JPH057535Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は薄膜の貼合せ状態、特に導電性接着膜
の回路基板への接着状態を検査する装置に関す
る。

〔考案が解決しようとする課題〕

フレキシブル回路基板上に設けられた配線パタ
ーン上に、外部装置または回路との接続に用いる
ための導電性接着膜（以下単に導電膜という）を
圧着することがある。

第１１図はフレキシブル回路基板１の配線パタ
ーン上に導電膜２を圧着した様子を示している。
フレキシブル回路基板１上には配線パターン５，
６が形成されており、集積回路などの電子部品４
がすでに取付けられている。本例では一方の配線
パターン５上に導電膜２が圧着されている。従来
は図示するように、長尺のフレキシブル回路基板
１を図示の破線Ｌに沿つて切断し、同じ幅に切断
された導電膜２を所定の位置に貼付していた。導
電膜２の貼付が完了すると貼付状態の検査が行わ
れ、検査に合格したものは次の工程に送られる。
しかしこの貼付状態の検査は従来非常に困難であ
つた。

第１２図は導電膜２が貼付されたフレキシブル
回路基板１の断面図である。フレキシブル回路基
板１は配線パターン５が接着剤５Ａによつてベー
スフイルムBFに接着された構造を有している。
導電膜２の厚さＴは10μm程度と非常に薄く、そ
れが配線パターン５に接している部分に傷をつけ
ると導電膜の機能が低下する。さらに導電膜２は
半透明で、かつベースフイルムBFとの明暗差が
少なく、導電膜２がベースフイルムBF上に存在
するか否かの判定を自動的に行うのが困難で、人
手による検査にたよらざるを得なかつた。またベ
ースフイルムBF上に接着剤５Ａの層が存在する
ので、フイルム全体の厚さH_fにはばらつきがあ
り、そのために導電膜２を加えた全体の厚さＨを
測定しても、導電膜２が正しく貼付されているか
否かの判定を行うことはできなかつた。

本考案は上述した従来の欠点を解消し、導電膜
の圧着検査を正確に行うことができ、かつ検査の
自動化に適した膜圧着検査装置を提供することを
目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

このような目的を達成するために、本考案はそ
れぞれの先端が一平面を形成するように支持体に
固定された複数の基準体と、支持体に固定され、
初期位置が平面上にあり、かつ変位可能な測定子
を有し、測定子の前期平面上からの変位量に応じ
て電気信号を出力するセンサと、先端によつて形
成される平面に向けて付勢されたばねによつて支
持された被測定物載置台と、支持体と被測定物載
置とを相対移動させる部材とを具えたことを特徴
とする。

〔作用〕

本考案によれば、複数個の基準ブロツクによつ
て平面を形成し、被測定物載置台をこの平面に追
随させるので、被測定物の表面は、例えその厚さ
にばらつきがあつても、同一平面上の複数点で抑
えることができる。そのために被測定物の表面の
凹凸を1μm程度の精度で検出し得るセンサによつ
て膜の貼合せ状態を正確にかつ自動的に検査する
ことができる。

〔実施例〕

以下に図面を参照して本考案を詳細に説明す
る。

第１図は本考案の膜貼合せ検査装置の側面図、
第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿つた断面図であ
り、第３図は同装置の正面図、第４図はその底面
図である。

４個の基準ブロツク１０１が、その下面が一平
面をなすように取付台１０３に固定されている。
ベース１０４には支持台１０５が固定され、支持
台１０５にはガイド１０６が固定されている。取
付台１０３はこのガイド１０６に沿つて上下動で
きるように、支持台１０５に固定されたシリンダ
１０７のピストンロツド１０７Ａに固定されてい
る。取付台１０３には、さらに２個のセンサ１０
２が固定されている。センサ１０２の先端の測定
子１０２Ａの先端位置は定常時は４個の基準ブロ
ツク１０１が形成する平面内にある。そして測定
子１０２Ａが定められた高さだけ上方へ変位する
と信号線１０２Ｂからその旨の信号を取り出せる
ようになつている。センサ１０２としては、例え
ば1μmの精度を有するBaumer ElectricAG社の
MY−COMを用いることができる。

第５図に各基準ブロツクおよびセンサの下面か
ら見た配置を示す。

一方、ベース１０４には基準台１０８が、その
表面を４個の基準ブロツク１０１が形成する平面
と平行を保つように固定されている。すなわち、
基準台１０８に固定されたブラケツト１０９に軸
受１１０を介して十字軸１１１が取付けられ、こ
の十字軸１１１は軸受１１２を介してベース１０
４に取付けられている。かくして基準台１０８は
十字軸１１１の直交する二つの軸の周囲で回転可
能である。さらに基準台１０８はベース１０４と
基準台１０８との間に設けられた４個のばね１０
８Ａによつて、４個の基準ブロツク１０１の形成
する平面と平行になるように付勢されている。

被測定物を基準台１０８上に載せ、シリンダ１
０７に空気などの流体を送つて取付台１０３を下
降させ、４個の基準ブロツク１０１を被測定物の
表面に接触させる。基準台１０８はばね１０８Ａ
によつて付勢されており、かつ十字軸の２本の軸
の交差中心１１１Ａを中心にして回転できるの
で、被測定物の厚さが一様でなくても、４個の基
準ブロツク１０１は一平面上で被測定物に接触
し、センサ１０２はその平面からの測定子１０２
Ａの変位によつて導電膜の有無を検出することが
できる。

第６図に導電膜が圧着されている長尺のフレキ
シブル回路基板の一例を示す。フレキシブル回路
基板１には、側端部にパーフオレーシヨン３が設
けられている。基板１上の所定の位置に集積回路
４がすでに取付けられている。５および６は配線
パターンである。一方の配線パターン５上に定め
られた寸法の導電膜２が貼合され、集積回路４に
よつて制御される例えば液晶表示器などの装置の
必要端子が、後の工程によつてこの導電膜２を介
して配線パターン５に接続される。なお、図示す
るように集積回路が取付けられていない配線パタ
ーンには、導電膜は貼合されない。ICは案内フ
イルムである。

フイルム状のフレキシブル回路基板１は、例え
ば厚さ100μm程度のポリイミド樹脂からなり、導
電膜２は、例えば特開昭61−55809号公報に開示
されている厚さ方向にのみ導電性を有する熱可塑
性樹脂膜からなり、導電膜２と保護膜２Ａとが積
層されたものを用いることができる。

フレキシブル回路基板を、スプロケツトによつ
て基準台１０８上に送り、個々の導電膜の貼合せ
状態を連続して自動的に検査することができる。

基準台１０８上に送られたフレキシブル回路基
板の被検査部位を第７図に示す。１０１Ａは基準
ブロツク１０１との接触点、１０２Ｃは測定点で
ある。導電膜２の厚さが10μmの時、例えばセン
サ１０７の測定子１０２Ａの変位量が8μm以上で
あればセンサはON出力を、8μm未満であれば
OFF出力を信号線１０２Ｂに出力するよう設定
する。従つて第８図に示すように導電膜が圧着貼
付されている時は２個のセンサ１０７からON信
号が出力され、第９図に示すように導電膜が貼付
けられている時には一方のセンサからはOFF信
号が出力されるので、貼付状態の良，不良を自動
的にかつ確実に検査することができる。

なお、本考案の膜貼合せ検査装置は、単体とし
ても使用できるが導電膜圧着装置に組み込むこと
によつて、その機能を一層よく発揮することがで
きる。

第１０図は本考案にかかる膜貼合せ検査装置を
適用した導電膜貼合せ機の概要を示す正面図であ
る。

図において、１１は装置本体である。フレキシ
ブル回路基板１は、取付けられている集積回路を
保護するための保護フイルム１Ａと重ね巻きされ
て供給リール１２に巻き付けられている。供給リ
ール１２の回転軸１２Ａを駆動してフレキシブル
回路基板１をアイドラー１３、テンシヨンローラ
１４およびガイドローラ１５を経て作業位置Ａに
送り、さらにＡ部を経由してスプロケツト１６に
導く。この時保護フイルム１Ａはアイドラー１７
Ａ、テンシヨンローラ１８およびアイドラー１７
Ｂを経て巻取りリール１９に巻取られる。２０は
導電膜２をフレキシブル回路基板１に貼合せる圧
着ヘツド２１および導電膜２を一定の寸法に切断
するカツターを搭載するベースであつて、本体１
１のフレーム２２上を上下に移動可能である。導
電膜２は保護膜２Ａと積層された状態で、供給リ
ール２３に巻き付けられている。リール２３の回
転軸２３Ａを駆動して導電膜２は保護膜２Ａと共
に送り出す。送り出された導電膜２はアイドラー
２４，２５、テンシヨンローラ２６およびガイド
ローラ２７を経て圧着ヘツド２１に達する。導電
膜とフレキシブル回路基板との貼合せが終了した
後、保護膜２Ａは送りローラ２８によつて引き上
げられ、ガイドローラ２９、アイドラー３０，３
１およびテンシヨンローラ３２を経て巻取りリー
ル３３に巻取られる。貼合せ作業の終了したフレ
キシブル回路基板はテンシヨンローラ３４および
ガイドローラ３５を経て次のユニツト、例えばプ
レスユニツト３６に供給される。

フレキシブル回路基板および導電膜の移送過程
において、各フイルムおよび膜は、供給速度と巻
取り速度の差によつて生ずる張力と、フイルムま
たは膜の強度との釣合いを保つように、テンシヨ
ンローラ１４，１８，２６，３２および３４を経
由するようになつている。例えば、テンシヨンロ
ーラ１４は軸１４Ａによつて揺動可能なアーム１
４Ｂの一端に支持され、アーム１４Ｂの他端には
カウンターウエイト１４Ｃが固定され、張力の変
動によつてテンシヨンローラ１４は上下動する。
テンシヨンローラ１８，２６および３４に対する
軸１８Ａ，２６Ａ，３４Ａ、アーム１８Ｂ，２６
Ｂ，３４Ｂおよびカウンターウエイト１８Ｃ，２
６Ｃ，３４Ｃの機能はそれぞれ１４Ａ，１４Ｂお
よび１４Ｃと全く同様である。図示を省略した
が、テンシヨンローラ３２も他のテンシヨンロー
ラと全く同様に動作する。

本装置においては、先頭に従来例におけると同
様に案内フイルムを接続したフレキシブル回路基
板を、センサ４０を用いて、最初の作業部位の位
置決めを行い、センサ５０によつて位置の微調整
を行つた後、圧着ヘツド２１による導電膜２の貼
合せを行う。その後カツターによつて導電膜２を
切断し、第１〜第５図に示した本考案による貼合
せ検査装置６０によつて貼合せ状況を検査した後
に、次の工程に移る。

以上の一連の動作および各フイルムと膜の供給
および巻取り速度の調整は、１個の制御装置、例
えばマイクロプロセツサによつて制御されること
ができる。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案によれば、複数個の
基準ブロツクによつて平面を形成し、被測定物載
置台をこの平面に追随させるので、被測定物の表
面は、例えその厚さにばらつきがあつても、同一
平面上の複数点で抑えることができる。そのため
に被測定物の表面の凹凸を1μm程度の精度で検出
し得るセンサによつて膜の貼合せ状態を正確にか
つ自動的に検査することができる。

従つて本考案は単独に使用する場合のみでな
く、長尺のフレキシブル回路基板に導電膜を自動
的に圧着する貼合せ機の検査工程に本装置を導入
すると一層有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の側面図、第２図は
その断面図、第３図は正面図、第４図は底面図、
第５図は基準ブロツクとセンサの配置図、第６図
はフレキシブル回路基板の平面図、第７図は本考
案の装置による検査法を説明する図、第８図およ
び第９図は導電膜の貼合せ状態を示す図、第１０
図は本考案の膜貼合せ検査装置を適用した導電膜
貼合せ機の正面図、第１１図および第１２図はそ
れぞれフレキシブル回路基板の平面図および断面
図である。 １……フレキシブル回路基板、２……導電膜、
５……配線パターン、５Ａ……接着剤、１０１…
…基準ブロツク、１０２……センサ、１０２Ａ…
…測定子、１０８……基準台、１０８Ａ……ば
ね。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 それぞれの先端が一平面を形成するように支持
   体に固定された複数の基準体と、 前記支持体に固定され、初期位置が前記平面上
   にあり、かつ変位可能な測定子を有し、該測定子
   の前記平面上からの変位量に応じて電気信号を出
   力するセンサと、 前記先端によつて形成される平面に向けて付勢
   されたばねによつて支持された被測定物載置台
   と、 前記支持体と前記被測定物載置台とを相対移動
   させる部材とを具えたことを特徴とする膜貼合せ
   検査装置。