JPH01180501A - 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分５Ｆコ 本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜付
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。

［従来の技術］ 従来、光を吸収する金属層を有する多層反射防止膜付着
透明板として、透明基板の一方の面に誂電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が３
０％〜８０％となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭８２−５８２０２で公知である。

この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反
射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層に
より光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとする
ものである。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような金属層を有する多層反射防止
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低下
できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板
をＣＲＴ等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を０．６％程度にま
でしか下げることができなかった。

［課題を解決するための手段］ この発明は、このような従来の問題点を解決すべくなさ
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。

この目的を達成するために、この発明は屈折率が１．４
０〜１．７０の透明基板の光の反射を防止するための反
射防止膜を付着した透明板において、該反射防止膜が２
．００〜２．４０の屈折率で、０．０７×λｏ／４〜１
．２０×λｏ／４（但しλＯは中心波長、以下同じ）の
光学膜厚である高屈折率誘電体層と、１．３７〜１．５
０の屈折率で、１．４０×λｏ／４〜１．７０×λｏ／
４の光学膜厚である第１の低屈折率誘電体層と、３０八
〜６０人のチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン
、ニッケル、ニッケル・クロム合金、またはステンレス
のいずれかの金ｖ４層または合金層と、１．３７〜１．
５０の屈折率で、０．８×λｏ／４〜１．０×λｏ／４
の光学膜厚の第２の低屈折率誘電体層とからなり、各層
が該透明基板表面から順次形成されている。

本発明において、屈折率が１．４０〜１．７０の透明基
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。

また、本発明において、前記高屈折率誘電体層として、
酸化チタン（Ｔｉ０２）、酸化タンタル（Ｔａ２　ｏｓ
　）　、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、チタン酸プラ
セオジム（Ｐ　ｒ　Ｔ　Ｉ　Ｏ３）　、酸化ハフニウム
（Ｈｆ０２）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、酸化スズ（Ｓｎ０
２）、酸化インジウム（Ｉｎ２０３）、及び錫をドープ
した酸化インジウム（例えば、酸化インジウムと酸化ス
ズの重量比が９５：５であるＩＴｏ）のいずれかを用い
ることができる。

更にまた、本発明において前記第１及び第２の低屈折率
誘電体層としてフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）、また
は酸化シリコン（Ｓｉ０２）のいずれかを用いることが
できる。

［作　用］ このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または合
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
熱論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。

［実施例１］ 以下、本発明の実施例を図面を引用して説明する。

第１図において、１は屈折率が１．５１のガラス板であ
って、ガラス板１の表面に反射防止膜６が形成されてい
る。反射防止膜６はガラス板１側から順次屈折率が２．
４０で、光学膜厚が０．　１８２５×λｏ／４（但しλ
Ｏ＝５０４ｎｍｘ以下同じ）の酸化チタン層２と、屈折
率が１．３７で、光学膜厚が１．５８２９×λｏ／４の
フッ化マグネシウム層３と、膜厚が３５Ａのステンレス
層４（ステンレスは７２重量％のニッケル、１６重量％
のクロム及び８重量％の鉄の合金である）と、屈折率が
１．３７で、光学膜厚が０．９３３１×λｏ／４のフッ
化マグネシウム層５とからなり、各層はガラス板１面上
に順次真空蒸着法で形成された。

反射防止膜６を形成したガラス板１のガラス面側をガラ
スと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、ＣＲＴ
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第１表に夫々示した。

第１表 ［実施例２コ 第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止Ｍ６の多層膜を以下の如く変えた。

すなわち、反射防止膜６は屈折率が２．１５で、光学膜
厚が０．２３８５×λｏ／４のチタン酸プラセオジム層
２と、屈折率が１．３７で、光学膜厚が１．５５８２×
λｏ／４のフッ化マグネシウム層３と、膜厚が３８Ａの
ニッケル・クロム合金（９０重量％のニッケルと１０重
１ｉ％のクロムとの合金）層４と、屈折率が１．３７で
、光学膜厚が０．９３３６×λｏ／４のフッ化マグネシ
ウム！３５とからなり、これらの層はガラス板１上に順
次真空蒸着法により形成された。

このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例１と同様にし、て光学特性を測定したところ、第１表
に示したとおり視感度反射率が０゜０６％、視感度透過
率が５８％であった。

［実施例３コ 第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如くした。

すなわち、反射防止膜は屈折率が２．４０で、光学膜厚
が０．２３５７×λｏ／４の酸化チタン層２と、屈折率
が１．４６で、光学膜厚が１．６１０５×λｏ／４の酸
化シリコン層３と、膜厚が４３Ａのステンレス層４（７
２重量％のニッケルと１６玉ｍ％のクロムと８重量％の
鉄との合金）と、屈折率が１．４６で、光学膜厚が０．
９２６０×λｏ／４の酸化シリコンとからなり、各層は
ガラス板１上に順次スパッタ法により形成された。

このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表に
示したとおり、視感度反射率が０゜０８％、視感度透過
率が５４％であった。

［発明の効果コ 以上のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防止
膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れるこ
とにより、ＣＲＴ等の反射防止板として使用した場合に
は視感度反射率を０．１％以下のきわめて小さくするこ
とができる。

従って、ＣＲＴの画面が見やすくなり、更に光吸収の金
属層または合金属によりＣＲＴの蛍光面に入射する光が
吸収されてコントラストがよくなる。また前記金属層ま
たは合金層をアースすることにより、前記透明板に帯電
防止機能を付与することができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 １：透明板、２：高屈折率誘電体層、 ３：第１の低屈折率誘電体層 ４：金属層または合金層 ５：第２の低屈折率誘電体層 ６：反射防止模 第１図 第２図 第３図 波長（ｎｍ）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）屈折率が１．４０〜１．７０の透明基板の光の反
   射を防止するための反射防止膜を付着した透明板におい
   て、該反射防止膜が２．００〜２．４０の屈折率で、０
   ．０７×λｏ／４〜１．２０×λｏ／４（但しλｏは中
   心波長、以下同じ）の光学膜厚である高屈折率誘電体層
   と、１．３７〜１．５０の屈折率で、１．４０×λｏ／
   ４〜１．７０×λｏ／４の光学膜厚である第１の低屈折
   率誘電体層と、３０Å〜６０Åのチタン、クロム、ジル
   コニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケル・クロム合
   金、またはステンレスのいずれかの金属層または合金層
   と、１．３７〜１．５０の屈折率で、０．８×λｏ／４
   〜１．０×λｏ／４の光学膜厚の第２の低屈折率誘電体
   層とからなり、各層が該透明基板表面から順次形成され
   てなる金属膜を有する反射防止膜付着透明板。
2. （２）前記高屈折率誘電体層が酸化チタン、酸化タンタ
   ル、酸化ジルコニウム、チタン酸プラセオジム、酸化ハ
   フニウム、硫化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム、及び
   錫をドープした酸化インジウムのいずれかである特許請
   求の範囲第１項に記載の金属膜を有する反射防止膜付着
   透明板。
3. （３）前記第１及び第２の低屈折率誘電体層がフッ化マ
   グネシウム、または酸化シリコンのいずれかである特許
   請求の範囲第１項または第２項に記載の反射防止膜付着
   透明板。