JPH01182011A

JPH01182011A - スライシングマシンおよびその制御方法

Info

Publication number: JPH01182011A
Application number: JP63007056A
Authority: JP
Inventors: Keiji Kawaguchi; 川口　桂司; Tatsumi Hamazaki; 辰己濱崎; Yoshihiro Tadera; 田寺　慶宏; Yukio Yamazaki; 幸雄山崎
Original assignee: Mazda Motor Corp
Current assignee: Mazda Motor Corp
Priority date: 1988-01-18
Filing date: 1988-01-18
Publication date: 1989-07-19
Anticipated expiration: 2009-09-14
Also published as: KR890011678A; JPH0671727B2; KR930010152B1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、例えば、シリコンインゴットからシリコン
ウェハを薄く切り出す際に用いられるスライシングマシ
ンおよびその制御方法に関する。

［従来の技術］一般に、スライシングマシンにおいては、種々の切断方
式が用いられており、例えば、円形状内周切刃を有する
切断工具を工具取付は第に取付けて、この切断工具を回
転駆動し、ワークに対してこの回転している切断工具を
送り移動させて切断させる技術がある。このような切断
方式においては、シリコンインゴットからシリコンウェ
ハを効率良く薄く切り出すことが可能となるものである
。

しかしながら、このような切断方式においては、切刃と
ワークとの間の切削抵抗により、切刃が回転軸方向に沿
って変位、換言すれば、撓むことになり、切断されたワ
ークの切断面における真直度が悪くなるという問題点が
指摘されている。

このため、従来のスライシングマシンにおいては、特開
昭６１−１０６２０７号公報に示されるように、切断さ
れたウェハの面精度を向上させるために、ブレードの取
付は用中空スピンドル内に研削機構としての砥石を設け
、この砥石により、切断加工前にブレードの端面に取付
けられた切刃を研削する構成が既に知られている。この
ように、切刃を常に切断加工前に研削することにより、
切削抵抗を減して、切刃が撓まないようにし、切断面の
真直度を確保しようとするものである。

［発明が解決しようとする課題］しかしながら、このような従来構成においては、切刃の
研削装置を別途必要とし、構成が複雑になると共に、製
造コストの無用な上昇を招く問題点が新に指摘されてい
る。

この発明は上述した問題点に鑑みてなされたもので、こ
の発明の目的は、簡単な構成で、安価に、被加工物の加
工面の面精度を向上させることの出来るスライシングマ
シンおよびその制御方法を提供することである。

［課題を解決するための手段］上述した課題を解決し、目的を達成するため、この発明
に係わるスライシングマシンは、周囲に切刃を有する切
断工具と、この切断工具が取付けられ、回転駆動可能に
支持されると共に、回転数に応じて回転軸方向に沿って
変位するように支持された回転体と、前記切断工具の近
傍に、所定間隔を有して配置され、この切断工具の切断
時の変位量を検出する検出手段と、この検出手段におい
て検出された変位量を零となるような前記回転体の補正
回転数を算出する補正演算手段と、この補正演算手段で
算出された補正回転数で、上記回転体の回転数を修正す
る制御手段とを具備する事を特徴としている。

また、この発明に係わるスライシングマシンは、前記回
転体に支持される切断工具に対応して、回転体の回転数
とこの回転数に応じた切断工具の変位量との相関関係が
記憶されている記憶手段を更に具備する事を特徴として
いる。

また、この発明に係わるスライシングマシンは、前記補
正演算手段で算出された補正回転数が、所定回転数を越
えた時点で、切断工具のドレス信号を発するドレス時期
検出手段を更に具備する事を特徴としている。

また、この発明に係わるスライシングマシンの制御方法
は、回転駆動可能に支持された回転体に、周囲に切刃を
有する切断工具を、回転数に応じて回転軸方向に沿って
変位するように支持し、この切断工具の切断時の変位量
を検出し、検出した変位量が零になるように、前記回転
体の回転数を制御する事を特徴としている。

［作用］以上のように構成されたこの発明に係わるスライシング
マシンにおいては、切断工具の切断時の変位が、検出手
段により検出されると、この検出手段において検出され
た変位量を零にするような回転体の補正回転数が補正演
算手段において算出され、制御手段によりこの算出され
た補正回転数で回転体の回転数が修正されることになる
。このようにして、切断工具の変位は実質的に発生しな
いように制御され、被加工物の加工面の面制度は良好に
向上されることになる。

［実施例］以下に、この発明に係わるスライシングマシンおよびそ
の制御方法の一実施例を添付図面を参照して、詳細に説
明する。

第１図に示すように、この一実施例のスライシングマシ
ン１０は、被加工物としてのシリコンインゴットＳｌを
薄く切り出してシリコンウェハを形成するものであり、
図示しない土台上に固定された基台１２と、この基台１
２上に立設されたスタンド１４と、このスタンド１４に
並設された状態で、基台１２上にスライド可能に取り付
けられたスライド台１６とを備えている。このスライド
台１６は、スタンド１４に対して進退するように、図中
左右方向に沿ってスライドするよう構成されている。

このスタンド１４の上部には、図中左右方向に離間した
状態で一対のプーリ１８ａ、１８ｂが回転自在に軸支さ
れており、これらプーリ１８ａ。

１８ｂには、ワイヤ２０が懸架されている。このワイヤ
２０の図中左端には、ウェイト２２が接続され、また、
図中右端、即ち、スライド台１６側の端部には、リフト
台２４が接続されている。

このリフト台２４には、主軸２６が水平方向に沿って延
出した状態で、軸受機構２８を介して水平軸回りに回転
自在に軸支されている。この軸受機構２８の上部には、
主軸２６を回転駆動させるための第１の駆動モータ３０
が載置されている。

一方、主軸２６の端部には従動プーリ３２が同軸に固着
され、第１の駆動モータ３０の駆動軸３０ａには駆動プ
ーリ３４が同軸に固着されている。これら従動プーリ３
２と駆動プーリ３４との間には、エンドレスヘルド３６
が捲回されている。このようにして、第１の駆動モータ
３０の起動に伴ない、主軸２６は回転駆動されることに
なる。

一方、上述したリフト台２４には、上下方向に延出した
ボールねじ３８が螺合した状態で貫通しており、このボ
ールねじ３８の上端は、スタンド１４の上面に取り付け
られた第２の駆動モータ４０の駆動軸４０ａに一体的に
連結されている。

ここで、上述したウェイト２２は、リフト台２４、主軸
２６、軸受機構２８、第１の駆動モータ３０を合わせた
重量と略同じ重量に設定されている。このようにして、
第２の駆動モータ４０は、低負荷で、主軸２６を上下方
向に沿って移動駆動することが出来ることになる。

この主軸２６の図中右端には、テンションディスク４２
が同軸に一体に取り付けられている。このテンションデ
ィスク４２のスライド台１６側の端面は、全面に渡って
開放されており、ここには円板状の薄板からなるブレー
ド４４が垂直方向に沿って延出するように、緊張された
状態で張設されている。このブレード４４は、中央部分
に開口が形成されており、所謂ドーナツツ状を呈してい
る。このブレード４４の内周縁には、全周に渡って切刃
（内周刃）４６が形成されている。このプレート４４と
切刃４６とは、シリコンインゴットＳＩを薄く切り取る
（スライス）するための切断工具を構成している。

一方、前述したスライド台１６上には、シリコンインゴ
ットＳＩが支持されるスライドテーブル４８が、図中左
右方向に沿ってスライド自在にか取り付けられている。

また、このスライド台１６の図中右端には、第３の駆動
モータ５０が載置されており、この第３の駆動モータ５
０の駆動軸５０ａは、図中左右方向に沿って延出するよ
うに設定されている。この駆動軸５０ａには、これと一
体回転するように、ボールねじ５２が接続されている。

そして、このボールねじ５２は、スライドテーブル４８
に螺合している。このようにして、第３の駆動モータ５
０の起動に応じて、スライドテーブル４８は、図中左右
方向に沿って、換言すれば、切断工具に対して進退する
ように駆動されることになる。

ここで、このスライド台１６は、テンションディスク４
２への切断工具の取り外しの際に、この取り外し動作を
邪魔しないようにするために、テンションディスク４２
から離間するようにスライドされ、一方、スライドテー
ブル４８は、シリコンインゴットＳＩのスライス動作の
際に、スライド台１６を固定した状態で、スライスする
厚みに対応した距離だけ、テンションディスク４２に向
けてスライドされるものである。

尚、前述した切断工具を構成するトーナッッ上のブレー
ド４４は、１ｍｍ以下の極めて薄い鋼板から形成されて
おり、内周切刃４６は、ダイヤモンド粒子をバインダを
介して焼結させたものから構成されている。

また、このブレード４４は、上述したように、極めて薄
いものであるので、例え、これをテンションディスク４
２に所定の張力で緊張させた状態で張設させたとしても
、回転軸方向に沿って変位する可能性がある。即ち、主
軸２６の下降に伴ない切刃４６がシリコンインゴットＳ
Ｉに当接し、これをスライスする際において、切刃４６
とシリコンインゴットＳＩとの間に生じる切削抵抗によ
り、ブレード４４は図中左右方向に沿って変位すること
になる。

このブレード４４の変位量を検出するため、このプレー
ト４４に対して非接触な状態で変位検出機構５４が設け
られている。この変位検出機構５４は、ブレード４４の
両側面に夫々対向するように配置された第１及び第２の
変位計５４ａ。

５４ｂを備えている。各変位計５４ａ、５４ｂは、所謂
磁気センサから形成され、非接触の状態で、プレート４
４の対応する表面までの距離を検出するように構成され
ている。

尚、これら第１及び第２の変位計５４８゜５４ｂは、共
に減算器５６に接続されており、この減算器５６におい
て、両変位計５４ａ、５４ｂからの出力は、互いに減じ
られるよう構成されている。このようにして、例え、各
変位計５４ａ。

５４ｂからの出力に定期的な変動要素（ノイズ）が含ま
れていたとしても、その変動要素は減算により差し引か
れ、消滅する。

即ち、第１の変位計５４ａからは、第１の出力信号Ａ１
が、第２の変位計５４ｂからは、第２の出力信号Ａ２が
夫々出力される場合において、第１の出力信号Ａ１は、
Ａ１にり、＋Ｎ。

第２の出力信号Ａ２は、Ａ２　＝　Ｌ２　＋　Ｎ　　で
夫々表すことが出来るものである。ここで、符合り、、
ｔ、２は、夫々本来の検出出力分（即ち、各変位計とブ
レードの対応する側面との間の距離に応じた値）であり
、符合Ｎは、上述したノイズ分を示している。

そして、減算器５６において、Ａ　ＩＡ　２の演算が実
行されることにより、この減算器５６からは、（Ｌ＋　
＋Ｎ）　　　（Ｌ２　十Ｎ）≠Ｌ、−Ｌ２の演算結果が
出力されることになる。このように、この減算器５６か
らの出力には、ノイズ分Ｎが含まれていないものである
。

以下に、第２図を参照して、この一実施例における、ス
ライシング時でのブレード４４の撓みを一定に維持する
ためのフィードバック制御系の構成を説明する。

上述した減算器５６の出力端は、図示するように、較正
装置５８と、基準変位記憶装置６０と、オペアンプ６２
の反転入力端とに、各々接続されている。また、この基
準変位記憶装置６０の出力端は、オペアンプ６２の非反
転入力端に接続されている。

ここで、上述した較正装置５８には、記憶手段の一態様
であり、第１の駆動モータ３０の回転信号が入力されて
おり、この較正装置５８は、図示していないが、入力さ
れた回転信号に基づき主軸２６０回転数を検知する第１
の検知器と、減算器５６から入力された変位信号に基づ
きブレード４４の変位量を検知する第２の検知器とを備
えている。そして、この較正装置５８は、第１及び第２
の検知器からの検知結果に基づいて、ブレード４４の回
転数と撓みとの間の相関関係を示す値、換言すれば、こ
のフィードバック系における伝達係数ｋを規定して記憶
するように構成されている。

即ち、ブレード４４は、回転に伴なう遠心力により撓む
（変位）ことになるが、この伝達係数ｋを知ることによ
り、逆に、−旦撓んだブレード４４を所定の初期位置ま
て復帰させるに必要な回転数の減少量を算出することが
可能となる。

この較正装置５８における伝達係数ｋを求める較正動作
（キャリブレーション）は、シリコンインゴットＳＩを
スライスしない状態で、切断工具を空回しした際の、ブ
レード４４の回転数（即ち、主軸２６の回転数）と、撓
み量（変位量）との関係から求められるものであり、例
えば、第３図に示すように求められるものである。

この伝達係数には、夫々のブレード４４毎に異なるもの
であり、換言すれば、各ブレード４４が固有に有する値
であり、しかも、テンションディスク４２への取り付け
の際の張力によっても異なるものである。このようにし
て、この較正動作は、ブレード４４を付は替える毎に実
行され、それ毎に伝達係数ｋを規定し直し、記憶し直す
ようになされている。ここで、この伝達係数には、第３
図から明かなように、定数では無く、所定の関数として
表されるものである。

尚、この較正装置５８の出力端は、後述する演算装置６
４に接続され、この演算装置６４に伝達係数ｋが出力さ
れるように構成されている。

一方、上述した基準変位記憶装置６０は、シリコンイン
ゴットＳＩのスライシング動作に際して採用される回転
数、例えば、この一実施例においては、１，２００　ｊ
、ｐ、ｍ、、で主軸２６が回転される際に発生するブレ
ード４４の変位量（撓み）を記憶し、常時、オペアンプ
６２の非反転入力端子に出力するものである。即ち、実
際のスライシング動作においては、第１の駆動モータ３
０が起動して主軸２６の回転数が、この１．’２００ｒ
、ｐ、ｍ、に至った後に、第２の駆動モータ４０が起動
して、切断工具を下降させることになるが、この基準変
位量は、主軸２６の回転数が、所定の設定数に至った時
点で、第２の駆動モータ４０が起動する前の段階でのブ
レード４４の変位量から規定されるものである。

換言すれば、スライシング動作に際して、ブレード４４
が撓むと、この基準変位量から検出変位量がずれ込むこ
とになる。そして、このずれ量を補正すべく、これに対
抗するようにブレード４４を変位させることにより、ブ
レード４４は初期状態に維持され、シリコンインゴット
ＳＩの切断面は、直立度を良好に維持された状態で形成
されることになる。

ここで、この一実施例においては、フレート４４のずれ
量を補正すべく、これに対抗するようにブレード４４を
変位させる手段を、主軸２６の回転数を制御することに
より実行するように構成されている。

即ち、上述したように、オペアンプ６２には、基準変位
記憶装置６０と減算器５６とからの出力信号が夫々入力
されており、ここで、百出力の偏差が取られるようにな
されている。換言すれば、基準変位量と現在の検出変位
量との偏差が、このオペアンプ６２から出力されること
になる。

このオペアンプ６２の出力端は、演算装置６４に接続さ
れており、この演算装置６４は、既に基準変位量と現在
の検出変位量との偏差を減じるに必要な回転数の変化量
（補正回転数）を、較正装置６置５８において予め規定された伝達係数ｋから演算する
よう構成されている。即ち、この演算装置６４において
は、ブレード４４を切削抵抗等により変位した量と同じ
値の変位量だけ、変位した方向とは逆方向に変位するに
必要な、主軸２６の回転数を補正するための補正回転数
が演算されることになる。

この演算装置６４の出力端は、第１の駆動モータ３０用
の制御装置６６に接続されている。この制御装置６６は
、演算装置６４において演算された所の、基準変位量と
現在の検出変位量との偏差を減じるに必要な回転数の変
化量（補正回転数）を示す信号を受けて、第１の駆動モ
ータ３０を、この変化量に応じて回転数を変化させるよ
うに回転駆動制御するように構成されている。

一方、この演算装置６４には、ここで算出された補正回
転数が、所定回転数を越えた時点で、切断工具のドレス
信号を発するドレス時期検出手段としてのドレス時期検
出装置６８が接続されている。即ち、切刃４６が鈍って
くると、切削抵抗が増大し、ブレード４４が撓み易くな
る。ここで、ブレード４４の撓みが所定の限界値（閾値
）を越えた場合に、ブレード４４が塑性変形して、この
撓みが永久変形としてブレード４４の形状に残ることに
なる。従って、この撓みがブレード４４に残らないよう
にするために、撓みが閾値を越えた場合に、切刃４６の
切れ味を元に戻すために、ドレス（研ぎ直し）を実行す
るようにしなければならない。ここで、上述した所定回
転数は、この撓みの閾値に対応する回転数として規定さ
れているものである。

このドレス時期検出装置６８からドレス信号が出力され
ることにより、図示しないドレス指示器が例えば点灯し
、操作者にこの切断工具のドレス時期が到来したことを
認識させるものである。

尚、このドレス動作は、図示しないホワイトストーンを
スライシングすることにより実行されるものである。

以上のように構成されるスライシングマシン１０におけ
るブレード４４の回転軸方向に沿う変位（撓み）を制御
する制御方法について、以下に説明する。

先ず、テンションディスク４２に新なブレード４４が付
は替えられると、この付は替え動作毎に、較正動作が実
行される。

即ち、スライド台１６がテンションディスク４２から大
きく引き離され、新なブレード４４がテンションディス
ク４２に装着された時点で、第１の駆動モータ３０のみ
を回転駆動し、切刃４６によりシリコンインゴットＳｌ
をスライシングしない状態で、切断工具を空回転させる
。この切断工具が空回転している状態における主軸２６
の回転数、即ち、ブレード４４０回転数と、減算器５６
からのブレード４４の回転数に応じた変位量、即ち、撓
み量との相関関係から規定される伝達係数ｋを、較正装
置５８において決定し、ここに記憶する。

また、スライシング動作において用いられる主軸２６の
回転数におけるブレード４４の変位が、基準変位として
基準変位記憶装置６０に記憶される。

このように較正動作、及び、基準変位の記憶が実行され
た後において、第１の駆動モータ３０が主軸２６を所定
の回転数で回転駆動したままの状態で、スライド台１６
はテンションディスク４２に近接する所定の設定位置ま
でスライドされ、第３の駆動モータ５０が起動して、シ
リコンインゴットＳｌは、所定のスライス位置まてスラ
イドされる。この後、第２の駆動モータ４０が起動して
、リフト台２４を押し下げ、主軸２６の回転に伴ない回
転している切断工具の切刃４６の上方部分が、シリコン
インゴットＳＩに上方から当接し、これをスライスする
ことになる。

ここて、このスライシング動作が実行されていくと、切
刃４６とシリコンインゴットとの間の切削抵抗等により
、ブレード４４が回転軸方向に沿って更に撓むことにな
る。しかしながら、この一実施例においては、以下に説
明するように、ブレード４４の変位に対してフィードバ
ック制御を実行しているのて、ブレード４４の変位は、
基準変位に良好に保たれ、このブレード４４に取り付け
られた切刃４６により切断されるシリコニンゴットＳＩ
の切断面の加工制度、詳細には、直立度が良好に維持さ
れることになる。

即ち、ブレード４４が基準変位から更に変位すると、こ
の変化は、第１及び第２の変位計５４ａ、５４ｂの出力
値に現れ、減算器５６の出力結果にそのまま反映される
ことになる。このような減算器５６からの出力信号は、
オペアンプ６２の反転入力端子に入力されており、この
結果、オペアンプ６２の出力端子からは、この減算器５
６からの現時点における変位と、基準変位との偏差が出
力されることになる。

そして、演算装置６４は、この偏差に基づき、この偏差
がτとなるに、換言すれば、ブレード４４の変位が基準
変位に戻ることになるのに必要な回転数の変化量（補正
回転数）を、較正装置５８からの伝達係数ｋに基づいて
算出する。この演算装置６４は、算出した補正回転数を
第１の駆動子−タ用の制御装置６６に出力し、この制御
装置６６は、この補正回転数に応じた回転数だけ、主軸
２６の回転数を変化するように、第１の駆動モータ３０
の回転駆動を制御する。

具体的には、ブレード４４は、回転に伴なう遠心力によ
り、主軸２６から離れる方向に変位することになる。一
方、例えば、ブレード４４が主軸２６から離れる方向に
変位した場合には、第１の変位計５４ａの出力が小さく
なり、第２の変位計５４ｂの出力が大きくなる。この結
果、減算器５６からの出力は小さくなる。換言すれば、
減算器５６からの出力が小さくなれば、ブレード４４が
主軸２６から離れる方向に変位していることを意味する
ことになる。

従って、オペアンプ６２からの出力がプラス値で変化す
ることになる。このようにして、オペアンプ６２からの
出力がプラス側で変化することにより、ブレード４４が
主軸２６から離れる方向に変位していることになるので
、演算装置６４は、この変位量に応じた補正回転数だけ
、主軸２６の回転数を減じるように制御装置６６に制御
信号を出力することになる。

一方、ブレード４４が主軸２６に近づくように変位した
場合には、第１の変位計５４ａの出力が大きくなり、第
２の変位計５４ｂの出力が小さくなる。この結果、減算
器５６からの出力は大きくなる。従って、オペアンプ６
２がマイナス側で変化することになる。このようにして
、オペアンプ６２ＫＲＡの出力がマイナス側でで変化す
ることにより、ブレード４４が主軸２６に近づく方向に
変位していることになるので、演算装置６４は、この変
位量に応じた補正回転数だけ、主軸２６の回転数を増す
るように制御装置６６に制御信号を出力することになる
。

また、この一実施例においては、演算装置６４にドレス
時期検出装置６８が接続されている。そして、このドレ
ス時期検出装置６８において予め設定されている閾値を
、ブレード４４の変位量がプラス・マイナスいずれの方
向にも越えた場合には、切刃４６が鈍くなって切削抵抗
が増し、大きく偏倚するようになったものと判断して、
切刃４６のドレスを指示すべく、ドレス信号を出力する
。このようにして、この一実施例においては、切刃４６
のドレス時期が自動的に警告され、作業能率が顕著に向
上することになる効果が達成される。

この発明は、上述した一実施例の構成に限定されること
なく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能
であることは言うまでもない。

［発明の効果］以上詳述したように、この発明に係わるスライシングマ
シンは、周囲に切刃を有する切断工具と、この切断工具
が取付けられ、回転駆動可能に支持されると共に、回転
数に応じて回転軸方向に沿って変位するように支持され
た回転体と、前記切断工具の近傍に、所定間隔を有して
配置され、この切断工具の切断時の変位量を検出する検
出手段と、この検出手段において検出された変位量を零
となるような前記回転体の補正回転数を算出する補正演
算手段と、この補正演算手段で算出された補正回転数で
、上記回転体の回転数を修正する制御−手段とを具備す
る事を特徴としている。

従って、この発明によれば、簡単な構成で、安価に、被
加工物の加工面の面精度を向上させることの出来るスラ
イシングマシンおよびその制御方法が提供されることに
なる。

また、この発明に係わるスライシングマシンは、回転体
に支持される切断工具に対応して、回転体の回転数とこ
の回転数に応じた切断工具の変位量との相関関係が記憶
されている記憶手段を更に具備している。このようにし
て、切断工具の変位を検出することにより、上記した相
関関係を用いて、変化させるべき回転数を容易に規定す
ることが出来ることになる。

また、この発明に係わるスライシングマシンは、補正演
算手段で算出された補正回転数が、所定回転数を越えた
時点で、切断工具のドレス信号を発するドレス時期検出
手段を更に具備している。このようにして、切断工具の
ドレス時期が自動的に警告され、作業能率が顕著に向上
することになる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係わるスライシングマシンの一実施
例の構成を概略的に示す正面図；第２図は第１図に示す
スライシングマシンの制御系の構成を示すブロック図：
そして、第３図はブレードを空回しした際のブレードの
変位と回転数との相関関係を示す線図である。図中、１０・・・スライシングマシン、１２・・・基台
、１４・・・スタンド、１６・・・スライド台、１８ａ
；１８ｂ・・・プーリ、２０・・・ワイヤ、２２・・・
ウェイト、２４・・・リフト台、２６・・・主軸、２８
・・・軸受機構、３０・・・第１の駆動モータ、３０ａ
・・・駆動軸、３２・・・従動プーリ、３４・・・駆動
プーリ、３６・・・エンドレスベルト、３８・・・ボー
ルねし、４０・・・第２の駆動モータ、４０ａ・・・駆
動軸、４２・・・テンションディスク、４４・・・ブレ
ード、４６・・・切刃、４８・・・スライドテーブル、
５０・・・第３の駆動モータ、５０ａ・・・駆動軸、５
２・・・ボールねじ、５４・・・変位検出機構、５４ａ
・・・第１の変位計、５４ｂ・・・第２の変位計、５６
・・・減算器、５８・・・較正装置、６０・・・基準変
位記憶装置、６２・・・オペアンプ、６４・・・演算装
置、６６・・・制御装置、６８・・・ドレス時期検出装
置である。手続補正書　（自発）昭和６３年　２月１９日

Claims

【特許請求の範囲】

（１）周囲に切刃を有する切断工具と、この切断工具が取付けられ、回転駆動可能に支持される
と共に、回転数に応じて回転軸方向に沿つて変位するよ
うに支持された回転体と、前記切断工具の近傍に、所定間隔を有して配置され、こ
の切断工具の切断時の変位量を検出する検出手段と、この検出手段において検出された変位量を零となるよう
な前記回転体の補正回転数を算出する補正演算手段と、この補正演算手段で算出された補正回転数で、上記回転
体の回転数を修正する制御手段とを具備する事を特徴と
するスライシングマシン。
（２）前記回転体に支持される切断工具に対応して、回
転体の回転数とこの回転数に応じた切断工具の変位量と
の相関関係が記憶されている記憶手段を更に具備する事
を特徴とする請求項第１項記載のスライシングマシン。
（３）前記補正演算手段で算出された補正回転数が、所
定回転数を越えた時点で、切断工具のドレス信号を発す
るドレス時期検出手段を更に具備する事を特徴とする請
求項第１項記載のスライシングマシン。
（４）回転駆動可能に支持された回転体に、周囲に切刃
を有する切断工具を、回転数に応じて回転軸方向に沿つ
て変位するように支持し、この切断工具の切断時の変位量を検出し、検出した変位量が零になるように、前記回転体の回転数
を制御する事を特徴とするスライシングマシンの制御方
法。