JPH01171004A - ロボットの制御装置 - Google Patents

ロボットの制御装置

Info

Publication number
JPH01171004A
JPH01171004A JP33149087A JP33149087A JPH01171004A JP H01171004 A JPH01171004 A JP H01171004A JP 33149087 A JP33149087 A JP 33149087A JP 33149087 A JP33149087 A JP 33149087A JP H01171004 A JPH01171004 A JP H01171004A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
value
control
compensation
torque
arm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP33149087A
Other languages
English (en)
Inventor
Takahiko Kondo
近藤 隆彦
Fumio Noguchi
野口 文雄
Toshiyuki Ochiai
落合 寿幸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinmaywa Industries Ltd
Original Assignee
Shin Meiva Industry Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Meiva Industry Ltd filed Critical Shin Meiva Industry Ltd
Priority to JP33149087A priority Critical patent/JPH01171004A/ja
Publication of JPH01171004A publication Critical patent/JPH01171004A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は予測制御によりロボットアームの軌道制御を
行なうロボットの制御装置に関するものである。
(従来の技術とその問題点) 第3図は従来のロボット制御装置を示すブロック図であ
る。図において、アーム位置制御系10はロボットアー
ムを駆動するサーボモータ20の制御を行なうための速
度・位置フィードバックを備えた位置IIJ御系であり
、1自由度当りの制御系を示したものである。アーム位
置制御系10は、位置指令値θ、。fと位置帰還値θ「
との差をとる減口器11と、減算器11の出力を増幅す
る増幅器12と、増幅器12の出力を一定周期毎に保持
するサンプルホールド回路(図中rs/1−(Jと略す
。)13と、サンプルホールド回路13の出力値V と
速度帰還値V、との差をとる減算器14と、減算器14
の出力を増幅してサーボモータ20に電流指令値I、を
与える増幅器15と、サーボモータ20の位置現在値θ
 を速度帰還値■。
に変換する変換器16′と、位置現在値θ。を位置帰還
値θ、に変換する変換器17とを備えている。なお、図
中の増幅器12.15および変換器16’、17に示す
記@K  、Kv、に2.に3は、それぞれの比例ゲイ
ンを示している。また、ロボット制御装置全体は、複数
自由度のそれぞれに対応したサーボモータ20について
図に示すアーム位置制御系10をそれぞれ備えており、
個々のアーム位置制御系10に位置指令値θ  を与e
r えるため、エンドエフェクタの目標位行父を個々のサー
ボモータ20の位置(回転角)指令値θ、。
、に変換する座標変換器1′を有している。ただし、目
標位置Xは、所定の目標軌道C上の位置である。
上記のようなアーム位置制御系10は、ロボットが1自
由度のみの場合には十分精度の良い位置制御が可能であ
る。しかし、ロボットが複数の自由度を有する場合には
各自由度の軸が相互に干渉するので、個々のアーム位置
制御系10にそれぞれの位置指令値θ  を与えるだけ
ではエンドエer フェクタを、目標軌道Cに沿って精度良く制御すること
が不可能であった。特に、近年盛んに用いられているダ
イレクトドライブモータは減速ギヤを用いておらず、負
荷側のトルク外乱がそのままモータの外乱となるので、
多軸の相互干渉によるモータのトルク外乱を補償する必
要性が高い。
このような多軸干渉を補償するため、多軸相互間の運動
方程式を考慮した予測制御を行なうロボット制御装置が
従来から知られている。第4図はこのような予測制御を
行なうロボットの制御装置を示すブロック図である。図
に示す予測制御系はエンドエフェクタの目標位置Xを各
自由度毎の目標位置θ・、目標速度θiおよび目標加速
度θ1■ に変換する座標変換器1″と、座標変換器1″の出力を
受けてサーボモータ20へのトルク指令値τ、。fを演
輝するトルク演算器31と、サーボモータ20のトルク
を検出してトルク帰還値τ「を得るトルク検出器42と
、トルク指令値τ  とef トルク帰還値τ、との差をとる減算器43と、減算器4
3の出力を対応するトルク指令電流値I。
に変換する変換器44(比例ゲインKt)を備えている
。この制御装置では、前記トルク指令電流値I、をサー
ボモータ20に与えることにより行なわれる制御が主要
なものであるが、さらに位置・速度フィードバックを行
うために第3図と同様なアーム位置制御系10’が設け
られている。トルク指令電流値Itと、位置・速度フィ
ードバックにより求めた電流指令値I、とは加算器45
で加算されてサーボモータ20に与えられる。このよう
なトルク指令値τ  に基づく位置制御系でef は、多軸相互の干渉力、遠心力、コリオリカ、重力等を
考慮した運動方程式に基づいてトルク演算器41が各サ
ーボモータ20に与えるべきトルク指令値τ  を演算
する。
af ところが、サーボモータ2oは回転リップル。
モータ鉄損、サーボモータ20内に組込まれているPW
M制御回路のトルク不感帯等に基づく非線型性が大きい
。従って、主要な指令値であるトルク指令電流値■1を
非線型性の大きなサーボモータ20に入力する制御系で
は精度良い制御が困難であるという問題があった。また
、正確なトルク帰還値τ「を得るために必要な精度良い
トルクセンサを得ることが難しく、それによって制御精
度に限界があるという問題もあった。
(発明の目的) この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、ロボットアームの複数自由度の相互干渉を補
償できるとともに、トルクセンサが不要でかつ制御精度
の良いロボット制御装置を得ることを目的とする。
(目的を達成するための手段) この発明のロボット制御装置は、複数の自由度のそれぞ
れについて駆動手段が設けられるとともに、前記駆動手
段に対応して設けられた駆動制御手段に制御入力を与え
ることによってロボットのエンドエフェクタの軌道制御
を行なう装置として構成されており、この装置には、前
記アームの相互干渉を無視した場合に前記制御入力とし
て与えるべき基準制御入力値を、前記エンドエフェクタ
の所望の軌道から算出された前記アームの制御目標値に
基いて求める基準制御入力値導出手段と、前記干渉によ
って前記駆動手段の駆動状態に生ずる影響を補償するた
めに前記駆動手段が出力すべき一般化補償力の値を前記
制御目標値に基づいて求める一般化補償力導出手段と、
前記駆動手段に前記一般化補償力を出力させるために前
記制御入力として与えるべき制御入力補償値の値を求め
る制御入力補償値導出手段と、前記基準制御入力値と前
記制御入力補償値とを合成して前記駆動制御手段へ前記
制御入力として与える合成手段とが設けられている。
(実施例) A、ロボットの制御装置の構成 第1図は、本発明の一実施例によるロボットの制御装置
を示すブロック図である。図においてアーム位置制御系
10は第3図に示した従来のロボット制御装置における
アーム位置制御系10と同じものであるが、サーボモー
タ20を詳細なブロックで示している。すなわち、サー
ボモータ20は電流指令値I と電流帰還値I、との差
をとる減算器21と、減算器21の出力を増幅して電圧
□指令値■、とする増幅器22と、電圧指令値■、と電
圧帰還値vfとの差をとる差分器23と、サーボモータ
20の巻線24とを備えている。そして、サーボモータ
20の電流現在値■。はブロック25においてトルク現
在値τ。に変換される。
また、電流現在値I。により発生するトルクτ。
はブロック26においてトルク外乱Δτが減算され、減
惇されたトルク(τ。−Δτ)は、ブロック27で速度
現在値θ。に変換される。速度現在値θ。はブロック2
8で位置現在値θ。へと変換される。また、サーボモー
タ20は、電流現在値1cを電流帰還値■、に変換する
変換器29と、速度現在値θ に基づく起電力を電圧帰
還値V。
とする変換器30とを備えている。また、以上の増幅器
22.ブロック25.変換器29.30はそれぞれ比例
ゲインK・、に、、に1.KBを有している。また、図
における巻線24の記号は巻線抵抗Rと巻線インダクタ
ンスLを示し、ブロック27の記号はモータのイナーシ
ャJを示している。
アーム位置制御系10の他の構成は前述の通りであり、
減算器11.増幅器12.サンプルホールド回路13.
減算器14.増幅器15.変換器16.17を備えてい
るとともに、増幅器12゜15および変換器17.18
はそれぞれ比例ゲインK  、K  、K  、に3を
有している。
V2 さらに、この実施例によるロボットの制御II装置では
、ロボットのエンドエフェクタの目標位置Xを各自由度
の局所座標系における目標位nθi。
らをまとめて「制御目標値」と呼ぶ。)に変換する座標
変換器1を備えている。この制御目標値θ。
θ、θのうち、目標位置θの値は指令位置変換器(アー
ムモータアンプ逆特性フィルタ)4に与えられる。この
指令位置変換器4は、複数の自由度(アーム)の相互の
干渉を無視して、目標位置θの値から、アームの駆動υ
制御のための基準制御入力値(具体的には、基準位置指
令値θ  、)をref、+ 求める基準制御入力値導出手段を形成している。
また、第1図の装置には、干渉補償のための補償トルク
演算器2と補償トルク変換器7とが設けられている。こ
れらのうち、補償トルク演算器2は、上記干渉によって
サーボモータ20の駆動状態に生ずる影響を補償するた
めの補償トルクΔτ(一般化補償力)の値を、制御目標
値θ、θ、θに基づいて求める一般化補償力導出手段を
形成している。
さらに、補償トルク変換器3は、サーボモータ20が補
償トルクΔτに相当するトルクを付加的に出すための位
置補償値Δθ  ・ (制御入力補ref、+ 1値)を求める制御人力補r!i値導出手段を形成して
いる。そして、基準位置指令値θ  、と位置ref、
+ 補償値へ〇  、とは、加算器5(合成手段)にref
、+ おいて加締(合成)され、アーム位置制御系10に制御
入力信号として与えられる。
B、ロボットアームの運動方程式 次に、上記のロボットの制御装置において、制御目標値
θ、θ、θから補償トルクΔτiを求めるための方程式
について説明する。
一般に、多自由度を有するロボットアームの方程式は、
ラグランシュの運動方程式により以下のように表わされ
る。
・・・(1) ここで、τiは自由1iiの一般化力としてのトルク、
θ・、θにはそれぞれ自由度j、にの一般化変位として
の関節角を示す。また、ロボットはn個の自由度を有し
、1≦j≦nかつ1≦に≦nとする。また、記号上の点
(ドツト)は時間微分を示す。さらにHij、hijk
はそれぞれ自由度i。
」又はi、j、にの組合せごとに定まる係数、0、は重
力項を示す。
なお、(1)式の右辺第1項は慣性力、第2項は遠心力
とコリオリカ、第3項は重力を表わす項である。
この運動方程式によるトルクτiを、当該自由度iの自
己のみの慣性力τ1、とその他の干渉力(以下「補償ト
ルクJと呼ぶ。)Δτ・とに分割する。
=τ・・+Δτ、          ・・・(2)従
って、 τ・・=H・・θ・           ・・・(3
)+1111 以上の自己の慣性力τ・・と補償トルクΔτ1とのうら
、自己の慣性力τiiは、アーム位置制御系10に基準
位置指令値θ  ・を与えることによref、 + り実現される。但し、基準位置指令値θ  、とre(
+ して与えるべき値は、アーム位置制御系10の伝達関数
G(S)を考慮して決定する必要がある。
すなわち、アーム位置制御系10への入力が基準位置指
令値θ  、のみであり、出力が位置現在raf、+ 値θ。どなるとき、両者に次式の関係が成立つ。
θ −G(S)θ、。fj        ・・・(5
)に れを変形して θ  、=    00        ・・・(6)
ref・’  G(S) このため、干渉を無視した状態で位置現在値θ を目標
位置θ・に一致させるには、θ0=θ、とじて(6)式
により求めたθ  、をアーム+          
     ref、+位置制御系10に与える必要があ
る。そこで、第1図に示す実施例では座標変換器1によ
って求められた目標位置θ、を、アーム位E fii制
御系10の伝達関数G(S)の逆特性を有する変換器(
アームモータアンプ逆特性フィルタ)4に入力すること
によって、位置指令値θ  ・を得ている。
ref、+ 一方、補償トルクΔτiは、補償トルク演算器2によっ
て上記(4)式に基づいて求められる。また、これをア
ーム位置制御系10内部の増幅器12からブロック25
までの間の伝達特性に基づいて位置補償値Δθ  ・に
変換し、アーム位置制ref、 + 御系10に与えている。すなわち、サーボモータ20の
軸トルクに対する外乱としての補償トルクΔτiは、ア
ーム位置制御系10における位置指令値θ  、の外乱
としての位置補償値Δθref。
ref、+ 、に単純換算でき、以下の式で表わされる。
上記(7)式に基づいて、補償トルクΔτiを変換器3
により位置補這値へ〇  ・に変換する。
re(+ 以上のようにして求められた基準位置指令値θ、。7.
1と位置補償値Δθ  ・を加剪器5によref、+ り加算してアーム位置制御系10に与えることにより、
上記(1)式で示した運動方程式を考慮した予測制御を
行うことができる。
C0水平2自由度ロボットにおける  1次に、上記の
予測制御を水平2自由度を有するロボットに適用した場
合について説明する。
第2図は水平2自由度ロボットのロボットアームの機構
を示す図である。図において、第1と第2のアームA1
.A2はそれぞれモータM1.M2により駆動され、そ
の位置は回転角θ 、θによって規定される。また、第
2のアームA2の先端にはエンドエフェクタEが設けら
れている。
なお、第1と第2のアームA1.A2はそれぞれ質ff
i m 1 、 m 2および有効長l 、12を有す
るとともに、モータM、M、2のそれぞれの中心から各
アームA、A2の重心までのそれぞれの距離がS 、S
2であるものと仮定する。
第1と第2のモータM、M2でそれぞれ駆動される部分
についてのラグランシュの運動方程式は(1)式を用い
て次のように表わせる。
”1”H1tθ1+H12θ2 一2m  I  S  sinθ ・θ θ・θ  ・
・・(8) 第2 j!182  Sinθ22 τ =Hθ +H22θ2 4m  I  S   sinθ CO1−(9)21
2   ま ただし H11=m18″1 4m  <1′″+S+211S2CO5θ2)+ 1
1+ IH1+ 12         ・・・(10
)H=m  (S  +j!182  CO3θ、2)
+−12・・・(11) H22= m 2 S 2 + I 2       
  ・= (12)なお、■ 、■ はそれぞれ第1と
第2の7−ムA1.A2のそれらの重心に関する慣性モ
ーメント、I はモータM1のイナーシャであり、他旧 方のモータM2のイナーシャは第2およびI2に内に含
めている。なお、このロボットは水平2自由度であるた
め(1)式第3項の重力項は存在しない。
(8)式、(9)式で示されるトルクτ 、τ をそれ
ぞれ自己のみの慣性力τ 、τ と補償トルりΔτ1.
Δτ2に分割する。まず、第1のモータM1て駆動する
部分については次のようになる。
’r: 1= r 1すΔτ1      ・・・(1
3a)” 11=H11θ1          ・・
・(13b)Δτ =H12θ2 一2m   I   S   sinθ  ・θ  θ
−m  1  3   stnθ  ・θ・・・(13
c) なお、補償トルクΔτ1としては(13c)式で与えら
れるものに(10)式第2項の変動分を含めたものとし
てもよい。すなわち、 Δτ′=Δτ+2m  I  S  cosθ ・θ・
・・(13C’) を補償トルクとしてもよく、この場合には、(13b)
式の係数H11から上記変動分が取除かれる。つまり、
このときには、静的な干渉(すなわち、第2のアームA
2が存在すること自体による第1のモータM1への影Y
1)と、動的な干渉(第1と第2のアームA、A2が相
対運動することによる第1のモータM1への影響)の双
方が、補償トルクΔτ′1の中に含まれている。これに
対して、(13c)式の補償トルクΔτ1は、動的な干
渉のみを含んでいる。換言すれば、この発明において叫
、すべての干渉を分離する必要はない。
第2のモータM2で駆動される部分については次のよう
になる。
τ2=τ22+Δτ2         ・・・(14
a)・・・(14c) 上記(13b)式と(i4b)式に示す各々のアームA
  、A  の自己のみの慣性力で 、τ についでは
、前記(6)式に従ってそれぞれの一面角θ1゜θ2を
アーム位置制御系10の逆特性で変換して基準位置指令
値θ  、を求め、これをアーム位ref、+ 置制御系10に与えればよい。すなわち、θ  “=□
θ・       ・・・(15)ゝ””  G(S)
  ’ ただし、i=1.2である。
また、アーム位置制御系10の伝達関数G(S)は次式
で表わされる。
G (S)−に、KvK、に、/ (K、KvK、に、に3 + (KVKi K、に2 +に8に、)S+(R+に
、に1)JS  +JLS  )・・・(16) 特にディジタル制御を行なう場合には、(11)式をZ
変換した伝達関数G(Z、)を次のように表わすことが
できる。
・・・(11) ここで、mo、do−d3は定数である。従って、と表
わすことができる。ここでり、は定数である。
(18)式を(15)式に代入すれば次式となる。
これを時刻nにおけるサンプル値θ・ (n)で表■ わせば次式のようになる。
θref、i (n)= 、;oo、e、 (n−1>
・・・(20) 従って、(20)式に基づいて変換器4により位置目標
値θ・を基準位置指令値θ  、に変換すれば、l  
        ref、 + それぞれの軸における自己のみの慣性力に対応した基準
位置指令値θ  ・を得ることができる。
ref、 + 一方、補償トルクΔτ1に対応した位置補償値Δθ、。
(iを求めるには、まず補償トルク演算器2により(1
3c)式又は(14c)式に基づいてそれぞれのモータ
M、M2の補償トルクΔτiを演算する。次に、これを
(7)式に代入して位置補償値Δθ、。f、tを求めれ
ばよい。
特に、ディジタル制御を行なう場合には、(7)式をZ
変換して次式を得る。
=1/K (1+NZ−1)・Δθ ref、i ・・・(21) ここで、■はサンプリング周期、K、Nは定数である。
これを時刻nのサンプル値Δτ、(n)で表わせば、次
式を得る。
Δθ  ・ (n) ref、+ =に一Δr−(n)十KNΔr・ (n−1)・・・(
22) 従って、(22)式に基づいて変換器3により補償トル
クΔτ、を位置補償値Δθ  ・に変換すれ+    
      ref、 + ば、それぞれの軸における干渉力に対応した位置補償値
Δθ  ・を得ることができる。
ref、 + 以上のようにして求められた位置指令値θ、。、。
、と位置補償値へ〇  、を加算器5により加算+  
       ref、+ してアーム位置制御系10に与えれば、ロボットアーム
の運動方程式((1)式)に基いた予測制御を行なえる
。従って、複数自由度の相互干渉を補償しつつ各サーボ
モータ20の位置制御を行なえるので、エンドエフェク
タEの軌道制御を精度良く行なうことができる。また、
このとき用いるアーム位置制御系10は、通常の位置制
御系を用いることができるので、精密なトルクセンサが
不要であるという利点がある。
D、変形例 この発明は上記実施例に限定されるものではなく、次の
ような変形も可能である。
■上記実施例ではアーム位置制御系10には基準位置指
令値θ  、と位置補償値Δθ  ・をref、 + 
        ref、 +加算して入力することと
しているが、位置補償値Δθ、。(iの寄与は基準位置
指令値θ  ・に比raf、+ べて小さいので、基準位置指令値θ  ・を入力ref
、+ する頻度(例えば1μsに1回)に比べて位置補償値Δ
θ  ・を入力する頻度は少なくてもよいrer、 + (例えば3〜4μsに1回)。
■サーボモータ20としてダイレクトドライブモータを
用いたロボットでは、複数自由度相互の干渉力がモータ
のトルクに影響しやすいので、この発明の効果が特に大
きいが、ダイレクトドライブモータに限らず、他のタイ
プのモータを使用している場合や、直動アクチュエータ
を駆動手段として含むロボットにも適用可能である。
■上記実施例では水平2自由度を有するロボットへの適
用する例を示したが、これに限らず、−般の複数自由度
を有するロボットに適用できることはいうまでもない。
(発明の効果) 以上説明したように、この発明によればロボットアーム
の複数自由度間の相互干渉によるトルクを補償する補償
トルクを演算し、当該補償トルクに応じた位置補償値を
加味した制御入力値を駆動制御系に与えてエンドエフェ
クタの軌道を補償するようにしたので、複数自由度の相
互干渉を補償できるとともに、トルクセンサが不要でか
つ制御精度が良いという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
本発明の一実施例を適用するロボットアームの構成を示
す図、 第3図及び第4図は従来のロボットの制御ll装置を示
す図である。 1・・・座標変換器、   2・・・補償トルク演算器
、3・・・補償トルク変換器、4・・・指令位置変換器
5・・・加算器、    10・・・アーム位置制御系
、20・・・サーボモータ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数の自由度を有するロボットのアームの各自由
    度毎に設けられた駆動手段を、前記駆動手段に対応して
    設けられた駆動制御手段に制御入力を与えることによつ
    て駆動制御し、それによって前記ロボットのエンドエフ
    ェクタの軌道制御を行なうロボットの制御装置であって
    、 前記アームの相互の干渉を無視した場合に前記制御入力
    として与えるべき基準制御入力値を、前記エンドエフェ
    クタの所望の軌道から算出された前記アームの制御目標
    値に基いて求める基準制御入力値導出手段と、 前記干渉によつて前記駆動手段の駆動状態に生ずる影響
    を補償するために前記駆動手段が出力すべき一般化補償
    力の値を前記制御目標値に基づいて求める一般化補償力
    導出手段と、 前記駆動手段に前記一般化補償力を出力させるために前
    記制御入力として与えるべき制御入力補償値の値を求め
    る制御入力補償値導出手段と、前記基準制御入力値と前
    記制御入力補償値とを合成して前記駆動制御手段へ前記
    制御入力として与える合成手段とを備えることを特徴と
    するロボットの制御装置。
JP33149087A 1987-12-25 1987-12-25 ロボットの制御装置 Pending JPH01171004A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33149087A JPH01171004A (ja) 1987-12-25 1987-12-25 ロボットの制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33149087A JPH01171004A (ja) 1987-12-25 1987-12-25 ロボットの制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01171004A true JPH01171004A (ja) 1989-07-06

Family

ID=18244226

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33149087A Pending JPH01171004A (ja) 1987-12-25 1987-12-25 ロボットの制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01171004A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10329063A (ja) * 1997-05-28 1998-12-15 Yaskawa Electric Corp ロボット制御装置
CN102873685A (zh) * 2012-10-10 2013-01-16 浙江环球滤清器有限公司 机器人的机械误差补偿方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10329063A (ja) * 1997-05-28 1998-12-15 Yaskawa Electric Corp ロボット制御装置
CN102873685A (zh) * 2012-10-10 2013-01-16 浙江环球滤清器有限公司 机器人的机械误差补偿方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3217522B2 (ja) 精密位置決め装置
CN100441374C (zh) 用于机床的位置控制设备和位置控制方法
KR20080079590A (ko) 마찰 보상 방법, 마찰 보상기 및 모터 제어 장치
JP2005316937A (ja) 制御装置およびその制御方法
US9876448B2 (en) Position control apparatus
CN110398995A (zh) 一种压电陶瓷作动器的无模型跟踪控制方法及介质
JPH10128688A (ja) ロボットの非干渉化制御方法
JPH0722873B2 (ja) 送り軸の位置制御装置
JP2000148210A (ja) ゲイン算出装置
JP2004234205A (ja) 数値制御装置
JPH01171004A (ja) ロボットの制御装置
JP2000347740A (ja) 真空内リニアアクチュエータ機構及びその制御方法
JPH06332535A (ja) ロボットの制御装置
JP3497991B2 (ja) 駆動系の総合剛性測定装置
JP4507071B2 (ja) モータ制御装置
JPH11231940A (ja) ロボットの制御装置
WO2020184203A1 (ja) ロボット制御装置及びロボット制御方法
CN109048907B (zh) 消除惯量变化的机器人控制方法
JP2022092761A (ja) モータ制御装置およびモータ制御方法、撮像装置、制御システム
JPS61217802A (ja) ロボツト制御装置
JPH02307384A (ja) 電動機の速度制御装置
JPH0719180B2 (ja) 送り軸の位置制御方式
JPH0583922B2 (ja)
JPS63276607A (ja) マニピュレータ装置
JPH06266425A (ja) ロボットの制御装置