JPH01169174A - 真空炉の蓋の固定方法 - Google Patents
真空炉の蓋の固定方法Info
- Publication number
- JPH01169174A JPH01169174A JP32482787A JP32482787A JPH01169174A JP H01169174 A JPH01169174 A JP H01169174A JP 32482787 A JP32482787 A JP 32482787A JP 32482787 A JP32482787 A JP 32482787A JP H01169174 A JPH01169174 A JP H01169174A
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- Japan
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- opening
- lid
- cover
- vacuum
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- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は容器の蓋を容器本体に固定する方法に関する
。
。
たとえば真空熱処理炉のような真空炉においては、被処
理材を装入した炉内を真空引きして加熱後、不活性ガス
により被処理材を冷却する際に炉内を大気圧以上に加圧
するなど、真空引き後に加圧することがおこなわれてい
る。このような工程用の真空炉においては、操業中に炉
蓋を閉鎖状態に保つために、第3図に示すように炉体で
ある容器本体22に炉蓋であるM23をエアシリンダ2
5により押付けて固定したり、第4図に示すようにエア
シリンダ26により駆動される複数個のくさび形のクラ
ンプ金具27やボルトなどにより、蓋23と容器本体2
2の7ランジ部24を締結する方法が採用されている。
理材を装入した炉内を真空引きして加熱後、不活性ガス
により被処理材を冷却する際に炉内を大気圧以上に加圧
するなど、真空引き後に加圧することがおこなわれてい
る。このような工程用の真空炉においては、操業中に炉
蓋を閉鎖状態に保つために、第3図に示すように炉体で
ある容器本体22に炉蓋であるM23をエアシリンダ2
5により押付けて固定したり、第4図に示すようにエア
シリンダ26により駆動される複数個のくさび形のクラ
ンプ金具27やボルトなどにより、蓋23と容器本体2
2の7ランジ部24を締結する方法が採用されている。
なお28はシール用のパツキン、10は真空ポンプであ
る。
る。
ところが上記従来の方法のうら、エアシリンダを用いる
ものは装置が複雑で装置の設置スペースもかさみ、また
ボルトによるものは作業に手間がかかり煩雑で自動化が
困難である。
ものは装置が複雑で装置の設置スペースもかさみ、また
ボルトによるものは作業に手間がかかり煩雑で自動化が
困難である。
この発明は上記従来の問題点を解決するもので、迅速容
易に蓋の固定および固定解除をおこなうことができ、装
置も簡潔で場所をとらない容器の蓋の固定方法を提供し
ようとするものである。
易に蓋の固定および固定解除をおこなうことができ、装
置も簡潔で場所をとらない容器の蓋の固定方法を提供し
ようとするものである。
しかしてこの発明の方法は、容器本体の開口部を開閉す
る蓋をそなえた容器において、前記容器本体と前記蓋の
橙ね合せ部に、前記間ロ部シール用め第1パツキンと、
この第1パツキンより外周側に間隔をおいて配置した第
2パツキンとを設け、前記蓋の閉鎖後前記第1パツキン
と前記第2パツキンの間を真空ポンプにより排気して真
空にすることにより前記蓋を前記容器本体に固定する容
器の蓋の固定方法である。
る蓋をそなえた容器において、前記容器本体と前記蓋の
橙ね合せ部に、前記間ロ部シール用め第1パツキンと、
この第1パツキンより外周側に間隔をおいて配置した第
2パツキンとを設け、前記蓋の閉鎖後前記第1パツキン
と前記第2パツキンの間を真空ポンプにより排気して真
空にすることにより前記蓋を前記容器本体に固定する容
器の蓋の固定方法である。
(作用)
この発明の方法においては、蓋の閉鎖後に第1パツキン
と第2パツキンの間を排気することにより、この排気に
よる到達真空度と第1パツキンと第2パツキンにより囲
繞された面積の積に相当する吸着力により、蓋が容器本
体に固定される。容器内に大気圧以上の内圧をかけても
、この内圧により蓋を開く方向に押す開放力よりも上記
吸着力が大となるように第1パツキンおよび第2パツキ
ンのシール直径を設定しておけば、蓋は容器本体に固定
されるのである。
と第2パツキンの間を排気することにより、この排気に
よる到達真空度と第1パツキンと第2パツキンにより囲
繞された面積の積に相当する吸着力により、蓋が容器本
体に固定される。容器内に大気圧以上の内圧をかけても
、この内圧により蓋を開く方向に押す開放力よりも上記
吸着力が大となるように第1パツキンおよび第2パツキ
ンのシール直径を設定しておけば、蓋は容器本体に固定
されるのである。
(実施例)
以下第1図および第2図によりこの発明の一実施例を説
明する。
明する。
図中、1は真空熱処理炉で、2はその炉体である有底円
筒状の容器本体、3はこの容器本体2の開口部2aをt
tnwlする蓋で、図示しないヒンジにより容器本体2
に鉛直軸のまわりに回動自在に支持されている。蓋3の
開鎖時に蓋3と重なり合う容器本体2のフランジ部4に
は、開口部2aを包囲する第1パツキン5と、この第1
パツキン5に対してフランジ外周側に距離をおいた第2
パツキン6とが設けである。7は排気孔で、第1パツキ
ン5と第2パツキン6の間の環状フランジ面4aに開口
している。また8は蓋3の内面3aの環状フランジ面4
aに対向する位置に設けた環状の溝で、排気性向上のた
め必要に応じて設ける。9は蓋3の閉鎖時にフランジ部
4と蓋3との間に形成され第1パツキン5と第2パツキ
ン6により囲繞される環状密閉中@(前記溝8を含む)
である。
筒状の容器本体、3はこの容器本体2の開口部2aをt
tnwlする蓋で、図示しないヒンジにより容器本体2
に鉛直軸のまわりに回動自在に支持されている。蓋3の
開鎖時に蓋3と重なり合う容器本体2のフランジ部4に
は、開口部2aを包囲する第1パツキン5と、この第1
パツキン5に対してフランジ外周側に距離をおいた第2
パツキン6とが設けである。7は排気孔で、第1パツキ
ン5と第2パツキン6の間の環状フランジ面4aに開口
している。また8は蓋3の内面3aの環状フランジ面4
aに対向する位置に設けた環状の溝で、排気性向上のた
め必要に応じて設ける。9は蓋3の閉鎖時にフランジ部
4と蓋3との間に形成され第1パツキン5と第2パツキ
ン6により囲繞される環状密閉中@(前記溝8を含む)
である。
10は容器本体2の真空引き用の真空ポンプで、開閉弁
11を介して容器本体2に接続されており、また排気孔
7も開閉弁12を介して真空ポンプ10に接続しである
。13および14は大気圧導入用のrf8M弁である。
11を介して容器本体2に接続されており、また排気孔
7も開閉弁12を介して真空ポンプ10に接続しである
。13および14は大気圧導入用のrf8M弁である。
上記各開n弁としては、手動式のものを用いてもよいが
、電磁式あるいは空圧式などの遠隔操作形式のものを用
いるのが好ましい。なお真空熱処理のための容器本体2
内へのガス供給系統や、被処理物の加熱手段等の図示!
よ省略しである。
、電磁式あるいは空圧式などの遠隔操作形式のものを用
いるのが好ましい。なお真空熱処理のための容器本体2
内へのガス供給系統や、被処理物の加熱手段等の図示!
よ省略しである。
上記構成の真空熱処理炉1において、蓋3の容器本体2
への固定および固定解除は次のようにしておこなう。先
ず図示しない被処理物を容器本体2内へ装入後、蓋3を
手動により閉鎖し、開閉弁13および14を閉じ、開閉
弁11および12を開いて真空ポンプ10を運転する。
への固定および固定解除は次のようにしておこなう。先
ず図示しない被処理物を容器本体2内へ装入後、蓋3を
手動により閉鎖し、開閉弁13および14を閉じ、開閉
弁11および12を開いて真空ポンプ10を運転する。
これにより容器本体2内および環状密閉空間9内は排気
されて真空となり、蓋3はこの真空圧により吸着されて
フランジ部4に強固に固定される。真空中の被処理物の
加熱処理後、開閉弁11を閉じ、不活性ガスの炉内導入
により容器本体2内を圧力P(ゲージ圧)なる正圧に加
圧する。このとき炉内圧により蓋3を開く方向に押す開
放力F1は、第1図に示すように第1パツキン5のシー
ル直径をd、第2パツキン6のシール直径をDとすると
、次式で表される。
されて真空となり、蓋3はこの真空圧により吸着されて
フランジ部4に強固に固定される。真空中の被処理物の
加熱処理後、開閉弁11を閉じ、不活性ガスの炉内導入
により容器本体2内を圧力P(ゲージ圧)なる正圧に加
圧する。このとき炉内圧により蓋3を開く方向に押す開
放力F1は、第1図に示すように第1パツキン5のシー
ル直径をd、第2パツキン6のシール直径をDとすると
、次式で表される。
F+−−d2XP ・・・(1)
一方環状密閏空間9に作用する真空圧力poTorrに
よりM3がフランジ部4に吸着される吸着力F2は次式
により表わされる。
一方環状密閏空間9に作用する真空圧力poTorrに
よりM3がフランジ部4に吸着される吸着力F2は次式
により表わされる。
真空ポンプ10の排気による環状密閉空間9の到達真空
度poに応じて、Fl <F2となるように上記直径り
およびd8選定しておけば、蓋3は炉内加圧時において
も確実にフランジ部4に固定されるのである。
度poに応じて、Fl <F2となるように上記直径り
およびd8選定しておけば、蓋3は炉内加圧時において
も確実にフランジ部4に固定されるのである。
炉内加圧状態での被処理物の処理終了後は、開閉弁14
を開いて炉内を大気圧に減圧し、開閉弁12を閉じ開閉
弁13を開【ノば環状密開空間9内にも大気圧が導入さ
れるので、蓋3は手動で開放することができる。
を開いて炉内を大気圧に減圧し、開閉弁12を閉じ開閉
弁13を開【ノば環状密開空間9内にも大気圧が導入さ
れるので、蓋3は手動で開放することができる。
この発明は上記実施例に限定されるものではなく、たと
えばまた蓋3や容器本体2の形状、蓋3の開閉駆動機構
等は、上記以外のものとしてもよい。また第1パツキン
5、第2パツキン6、排気孔7等は、蓋3側に設けても
よい。さらに上記実施例では容器本体2の真空引き用の
真空ポンプ10を利用して第1パツキン5と第2パツキ
ン6の間の排気をおこなうようにしたので、装置が特に
17!′!iとなるが、上記排気用に別の真空ポンプを
用いることも可能である。またこの発明は、各種真空炉
のほか、8鼎本体内の真空引きをおこなわない容器にお
1ノる蓋の固定にも適用でさるものである。
えばまた蓋3や容器本体2の形状、蓋3の開閉駆動機構
等は、上記以外のものとしてもよい。また第1パツキン
5、第2パツキン6、排気孔7等は、蓋3側に設けても
よい。さらに上記実施例では容器本体2の真空引き用の
真空ポンプ10を利用して第1パツキン5と第2パツキ
ン6の間の排気をおこなうようにしたので、装置が特に
17!′!iとなるが、上記排気用に別の真空ポンプを
用いることも可能である。またこの発明は、各種真空炉
のほか、8鼎本体内の真空引きをおこなわない容器にお
1ノる蓋の固定にも適用でさるものである。
以上説明したようにこの発明によれば、容器本体と蓋の
重ね合せ部に設けた第1パツキンと第2パツキンの間を
排気するだけで蓋を容器本体に固定できるので、迅速容
易に蓋の固定および固定解除をおこなうことができ、固
定のための装置も簡潔で場所をとらない。
重ね合せ部に設けた第1パツキンと第2パツキンの間を
排気するだけで蓋を容器本体に固定できるので、迅速容
易に蓋の固定および固定解除をおこなうことができ、固
定のための装置も簡潔で場所をとらない。
第1図はこの発明の方法に使用する装置の一例を示す真
空熱処理炉の機器系統図、第2図は第1図のA部詳細断
面図、第3図および第4図は従来の蓋の固定方法を示す
真空熱処理炉の別器系統図である。 1・・・真空熱処理炉、2・・・容器本体、2a・・・
開口部、3・・・蓋、4・・・フランジ部、5・・・第
1パツキン、6・・・第2パツキン、7・・・排気孔、
10・・・真空ポンプ。 第1囲 始20 第30 第40
空熱処理炉の機器系統図、第2図は第1図のA部詳細断
面図、第3図および第4図は従来の蓋の固定方法を示す
真空熱処理炉の別器系統図である。 1・・・真空熱処理炉、2・・・容器本体、2a・・・
開口部、3・・・蓋、4・・・フランジ部、5・・・第
1パツキン、6・・・第2パツキン、7・・・排気孔、
10・・・真空ポンプ。 第1囲 始20 第30 第40
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 容器本体の開口部を開閉する蓋をそなえた容器にお
いて、前記容器本体と前記蓋の重ね合せ部に、前記開口
部シール用の第1パッキンと、この第1パッキンより外
周側に間隔をおいて配置した第2パッキンとを設け、前
記蓋の閉鎖後前記第1パッキンと前記第2パッキンの間
を真空ポンプにより排気して真空にすることにより前記
蓋を前記容器本体に固定する容器の蓋の固定方法。 2 容器が、真空引き後大気圧以上に加圧される容器で
あつて、前記真空引き用の真空ポンプを用いて第1パッ
キンと第2パッキンの間の排気をおこなうようにした特
許請求の範囲第1項記載の容器の蓋の固定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62324827A JP2893588B2 (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 真空炉の蓋の固定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62324827A JP2893588B2 (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 真空炉の蓋の固定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01169174A true JPH01169174A (ja) | 1989-07-04 |
| JP2893588B2 JP2893588B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=18170122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62324827A Expired - Fee Related JP2893588B2 (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 真空炉の蓋の固定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2893588B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03249936A (ja) * | 1990-02-26 | 1991-11-07 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置 |
| JP2002267029A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空シール機構 |
| JP2005325973A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Sigma Meltec Ltd | 処理チャンバ装置のシール構造 |
| WO2023021739A1 (ja) * | 2021-08-20 | 2023-02-23 | 株式会社島津製作所 | 脱脂用加熱炉 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015007437A (ja) * | 2013-06-24 | 2015-01-15 | 国立大学法人秋田大学 | 流体継手 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5119162U (ja) * | 1975-06-26 | 1976-02-12 | ||
| JPS5962775A (ja) * | 1982-07-22 | 1984-04-10 | アメリカン ステリライザ− コムパニ− | 室の開口部を密封する装置 |
| JPS6287256U (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | ||
| JPS63132167U (ja) * | 1987-02-23 | 1988-08-30 | ||
| JPS6413499U (ja) * | 1987-07-10 | 1989-01-24 |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP62324827A patent/JP2893588B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5119162U (ja) * | 1975-06-26 | 1976-02-12 | ||
| JPS5962775A (ja) * | 1982-07-22 | 1984-04-10 | アメリカン ステリライザ− コムパニ− | 室の開口部を密封する装置 |
| JPS6287256U (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | ||
| JPS63132167U (ja) * | 1987-02-23 | 1988-08-30 | ||
| JPS6413499U (ja) * | 1987-07-10 | 1989-01-24 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03249936A (ja) * | 1990-02-26 | 1991-11-07 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置 |
| JP2002267029A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空シール機構 |
| JP2005325973A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Sigma Meltec Ltd | 処理チャンバ装置のシール構造 |
| WO2023021739A1 (ja) * | 2021-08-20 | 2023-02-23 | 株式会社島津製作所 | 脱脂用加熱炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2893588B2 (ja) | 1999-05-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |