JPH01175748A - 導電性接着膜の圧着装置および圧着方法 - Google Patents
導電性接着膜の圧着装置および圧着方法Info
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- JPH01175748A JPH01175748A JP62335357A JP33535787A JPH01175748A JP H01175748 A JPH01175748 A JP H01175748A JP 62335357 A JP62335357 A JP 62335357A JP 33535787 A JP33535787 A JP 33535787A JP H01175748 A JPH01175748 A JP H01175748A
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- JP
- Japan
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- circuit board
- flexible circuit
- conductive adhesive
- adhesive film
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は長尺のフレキシブル配線基板に、導電性接着膜
を圧着する装置および方法に関するものである。
を圧着する装置および方法に関するものである。
[従来の技術]
フレキシブル配線基板上に設けられた配線パターン上に
、外部装置または回路との接続に用いるための導電性接
着膜(以下単に導電膜という)を圧着することがある。
、外部装置または回路との接続に用いるための導電性接
着膜(以下単に導電膜という)を圧着することがある。
従来は例えば第6図(A) 、 (B)にそれぞれ平面
図および断面図を示すように保護膜toxと積層されて
いる導電膜102を金型等を用いてあらかじめ所要の寸
法に切断していた。そのために余分の工程を必要とし、
また導電膜に無駄を生じ、経済的でないという欠点があ
った。
図および断面図を示すように保護膜toxと積層されて
いる導電膜102を金型等を用いてあらかじめ所要の寸
法に切断していた。そのために余分の工程を必要とし、
また導電膜に無駄を生じ、経済的でないという欠点があ
った。
第714 (A) 、 (B)にそれぞれ平面図および
断面図を示すように導電11i102を保護膜101と
共に所定の寸法に切断して使用する方法もあった。この
方法は導電膜を長尺のフレキシブル回路基板に連続的に
供給して連続的な作業を行うのに適していないという問
題があった。
断面図を示すように導電11i102を保護膜101と
共に所定の寸法に切断して使用する方法もあった。この
方法は導電膜を長尺のフレキシブル回路基板に連続的に
供給して連続的な作業を行うのに適していないという問
題があった。
[発明が解決しようとする問題点]
本発明は上述した従来の欠点を解決し、長尺のフレキシ
ブル回路基板の所要個所に連続して導電膜を供給し、圧
着作業を自動的に行うための装置および能率的な圧着方
法を提供することを目的とする。
ブル回路基板の所要個所に連続して導電膜を供給し、圧
着作業を自動的に行うための装置および能率的な圧着方
法を提供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段]
このような目的を達成するために、本発明装置は電子部
品が取付けられている長尺のフレキシブル回路基板に導
電性接着膜を圧着する装置において、フレキシブル回路
基板を給送するための第1の駆動手段と、導電性接着膜
を給送するための第2の駆動手段と、導電性接着膜をフ
レキシブル回路基板に対して上下動させ、かつ圧着させ
るための第3の駆動手段と、フレキシブル基板上の電子
部品および回路パターンの良否を検出する検出手段と、
検出手段の検出信号にもとづいて第1.第2および第3
の駆動手段を制御する制御手段とを具えたことを特徴と
する導電性接着膜の圧着装置。
品が取付けられている長尺のフレキシブル回路基板に導
電性接着膜を圧着する装置において、フレキシブル回路
基板を給送するための第1の駆動手段と、導電性接着膜
を給送するための第2の駆動手段と、導電性接着膜をフ
レキシブル回路基板に対して上下動させ、かつ圧着させ
るための第3の駆動手段と、フレキシブル基板上の電子
部品および回路パターンの良否を検出する検出手段と、
検出手段の検出信号にもとづいて第1.第2および第3
の駆動手段を制御する制御手段とを具えたことを特徴と
する導電性接着膜の圧着装置。
本発明装置は電子部品が取付けられている長尺のフレキ
シブル回路基板に導電性接着膜を圧着する方法において
、あらかじめフレキシブル回路基板上の電子部品および
回路パターンの良否を識別し、電子部品および回路パタ
ーンが正常であれば回路パターン上に導電性接着膜を圧
着し、電子部品または回路パターンが不良であれば導電
性接着膜を圧着せずにフレキシブル回路基板を移送する
ことを特徴とする。
シブル回路基板に導電性接着膜を圧着する方法において
、あらかじめフレキシブル回路基板上の電子部品および
回路パターンの良否を識別し、電子部品および回路パタ
ーンが正常であれば回路パターン上に導電性接着膜を圧
着し、電子部品または回路パターンが不良であれば導電
性接着膜を圧着せずにフレキシブル回路基板を移送する
ことを特徴とする。
[作 用]
本発明によれば、長文のフレキシブル回路基板と長尺の
導電膜の両者を給送し、フレキシブル回路基板上の電子
部品および回路パターンが正常な場合にのみ、導電膜を
フレキシブル回路基板の所要個所に圧着するので、導電
膜を有効に使用でき、また、圧着作業の能率を向上させ
ることができる。
導電膜の両者を給送し、フレキシブル回路基板上の電子
部品および回路パターンが正常な場合にのみ、導電膜を
フレキシブル回路基板の所要個所に圧着するので、導電
膜を有効に使用でき、また、圧着作業の能率を向上させ
ることができる。
[実施例]
以下に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明にかかる圧着装置を適用した導電膜貼合
せ機の概要を示す正面図である。
せ機の概要を示す正面図である。
本装置はフレキシブル回路基板1に導電膜2を貼合せる
装置である。
装置である。
第2図に示すようにフレキシブル回路基板1には、側端
部にパーフォレーション3が設けられている。基板上l
の所定の位置に集積回路4がすでに取付けられている。
部にパーフォレーション3が設けられている。基板上l
の所定の位置に集積回路4がすでに取付けられている。
5および6は配線パターンである。第1図に示した装置
によって、一方の配線パターン5上に定められた寸法の
導電1i2が貼合され、集積回路4によって制御される
例えば液晶表示器などの装置の必要端子が、後の工程に
よってこの導電膜2を介して配線パターン5に接続され
る。なお、図示されるように、集積回路が取付けられて
いない配線パターン上には導電膜は貼合わされない。I
Cは案内フィルムである。
によって、一方の配線パターン5上に定められた寸法の
導電1i2が貼合され、集積回路4によって制御される
例えば液晶表示器などの装置の必要端子が、後の工程に
よってこの導電膜2を介して配線パターン5に接続され
る。なお、図示されるように、集積回路が取付けられて
いない配線パターン上には導電膜は貼合わされない。I
Cは案内フィルムである。
フィルム状のフレキシブル回路基板1は、例えば厚さ1
00μI程度のポリイミド樹脂からなり、導電ll12
は、例えば特開昭61−55809号公報に開示されて
いる厚さ方向にのみ導電性を有する熱可塑性樹脂膜から
なり、導電膜2と保護膜2^とが積層されたものを用い
ることができる。
00μI程度のポリイミド樹脂からなり、導電ll12
は、例えば特開昭61−55809号公報に開示されて
いる厚さ方向にのみ導電性を有する熱可塑性樹脂膜から
なり、導電膜2と保護膜2^とが積層されたものを用い
ることができる。
本発明の詳細な説明する前に第1図示の装置について概
略説明する。
略説明する。
図において、11は装置本体である。フレキシブル回路
基板1は、取付けられている集積回路を保護するための
保護フィルムIAと重ね巻きされて供給リール12に巻
き付けられている。供給リール12の回転軸12^を駆
動してフレキシブル回路基板1をアイドラー13.テン
ションローラ14およびガイドローラ15を経て作業位
置Aに送り、さらにA部を経由してスプロケット16に
導く。この時保護フィルムIAはアイドラー17.テン
ションローラ18およびアイドラー19を経て巻取りリ
ール20に巻取られる。20は導電膜2をフレキシブル
回路基板1に貼合せる圧着へラド21および導電膜2を
一定の寸法に切断するカッターを搭載するベースであっ
て、本体11のフレーム22上を上下に移動可能である
。導電膜2は保護膜2Aと積層された状態で、供給リー
ル23に巻付けられている。リール23の回転軸23A
を駆動して導電膜2を保護膜2Aと共に送り出す。送り
出された導電膜2はアイドラー24゜25、テンション
ローラ26およびガイドローラ27を経て圧着ヘッド2
1に達する。導電膜とフレキシブル回路基板との貼合せ
が終了した後、保護膜2Aは送りローラ28によって引
き上げられ、ガイドローラ29.アイトローラ30.3
1およびテンションローラ32を経て巻取りリール33
に巻き取られる。
基板1は、取付けられている集積回路を保護するための
保護フィルムIAと重ね巻きされて供給リール12に巻
き付けられている。供給リール12の回転軸12^を駆
動してフレキシブル回路基板1をアイドラー13.テン
ションローラ14およびガイドローラ15を経て作業位
置Aに送り、さらにA部を経由してスプロケット16に
導く。この時保護フィルムIAはアイドラー17.テン
ションローラ18およびアイドラー19を経て巻取りリ
ール20に巻取られる。20は導電膜2をフレキシブル
回路基板1に貼合せる圧着へラド21および導電膜2を
一定の寸法に切断するカッターを搭載するベースであっ
て、本体11のフレーム22上を上下に移動可能である
。導電膜2は保護膜2Aと積層された状態で、供給リー
ル23に巻付けられている。リール23の回転軸23A
を駆動して導電膜2を保護膜2Aと共に送り出す。送り
出された導電膜2はアイドラー24゜25、テンション
ローラ26およびガイドローラ27を経て圧着ヘッド2
1に達する。導電膜とフレキシブル回路基板との貼合せ
が終了した後、保護膜2Aは送りローラ28によって引
き上げられ、ガイドローラ29.アイトローラ30.3
1およびテンションローラ32を経て巻取りリール33
に巻き取られる。
貼合せ作業の終了したフレキシブル回路基板はテンショ
ンローラ34およびガイドローラ35を経て次のユニッ
ト、例えばプレスユニット36に供給される。
ンローラ34およびガイドローラ35を経て次のユニッ
ト、例えばプレスユニット36に供給される。
フレキシブル回路基板および導電膜の移送過程において
、各フィルムおよび膜は、供給速度と巻取り速度の差に
よって生ずる張力と、フィルムまたは膜の強度との釣合
いを保つように、テンションローラ14,18,26.
32および34を経由するようになっている。例えば、
テンションローラ14は軸14Aによって揺動可能なア
ーム14Bの一端に支持され、アーム14Bの他端には
カウンターウェイト14Gが固定され、張力の変動によ
ってテンションローラ14は上下動する。テンションロ
ーラ18,26および34に対する軸18^、26^、
34^、アーム188,268゜348およびカウンタ
ーウェイト18C,26G、34Gの機能はそれぞれ1
4^、14Bおよび14Cと全く同様である。図示を省
略したがテンションローラ32も他のテンションローラ
と全く同様に動作する。
、各フィルムおよび膜は、供給速度と巻取り速度の差に
よって生ずる張力と、フィルムまたは膜の強度との釣合
いを保つように、テンションローラ14,18,26.
32および34を経由するようになっている。例えば、
テンションローラ14は軸14Aによって揺動可能なア
ーム14Bの一端に支持され、アーム14Bの他端には
カウンターウェイト14Gが固定され、張力の変動によ
ってテンションローラ14は上下動する。テンションロ
ーラ18,26および34に対する軸18^、26^、
34^、アーム188,268゜348およびカウンタ
ーウェイト18C,26G、34Gの機能はそれぞれ1
4^、14Bおよび14Cと全く同様である。図示を省
略したがテンションローラ32も他のテンションローラ
と全く同様に動作する。
本装置においては、先頭に従来例におけると同様に案内
フィルムを接続したフレキシブル回路基板をセンサ40
を用いて、最初の作業部位の位置決めを行ない、センサ
50によって位置の微調整を行った後、圧着ヘッド21
による導電膜2の貼合せを行う。その後カッターによっ
て導電膜2を切断し、貼合せ検査装置60によって貼合
せ状況を検査した後に、次の工程に移る。
フィルムを接続したフレキシブル回路基板をセンサ40
を用いて、最初の作業部位の位置決めを行ない、センサ
50によって位置の微調整を行った後、圧着ヘッド21
による導電膜2の貼合せを行う。その後カッターによっ
て導電膜2を切断し、貼合せ検査装置60によって貼合
せ状況を検査した後に、次の工程に移る。
以上の一連の動作および各フィルムと膜の供給および巻
取り速度の調整は1個の制御装置、例えばマイクロプロ
セッサによって制御されることができる。
取り速度の調整は1個の制御装置、例えばマイクロプロ
セッサによって制御されることができる。
第3図に第1図に示した装置のうち、作業位置の近傍の
拡大図を示す。
拡大図を示す。
11^は本体11の一部をなす架台であって、フレーム
22が固設されている。16Aは抑えローラ、22Aは
ベース20を移動させるためのシリンダ、22Bはその
ガイドである。70は第1図において図示を省略したカ
ッター、70Aはカッター70をベース20上で移動さ
せるシリンダ、70Bはそのガイドである。
22が固設されている。16Aは抑えローラ、22Aは
ベース20を移動させるためのシリンダ、22Bはその
ガイドである。70は第1図において図示を省略したカ
ッター、70Aはカッター70をベース20上で移動さ
せるシリンダ、70Bはそのガイドである。
架台11Aに設けられた貼付は台11B上に第1図に示
したセンサ40が設置されている。より詳しくは、セン
サ40は集積回路を検出する第1のセンサ41、パーフ
ォレーションを検出する第2のセンサ42、不良チ子ツ
タを行うための第3のセンサ43およびそれらを取付け
る取付台44からなっている。
したセンサ40が設置されている。より詳しくは、セン
サ40は集積回路を検出する第1のセンサ41、パーフ
ォレーションを検出する第2のセンサ42、不良チ子ツ
タを行うための第3のセンサ43およびそれらを取付け
る取付台44からなっている。
センサ41,42および43はそれぞれLEDなどの発
光部品とフォトトランジスタなどの受光部品からなり、
この例では発光部品から出射された光を被検出体に照射
し、反射光の有無を検出して被検出体の有無を検出する
。
光部品とフォトトランジスタなどの受光部品からなり、
この例では発光部品から出射された光を被検出体に照射
し、反射光の有無を検出して被検出体の有無を検出する
。
センサ41および42がそれぞれ電子部品4およびパー
フォレーションを検出する位置は、導電膜2がフレキシ
ブル回路基板1に圧着される位置より、電子部品1個手
前の位置、すなわち準備位置である。フレキシブル回路
基板1は電子部品4がこの位置に来た時に位置決めされ
、作業位置までの所定距離だけ給送されてセンサ50に
よって正確に位置を調整され、導電膜の圧着作業が行わ
れる。
フォレーションを検出する位置は、導電膜2がフレキシ
ブル回路基板1に圧着される位置より、電子部品1個手
前の位置、すなわち準備位置である。フレキシブル回路
基板1は電子部品4がこの位置に来た時に位置決めされ
、作業位置までの所定距離だけ給送されてセンサ50に
よって正確に位置を調整され、導電膜の圧着作業が行わ
れる。
しかし本発明においては、この準備位置において電子部
品4および配線パターン5および6が正常であるか否か
がチエツク、され、その結果に応じて、以後の動作を切
替えるようになっている。
品4および配線パターン5および6が正常であるか否か
がチエツク、され、その結果に応じて、以後の動作を切
替えるようになっている。
第4図に不良品チエツクのための不良表示孔IDを示す
。第1図に示した装置に供給される以前に、フレキシブ
ル回路基板上の個々の電子部品4および配線パターン5
および6が正常か否かがあらかしめ検査され、電子部品
や配線パターンが不良な場合は、フレキシブル回路基板
の定められた位置に不良表示孔10があけられている。
。第1図に示した装置に供給される以前に、フレキシブ
ル回路基板上の個々の電子部品4および配線パターン5
および6が正常か否かがあらかしめ検査され、電子部品
や配線パターンが不良な場合は、フレキシブル回路基板
の定められた位置に不良表示孔10があけられている。
センサ43はこの不良表示孔IDの有無を検出して、個
々の電子部品に対して導電膜を圧着すべきか否かの検出
信号を出力する。
々の電子部品に対して導電膜を圧着すべきか否かの検出
信号を出力する。
第5図のフローチャートを参照して本発明の詳細な説明
する。
する。
ステップSlにおいて、制御装置は第1図の供給ゾール
12およびスプロケット16を駆動してフレキシブル回
路基板1を給送し、ステップS2において、センサ41
,42の検出信号によって、電子部品が準備位置に到達
したと判断されるまで、給送を続ける。電子部品が準備
位置に到達すると、センサ43は不良表示孔lOの有無
を検出し、孔IDが検出されるとスゲツブS4において
シフトレジスタに“1”を記入し、検出されなければ“
0”を記入して、電子部品が作業位置へ達するようにフ
レキシブル基板1を給送する(ステップ55)。電子部
品が作業位置へ到達すると制御装置はシフトレジスタの
値を読み取り(ステップS6)、その値が“1”であれ
ば不良と判定して導電膜の圧着を行うことなく、次の電
子部品が準備位置にくるまでフレキシブル回路基板を給
送する。不良表示孔IOが検出されず、電子部品および
回路パターンが正常であると判断されるとステップS7
に進む。ここで制御装置は供給リール23および送りロ
ーラ28を駆動して導電膜2と保護膜2Aの積層体を圧
着ヘッド21の下面まで給送する。ついでS8において
、制御装置はフレーム22に固定したシリンダ22Aに
空気などの流体を送り、ベース20およびベース20に
座20^を介して固定した圧着ヘッド21を、フレーム
22に固定したがガイド22Bに沿って下降させ、導電
膜2をフレキシブル回路基板の所定の位置に圧着する。
12およびスプロケット16を駆動してフレキシブル回
路基板1を給送し、ステップS2において、センサ41
,42の検出信号によって、電子部品が準備位置に到達
したと判断されるまで、給送を続ける。電子部品が準備
位置に到達すると、センサ43は不良表示孔lOの有無
を検出し、孔IDが検出されるとスゲツブS4において
シフトレジスタに“1”を記入し、検出されなければ“
0”を記入して、電子部品が作業位置へ達するようにフ
レキシブル基板1を給送する(ステップ55)。電子部
品が作業位置へ到達すると制御装置はシフトレジスタの
値を読み取り(ステップS6)、その値が“1”であれ
ば不良と判定して導電膜の圧着を行うことなく、次の電
子部品が準備位置にくるまでフレキシブル回路基板を給
送する。不良表示孔IOが検出されず、電子部品および
回路パターンが正常であると判断されるとステップS7
に進む。ここで制御装置は供給リール23および送りロ
ーラ28を駆動して導電膜2と保護膜2Aの積層体を圧
着ヘッド21の下面まで給送する。ついでS8において
、制御装置はフレーム22に固定したシリンダ22Aに
空気などの流体を送り、ベース20およびベース20に
座20^を介して固定した圧着ヘッド21を、フレーム
22に固定したがガイド22Bに沿って下降させ、導電
膜2をフレキシブル回路基板の所定の位置に圧着する。
圧着ヘッド21は100〜150℃に加熱されており、
熱可塑性樹脂からなる導電1ij2は、フレキシブル回
路基板上によく接着される。次にステップS9において
カッタ70を動作させて導電llI2を切断し、圧着ヘ
ッド21を上昇させると、導電膜2はテフロンからなる
保護膜2^から分離して一つの貼合せ作業が終了する。
熱可塑性樹脂からなる導電1ij2は、フレキシブル回
路基板上によく接着される。次にステップS9において
カッタ70を動作させて導電llI2を切断し、圧着ヘ
ッド21を上昇させると、導電膜2はテフロンからなる
保護膜2^から分離して一つの貼合せ作業が終了する。
以後ステップ510において、全貼合せが終了したと判
断されるまで、1個づつ電子部品の位置を進めながら同
様の作業が繰返される。
断されるまで、1個づつ電子部品の位置を進めながら同
様の作業が繰返される。
[発明の効果]
以上説明したように、長尺のフレキシブル回路基板と長
尺の導電膜の両者を給送し、フレキシブル回路基板上の
電子部品および回路パ°ターンが正常な場合にのみ、導
電膜をフレキシブル回路基板の所要個所に圧着するので
、導電膜を有効に使用でき、また、圧着作業の能率を向
上させることができる。
尺の導電膜の両者を給送し、フレキシブル回路基板上の
電子部品および回路パ°ターンが正常な場合にのみ、導
電膜をフレキシブル回路基板の所要個所に圧着するので
、導電膜を有効に使用でき、また、圧着作業の能率を向
上させることができる。
第1図は本発明の導電性接着膜の圧着装置を適用した導
電膜貼合せ機の正面図、 第2図はフレキシブル回路基板の平面図、第3図は導電
膜貼合せ機の部分拡大図、第4図は不良表示孔を示す平
面図、 第5図は本発明の詳細な説明するフローチャート、 第6図および第7図は従来の導電性接着膜を示す図であ
る。 1・・・フレキシブル回路基板、 2・・・導電膜、 3・・・パーフォレーション、 3^・・・パーフォレーションのエツジ、4・・・電子
部品、 16・・・スプロケット、 21・・・圧着ヘッド、 22A・・・シリンダ、 40・・・センサ、 41・・・電子部品用センサ、 42・・・パーフォレーション用センサ、70・・・カ
ッタ。 6白乙礫ノ\?クー〉 第2図 第4図 v、3図 101イ呆fill災 包〒 ・7 WITH 774しΣ
電膜貼合せ機の正面図、 第2図はフレキシブル回路基板の平面図、第3図は導電
膜貼合せ機の部分拡大図、第4図は不良表示孔を示す平
面図、 第5図は本発明の詳細な説明するフローチャート、 第6図および第7図は従来の導電性接着膜を示す図であ
る。 1・・・フレキシブル回路基板、 2・・・導電膜、 3・・・パーフォレーション、 3^・・・パーフォレーションのエツジ、4・・・電子
部品、 16・・・スプロケット、 21・・・圧着ヘッド、 22A・・・シリンダ、 40・・・センサ、 41・・・電子部品用センサ、 42・・・パーフォレーション用センサ、70・・・カ
ッタ。 6白乙礫ノ\?クー〉 第2図 第4図 v、3図 101イ呆fill災 包〒 ・7 WITH 774しΣ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)電子部品が取付けられている長尺のフレキシブル回
路基板に導電性接着膜を圧着する装置において、 前記フレキシブル回路基板を給送するための第1の駆動
手段と、 前記導電性接着膜を給送するための第2の駆動手段と、 前記導電性接着膜を前記フレキシブル回路基板に対して
上下動させ、かつ圧着させるための第3の駆動手段と、 前記フレキシブル基板上の電子部品および回路パターン
の良否を検出する検出手段と、 該検出手段の検出信号にもとづいて前記第1,第2およ
び第3の駆動手段を制御する制御手段とを具えたことを
特徴とする導電性接着膜の圧着装置。 2)電子部品が取付けられている長尺のフレキシブル回
路基板に導電性接着膜を圧着する方法において、 あらかじめ前記フレキシブル回路基板上の電子部品およ
び回路パターンの良否を識別し、 前記電子部品および回路パターンが正常であれば該回路
パターン上に前記導電性接着膜を圧着し、前記電子部品
または回路パターンが不良であれば導電性接着膜を圧着
せずに前記フレキシブル回路基板を移送することを特徴
とする導電性接着膜の圧着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62335357A JPH01175748A (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | 導電性接着膜の圧着装置および圧着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62335357A JPH01175748A (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | 導電性接着膜の圧着装置および圧着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01175748A true JPH01175748A (ja) | 1989-07-12 |
Family
ID=18287624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62335357A Pending JPH01175748A (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | 導電性接着膜の圧着装置および圧着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01175748A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006352058A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-12-28 | Hitachi Chem Co Ltd | 異方導電接着フィルムの固定方法および固定装置 |
| JP2008157657A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-10 | Advantest Corp | Tcp試験装置及びtcp試験装置の段取方法 |
-
1987
- 1987-12-29 JP JP62335357A patent/JPH01175748A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006352058A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-12-28 | Hitachi Chem Co Ltd | 異方導電接着フィルムの固定方法および固定装置 |
| JP2008157657A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-10 | Advantest Corp | Tcp試験装置及びtcp試験装置の段取方法 |
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