JPH01182654A - 回転伝達装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、互に係合する２つの歯車を備えた回転伝達
装置に関する。

（従来の技術） かかる回転伝達装置は、例えは、第Ｓ図に略示されるよ
りに構成され、互に係合する２つの歯車３０および３１
のうちで、一方の歯車３ｏは、モータ（図示なし）Ｋよ
って回転駆動される駆動軸Ｊ−に固定取付けされ、他方
の歯車３１は、被回転体３３を回転させるための従動軸
３４ＡＩ／ｃ固定取付される。モータによって駆動軸３
２を介して歯車３０を回転させると、歯車３０の歯部分
と歯車３１の歯部分との係合によって、歯車３ノも回転
し、従って、従動軸３４Ｉを介して被回転体３３も回転
し、かぐして回転の伝達が達成される。

このような回転伝達装置において、従来は、各歯車３ｏ
、、ｔｉは、その基部と歯部分とを一体に形成したもの
からなシ、回転伝達の際に、歯車３０の歯部分が、歯車
３ノの歯部分に直接接触して、この直接接触によって、
歯車３０から歯車３１への回転の伝達が達成される。

（発明が解決しようとするｌｉｔ！＠）上述したような
従来の回転伝達装置には、歯部分の直接接触によって歯
部分が摩耗し、との摩耗によって粉塵が発生すると言う
欠点が伴なう。

従って、例えば真空成膜装置に従来の回転伝達装置を採
用したとすると、とれから発生する粉塵によって、真空
成膜装置で製作される膜に微細なピンホールが生じ、こ
のピンホールによっテ、膜が不良品忙なってしまうとい
うおそれが存する。

歯部分の摩耗を低減もしくは解消するために、油などの
潤滑剤を歯車に塗布するととも考えられるが、真空成膜
装置などでは、この潤滑剤が臭突雰囲気を劣化させて、
粉塵発生の場合と同様に、膜を不良品にする原因となる
。

この発明は、上述したよ、うな従来の回転伝達装置の欠
点を除去することを、主な目的とする。

（課題を解決するための手段） この目的の達成のため、この発明に従って構成された、
互に係合する一つの歯車を備える回転伝達装置では、コ
つの歯車のいずれも、非磁性体で形成された基部と、こ
れに取付けられた歯部分とからなシ、両歯車の歯部分の
すべてが、そのすべてについて歯先を同種の磁極とする
永久礎石によって構成される。

（作用） このような構成の回転伝達装置によれば、一方の歯車の
歯部分の歯先ととれに係合する他方の歯車の歯部分の歯
先とが、同種の磁極であって、それらの閾に反発力が生
じるようになっているので、歯部分同志の直接接触なし
に、回転の伝達が達成される。

（実施例） 以下、図面の第１図から第４図を参照しながら、この発
明による回転伝達装置の実施例について説明する。

第１図および第２図に図示されるとの発明による回転伝
達装置は、互に係合するコつの歯車ｉ。

ａおよびｌＯｂを備える。各歯車ｌＯａ、ｌＯｂは、非
磁性体で形成された円盤状の基部／／ａおよび／／１）
をそｎぞれ有し、各基部／／ａ、／／ｂには、これから
半径方向外向きに突出するように基部の周に沿って等間
隔で配置された多くの棒状の永久磁石、／　ｊ　ａ　、
　／　２　ｂが、歯部分として取付けられる。いずれの
歯車１０ａ、１０ｂにおいても、そのすべての永久磁石
ｌコａ、１０ｂが、半径方向外方の歯先において正極Ｎ
となシ、半径方向内方の、基部／／ａ、１０ｂに連結さ
れる個所で負極Ｓとなるよりに指向される。両歯車１０
ａとｉｏｂは、それらの周が最接近する区域において一
方の筒車ノＯａまたは１０ｂの歯先Ｎが他方あ歯車１０
ｂまたは１０ｈのコつの歯先Ｎの間にはさ１ｆ′Ｌ、る
ように配置される。

各基部／／ａ、／／ｂへの歯部分すなわち永久磁石ｌコ
ａ、／コｂの取付けについて例示すると、そのために各
基部／／ａ、・／／ｂには、浅いくほみ１３ａ、／３ｂ
と、これからさらに凹下した多くの深いくぼみ／４Ｃａ
、／ＩＩｂが形成される。浅いくほみ／３＆、／３ｂは
、基部／／ａ、／／ｂと等しい外径を有する円環状の固
定板／Ｊａ。

／ｊｔ）？収容できる形状寸法を有し、基部の全外周に
沿って延長する。深いくほみｌダａ、／ｌｂは、各永久
磁石／Ｊａ、／Ｊ’ｂの半径方向内方部分を、基部の幅
方向で浅いくほみ／Ｊｈ、／３ｂの中に僅かに張出すよ
うに収容できるように形成され、寸法法めされ、かつ配
置され、溝形で基部／　／　ａ　ｍ　／　／　１）の外
周まで達する。深いくぼみ。

／ｌａ、／ｌｂのおのおのの中に、永久磁石ｌコａ、／
２ｂを収容し、こ九の半径方向内方部分にかぶさ・るよ
うに、浅いくぼみ／３ｅ、、ｌ、ｌｂの中に固定板／ｊ
ａ、／ｊｂｌｉ配置し、固定板ｌｓａ　＊　／　ｊ　ｂ
に沿う（永久磁石／、ｌ＊、１２１３Ｖｃ接触しない）
多くの場所で、締付ねじ／６ａ、／Ａｂによって固定板
／ｊａ、／ｊｂを基部／／ａ。

／／ｂに固定締付けすると、永久磁石ノコａ。

ｌコｂが、固定板／ｊａ、／ｊｂを収容した浅い〈ｔホ
み／　Ｊ　ａ　ｅ　／　Ｊ　ｂの中に僅かに張出してい
るので、永久磁石ノコａ　＊　／２ｂは、固定板／　ｊ
　ａ　＃ｉｓｂと基部／／ａ、／／’ｂの間で強く挾持
されて、基部／／ａ、／／ｂに、これに対して不動にし
つかシと取付けらする。

このように構成された回転伝動装置において、一方の歯
車ｌＯａは例えは駆動軸／７ａに固定取付けされ、他方
の歯車１０１）は例えば従動軸ｌりｂに固定取付けされ
る。例えばモータ（図示なし）によって駆動軸／’７ａ
を回転させると、これと共に歯車１０ｈも回転する。そ
の際に、歯車１０ａの１つの歯先すなわち永久磁石ｌコ
ａ−の正極Ｎが、他の歯車１０ｂ（０１つの歯先すなわ
ち永久磁石ノコｂの正極ＮＫ接近すると、正極Ｎと正極
Ｎの間の反発力によって、歯車ｌＯｂの永久磁石／Ｊｂ
の正極Ｎが、歯車ｌＯａの永久磁石ｌコａの正極Ｎと同
じ方向に移動する。かくして、歯車ｌＯａと歯車ｌＯｂ
が接触することなしに、歯車同志が互に直接接触する従
来の回転伝達装置の場合と同様に、歯車１０ａの例えば
第１−図で反時計回ルの回転（矢印ｉｇｔｈ）によって
、歯車１０ｂの例えは第１図で時計回シの回転（矢印１
ｇｂ）が生じる。歯車ｌＯｂの回転に伴なって、これが
固定取付けされている従動軸１’ｌｂも回転し、この従
動軸１７ｂの回転によって、被回転体（図示なし）も回
転する。

かかる回転伝達装置において、幅Ｗ−ダ１ｏＩ（第１図
）、厚さｔ−μｍ１謔（第二図）、長きｔ−，２０簡（
第１図）のサマリウムコバルト磁石およびフェライト磁
石を、永久磁石ｌコａおよび／２ｂとして使用した実験
結果を、第３図のグラフに示す。このグラフは、歯車／
（７ａとｉｏｂのかみ合い深き（１なり合い１）ｂ（第
７図）を横軸とし、伝達可能トルクＱを縦軸として、Ｌ
を変化させたときのＱの変化を表わす。この実験結果に
よレバ、サマリウムコバルト磁石およびフェライト磁石
のいずれを採用した場合にも、かみ合い深きＬが約−鰭
のときに、最大の回転伝達力が得られる。

第４図は、この発明による回転伝達装置の別の実施例を
示す。この実施例においては、大寸の太陽＠車ｌデが固
定配置され、太陽歯車ｌりと同軸線の回転軸２０に固定
されかつこれから放射方向に延長する６本の腕２１の先
端部に、これに対して回転可能に小寸の遊星歯車ココが
取付けられる。

各遊星歯車ココおよび太陽歯車１９は、第７図および第
２図に示された実施例における歯車ｌＯａ、ｌＯｂと同
様に構成され、各遊星歯車はいずれも、太陽歯車ｌりに
係合する。

この第４図の実施例において、回転軸コＯを回転させる
と、６個の遊星歯車２コはいずれも、回転＠−０の軸線
す力わち太陽歯車１９の中心軸線を中心として、矢印コ
３で示すように、太陽歯車ｌりのまわルを公転すると同
時に、固定の太陽歯車ｌデに係合しているので、矢印−
ダで示すよりに自転する。

このような構成によれば、歯車と歯車を直接接触させる
ことのない、真空蓋着装ｆＩＬまたはスパッタリング装
置のプラネタリ−治具として使用できるような、自公転
手段が提供できる。

（発明の効果） この発明によれば、互に係合するλつの歯車のすべての
歯部分が、そのすべてについて歯先上同種のＶｂ＆とす
る永久磁石によって構成されているので、同種の磁極か
らなる一方の出車の歯先と他方の歯車の歯先との間に生
じる反発力によって、互に係合する歯車のうちの一方の
歯車の回転が、他方の歯車に伝達される。或いは、第４
図の実施例で示されるように、固定された一方の歯車の
まわシの他方の歯車の公転によって、後者の歯車の自転
も達成される。

これらの作動は、歯車と歯車を直接接触させることなし
に達成され、従って、この発明による回転伝達装置によ
れば、歯車と歯車の直接接触による粉塵が発生するおそ
れはなく、ま次かかる粉塵の発生を阻止するために潤滑
剤を使用する必要もない。

故に、この発明による回転伝達装置は、粉塵または潤滑
剤によって製品の不良化が生じるおそれのおる真空成膜
装置などで、特に有効に採用できる。

【図面の簡単な説明】

第７図は、この発明による回転伝達装置の第７実施例を
示す正面図゛である。第一図は、第１図に験結果を表わ
すグラフである。第４図は、この発明による回転伝達装
置の第一実施例′ｌｔ表わす。第Ｓ図は、従来から知ら
れている回転伝達装置Ｉｔ′ｆｔ斜視図で表わす。 図面において、ｌＯａとｉｏｂは互に係合する一つの歯
車、／／ａと／／１）は歯車の基部、ｌ二ａとｌコｂは
歯車の歯部分を構成する永久磁石、ＮおよびＳは永久磁
石、／　２　ａ　＊　／　−２ｂの正極および負極を示
す。 第２図 ：　ニ ー−ａ４１７−ｔ。 第３図 力）み合い５朶さＬ　　（ｍ曜） 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 互に係合する２つの歯車のいずれも、非磁性体で形成さ
   れた基部に歯部分を取付けたものからなり、両歯車のす
   べての歯部分が、そのすべてについて歯先を同種の磁極
   とする永久磁石によつて構成された回転伝達装置。