JPH01174893A - 真空炉 - Google Patents
真空炉Info
- Publication number
- JPH01174893A JPH01174893A JP33069987A JP33069987A JPH01174893A JP H01174893 A JPH01174893 A JP H01174893A JP 33069987 A JP33069987 A JP 33069987A JP 33069987 A JP33069987 A JP 33069987A JP H01174893 A JPH01174893 A JP H01174893A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soot
- conductive member
- electric
- surface roughness
- insulators
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Furnace Details (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は真空内で被処理物の熱処理、焼結、溶解等を
おこなう真空炉に関する。
おこなう真空炉に関する。
真空熱処理炉においては、たとえば炉内に設けた加熱用
の電気ヒータ等に給電する導電部材を支持しあるいは包
囲する電気絶縁体として、アルミナ磁器などの無機質材
料の焼成体から成る電気絶縁体を用いている。そしてこ
の電気絶縁体は、セラミック素地材料の成形体を焼成し
たままの粗い表面を有するものでありた。
の電気ヒータ等に給電する導電部材を支持しあるいは包
囲する電気絶縁体として、アルミナ磁器などの無機質材
料の焼成体から成る電気絶縁体を用いている。そしてこ
の電気絶縁体は、セラミック素地材料の成形体を焼成し
たままの粗い表面を有するものでありた。
ところが真空熱処理炉では、炉内に設けられる被処理物
の収容室を形成する断熱材や前記電気ヒータとして、カ
ーボンが使用されることが多いため、真空中で高温にな
ったカーボンが気化し、電気絶縁体の粗い表面に煤とし
て固着し絶縁度の低下を招くので、電気絶縁体は短期間
で取替える必要があり保守に手間がかかった。またイオ
ン浸炭炉のように、真空の炉内にＣＨ系ガスを送入する
炉においては、このＣＨ系ガス中のカーボン分に起因す
る煤が付加されるため、電気絶縁体の汚損が一層著しか
った。
の収容室を形成する断熱材や前記電気ヒータとして、カ
ーボンが使用されることが多いため、真空中で高温にな
ったカーボンが気化し、電気絶縁体の粗い表面に煤とし
て固着し絶縁度の低下を招くので、電気絶縁体は短期間
で取替える必要があり保守に手間がかかった。またイオ
ン浸炭炉のように、真空の炉内にＣＨ系ガスを送入する
炉においては、このＣＨ系ガス中のカーボン分に起因す
る煤が付加されるため、電気絶縁体の汚損が一層著しか
った。
この発明は上記従来の問題点を解決するもので、電気絶
縁体に煤が付着しにくく、また付着した煤の除去も容易
で、保守の手間がかからない真空炉を提供しようとする
ものである。
縁体に煤が付着しにくく、また付着した煤の除去も容易
で、保守の手間がかからない真空炉を提供しようとする
ものである。
しかしてこの出願の第１の発明の真空炉は、無機質材料
の焼成体から成る電気絶縁体を炉内にそなえた真空炉に
おいて、前記電気絶縁体の表面を表面あらさ０１７Ｓ以
下の滑かな面としたことを特徴とする真空炉である。
の焼成体から成る電気絶縁体を炉内にそなえた真空炉に
おいて、前記電気絶縁体の表面を表面あらさ０１７Ｓ以
下の滑かな面としたことを特徴とする真空炉である。
またこの出願の第１の発明の真空炉は、無機質材料の焼
成体から成る電気絶縁体を炉内にそなえた真空炉におい
て、前記電気絶縁体の表面を表面あらさ０．７３以下の
滑かな面とするとともに、前記表面に沿ってガス流通路
を設け、このガス流通路内に無酸化性雰囲気ガスを吹込
むガス吹込装置をそなえたことを特徴とする真空炉であ
る。
成体から成る電気絶縁体を炉内にそなえた真空炉におい
て、前記電気絶縁体の表面を表面あらさ０．７３以下の
滑かな面とするとともに、前記表面に沿ってガス流通路
を設け、このガス流通路内に無酸化性雰囲気ガスを吹込
むガス吹込装置をそなえたことを特徴とする真空炉であ
る。
〔作用〕
この発明の真空炉においては、電気絶縁体の表面が表面
あらさ０．７Ｓ以下の滑らかな面であるので、表面の微
小な凹部に煤が入り込みにくく、また入り込んだ煤も凹
部内に固着しにくい。このため電気絶縁体の表面への煤
の付着量は少なく、また付着した煤も振動を与えたりこ
することにより簡単に取ることができる。
あらさ０．７Ｓ以下の滑らかな面であるので、表面の微
小な凹部に煤が入り込みにくく、また入り込んだ煤も凹
部内に固着しにくい。このため電気絶縁体の表面への煤
の付着量は少なく、また付着した煤も振動を与えたりこ
することにより簡単に取ることができる。
さらに第２の発明の真空炉においては、ガス流通路内を
流れる無酸化性雰囲気ガスにより、電気絶縁体の表面の
凹部に付着しかけた煤が飛ばされ、表面への煤の付着量
はさらに低減化される。
流れる無酸化性雰囲気ガスにより、電気絶縁体の表面の
凹部に付着しかけた煤が飛ばされ、表面への煤の付着量
はさらに低減化される。
以下第１図および第２図により第１の発明の一実施例を
説明する。
説明する。
図中、１は真空熱処理炉で、２は鋼製の炉殻、３は被処
理物Ｗの装入される収容室４を形成する黒鉛Ｉ１ｍ製の
断熱材で、炉殻２に支持され接地されている。５は収容
室４内に設けられた黒鉛製のヒータで、抵抗熱により発
熱して被熱物Ｗを主として放射熱によりたとえば１００
０℃程度に加熱昇温させるものであり、交流電源６に接
続された黒鉛製の導電部材７．７により保持されている
。
理物Ｗの装入される収容室４を形成する黒鉛Ｉ１ｍ製の
断熱材で、炉殻２に支持され接地されている。５は収容
室４内に設けられた黒鉛製のヒータで、抵抗熱により発
熱して被熱物Ｗを主として放射熱によりたとえば１００
０℃程度に加熱昇温させるものであり、交流電源６に接
続された黒鉛製の導電部材７．７により保持されている
。
導電部材７の基部はセラミック製の絶縁体８により炉殻
２に支持され、また断熱材３の導電部材７が貫通する部
分には、筒状の電気絶縁体９が断熱材３に固定され、導
電部材７と電気絶縁体９との間にはすきま１０が設けで
ある。電気絶縁体９は高温にさらされるため煤が付着し
やすいので、アルミナ粉末を成形焼成したアルミナ磁器
の表面に磁器釉を釉がけし、表面粗さを０．７Ｓとしで
ある。
２に支持され、また断熱材３の導電部材７が貫通する部
分には、筒状の電気絶縁体９が断熱材３に固定され、導
電部材７と電気絶縁体９との間にはすきま１０が設けで
ある。電気絶縁体９は高温にさらされるため煤が付着し
やすいので、アルミナ粉末を成形焼成したアルミナ磁器
の表面に磁器釉を釉がけし、表面粗さを０．７Ｓとしで
ある。
また１１は炉殻２に設けた排気口２ａに接続した真空ポ
ンプ、１２は被処理物Ｗを載せる炉床で、図示を省略す
る支脚を介して炉殻２に固定されている。
ンプ、１２は被処理物Ｗを載せる炉床で、図示を省略す
る支脚を介して炉殻２に固定されている。
上記構成の真空熱処理炉１において、真空度１０ ’Ｔ
ｏｒｒ、収容室４内温度１０５０℃で３０分間加熱後真
空焼入する操業を２０回おこなったのち、電気絶縁体９
部分の点検をおこなったところ、煤の付着量は少なく、
また付着した煤もはけ等により容易に除去することがで
きた。これに対して比較例として、釉がけをおこなわな
い表面粗さ３Ｓの研摩仕上面を有する電気絶縁体９を用
いて、上記と同条件で炉操業をおこなったところ、電気
絶縁体表面には多聞の煤が付着しており、はけでこする
程度では煤は充分除去することができなかった。
ｏｒｒ、収容室４内温度１０５０℃で３０分間加熱後真
空焼入する操業を２０回おこなったのち、電気絶縁体９
部分の点検をおこなったところ、煤の付着量は少なく、
また付着した煤もはけ等により容易に除去することがで
きた。これに対して比較例として、釉がけをおこなわな
い表面粗さ３Ｓの研摩仕上面を有する電気絶縁体９を用
いて、上記と同条件で炉操業をおこなったところ、電気
絶縁体表面には多聞の煤が付着しており、はけでこする
程度では煤は充分除去することができなかった。
次に第３図および第４図は、第２の発明の一実施例を示
し、第１図および第２図と同一部分には同一符号を付し
て図示しである。２１はガス吹込管で、その先端は収容
室４の外側から、ガス流通路を形成するすきま１０に向
って開口している。
し、第１図および第２図と同一部分には同一符号を付し
て図示しである。２１はガス吹込管で、その先端は収容
室４の外側から、ガス流通路を形成するすきま１０に向
って開口している。
２２はガス供給源で、窒素ガスや水素ガスなどの無酸化
性雰囲気ガスをガス吹込管２１に圧送供給するためのも
のであり、ガス吹込管２１と共にガス吹込装置２０を形
成する。２３はガス吹込管２１を炉殻２に保持する絶縁
物である。
性雰囲気ガスをガス吹込管２１に圧送供給するためのも
のであり、ガス吹込管２１と共にガス吹込装置２０を形
成する。２３はガス吹込管２１を炉殻２に保持する絶縁
物である。
上記構成の真空熱処理炉２４において、真空度をＩ Ｔ
ｏｒｒとし、図示しないガス供給装置により収容室４内
に滲炭用のガスとしてアセチレンガスを１０ρ／ｍｉｎ
供給し、ガス供給源２２からガス吹込管２１に窒素ガス
を４ｊ／ｎ＋ｉｎ供給し、その他は前記実施例と同条件
で操業をおこなった。その結果、電気絶縁体９のすきま
１０側の表面には煤の付着は殆んど見出せなかった。こ
れに対して比較例として釉がけをおこなわない表面粗さ
３Ｓの研摩仕上面を有する電気絶縁体９を用いて、上記
と同条件で炉操業をおこなったところ、電気絶縁体９の
すきま１０側の表面にも多量の煤が付着しその除去は困
難であった。
ｏｒｒとし、図示しないガス供給装置により収容室４内
に滲炭用のガスとしてアセチレンガスを１０ρ／ｍｉｎ
供給し、ガス供給源２２からガス吹込管２１に窒素ガス
を４ｊ／ｎ＋ｉｎ供給し、その他は前記実施例と同条件
で操業をおこなった。その結果、電気絶縁体９のすきま
１０側の表面には煤の付着は殆んど見出せなかった。こ
れに対して比較例として釉がけをおこなわない表面粗さ
３Ｓの研摩仕上面を有する電気絶縁体９を用いて、上記
と同条件で炉操業をおこなったところ、電気絶縁体９の
すきま１０側の表面にも多量の煤が付着しその除去は困
難であった。
この発明は上記各実施例に限定されるもの１ではなく、
たとえば電気絶縁体９の構成材料は上記以外のものとし
てもよい。また上記実施例では電気絶縁体９の表面に釉
がけをしたので、表面粗さは容易に０．７ Ｓ以下とす
ることができるが、この他に電気絶縁体を構成する無機
質素地原料として微粒子原料を用い、成形焼成後研摩仕
上することによっても０．７ Ｓ以下の表面粗さとする
ことができる。また無酸化性雰囲気ガスを流通させるガ
ス流通路は、電気絶縁体９の外周側あるいは内外周両側
に設けてもよい。
たとえば電気絶縁体９の構成材料は上記以外のものとし
てもよい。また上記実施例では電気絶縁体９の表面に釉
がけをしたので、表面粗さは容易に０．７ Ｓ以下とす
ることができるが、この他に電気絶縁体を構成する無機
質素地原料として微粒子原料を用い、成形焼成後研摩仕
上することによっても０．７ Ｓ以下の表面粗さとする
ことができる。また無酸化性雰囲気ガスを流通させるガ
ス流通路は、電気絶縁体９の外周側あるいは内外周両側
に設けてもよい。
またこの発明は、たとえばイオン浸炭炉における陰極を
包囲する電気絶縁体のように、各種形状の電気絶縁体を
そなえた各種真空炉に適用できるものである。
包囲する電気絶縁体のように、各種形状の電気絶縁体を
そなえた各種真空炉に適用できるものである。
以上説明したようにこの発明によれば、電気絶縁体の表
面を表面あらさ０．７以下の滑らかな面としたので、煤
が付着しにくくまた付着した煤の除去も容易であり、電
気絶縁体のひんばんな交換は不要となり保守の手間がか
からない真空炉が提供される。
面を表面あらさ０．７以下の滑らかな面としたので、煤
が付着しにくくまた付着した煤の除去も容易であり、電
気絶縁体のひんばんな交換は不要となり保守の手間がか
からない真空炉が提供される。
第１図は第１の発明の一実施例を示す真空熱処理炉の縦
断面図、第２図は第１図のＡ部詳細図、第３図は第２の
発明の一実施例を示す第１図相当図、第４図は同じく第
２図相当図である。 １・・・真空熱処理炉、５・・・ヒータ、９・・・電気
絶縁体、１０・・・すきま、２０・・・ガス吹込装置、
２１・・・ガス吹込管、２２・・・ガス供給源、２４・
・・真空熱処理炉。
断面図、第２図は第１図のＡ部詳細図、第３図は第２の
発明の一実施例を示す第１図相当図、第４図は同じく第
２図相当図である。 １・・・真空熱処理炉、５・・・ヒータ、９・・・電気
絶縁体、１０・・・すきま、２０・・・ガス吹込装置、
２１・・・ガス吹込管、２２・・・ガス供給源、２４・
・・真空熱処理炉。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 無機質材料の焼成体から成る電気絶縁体を炉内にそ
なえた真空炉において、前記電気絶縁体の表面を表面あ
らさ０．７Ｓ以下の滑かな面としたことを特徴とする真
空炉。 ２ 無機質材料の焼成体から成る電気絶縁体を炉内にそ
なえた真空炉において、前記電気絶縁体の表面を表面あ
らさ０．７Ｓ以下の滑かな面とするとともに、前記表面
に沿つてガス流通路を設け、このガス流通路内に無酸化
性雰囲気ガスを吹込むガス吹込装置をそなえたことを特
徴とする真空炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33069987A JPH01174893A (ja) | 1987-12-26 | 1987-12-26 | 真空炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33069987A JPH01174893A (ja) | 1987-12-26 | 1987-12-26 | 真空炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01174893A true JPH01174893A (ja) | 1989-07-11 |
Family
ID=18235575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33069987A Pending JPH01174893A (ja) | 1987-12-26 | 1987-12-26 | 真空炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01174893A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0669236U (ja) * | 1993-03-16 | 1994-09-27 | 古河電気工業株式会社 | 加熱炉 |
| KR100765856B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2007-10-10 | 김철영 | 진공로의 가열장치 |
| WO2013032301A3 (en) * | 2011-08-31 | 2013-05-10 | Lg Innotek Co., Ltd. | Reaction container and vacuum heat treatment apparatus having the same |
| CN105345198A (zh) * | 2015-12-08 | 2016-02-24 | 湖南顶立科技有限公司 | 一种加热装置以及真空钎焊炉 |
-
1987
- 1987-12-26 JP JP33069987A patent/JPH01174893A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0669236U (ja) * | 1993-03-16 | 1994-09-27 | 古河電気工業株式会社 | 加熱炉 |
| KR100765856B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2007-10-10 | 김철영 | 진공로의 가열장치 |
| WO2013032301A3 (en) * | 2011-08-31 | 2013-05-10 | Lg Innotek Co., Ltd. | Reaction container and vacuum heat treatment apparatus having the same |
| CN105345198A (zh) * | 2015-12-08 | 2016-02-24 | 湖南顶立科技有限公司 | 一种加热装置以及真空钎焊炉 |
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