JPH01169028U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01169028U JPH01169028U JP6482688U JP6482688U JPH01169028U JP H01169028 U JPH01169028 U JP H01169028U JP 6482688 U JP6482688 U JP 6482688U JP 6482688 U JP6482688 U JP 6482688U JP H01169028 U JPH01169028 U JP H01169028U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode plate
- heater
- semiconductor manufacturing
- reaction chamber
- device characterized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例にかかる半導体
製造装置の縦断面図であり、半導体ウエハＷの表
面を上向きに薄膜を形成する状態を示し、第２図
は同実施例における半導体ウエハＷの表面を下向
きに薄膜を形成する状態を示す縦断面図、第３図
は本考案の第２の実施例にかかる半導体製造装置
の縦断面であり、半導体ウエハＷの表面を上向き
に薄膜を形成する状態を示し、第４図は同実施例
における半導体ウエハＷの表面を下向きに薄膜を
形成する状態を示す縦断面図、第５図、第６図は
いずれも従来の半導体製造装置を示す縦断面図で
ある。 ２，２１……反応室、３……上部ヒータ、４…
…下部ヒータ、５……上部電極板、６……下部電
極板、２５……ヒータ、２６……電極板、Ｗ……
半導体ウエハ。
製造装置の縦断面図であり、半導体ウエハＷの表
面を上向きに薄膜を形成する状態を示し、第２図
は同実施例における半導体ウエハＷの表面を下向
きに薄膜を形成する状態を示す縦断面図、第３図
は本考案の第２の実施例にかかる半導体製造装置
の縦断面であり、半導体ウエハＷの表面を上向き
に薄膜を形成する状態を示し、第４図は同実施例
における半導体ウエハＷの表面を下向きに薄膜を
形成する状態を示す縦断面図、第５図、第６図は
いずれも従来の半導体製造装置を示す縦断面図で
ある。 ２，２１……反応室、３……上部ヒータ、４…
…下部ヒータ、５……上部電極板、６……下部電
極板、２５……ヒータ、２６……電極板、Ｗ……
半導体ウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 反応室の内部に上部ヒータと下部ヒータを
設け、これらヒータを放電用の上部電極板と下部
電極板とでそれぞれカバーしたことを特徴とする
半導体製造装置。 (2) 垂直回転自在な反応室の内部に、ヒータと
電極板を上下に対向させて設けたことを特徴とす
る半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6482688U JPH01169028U (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6482688U JPH01169028U (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01169028U true JPH01169028U (ja) | 1989-11-29 |
Family
ID=31290282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6482688U Pending JPH01169028U (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01169028U (ja) |
-
1988
- 1988-05-17 JP JP6482688U patent/JPH01169028U/ja active Pending