-05-11 | 2014-09-11 | 東京威力科創股份有限公司 | Inspection device and inspection method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0577565B2 (ja) | 1993-10-27 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |