JPH01183127A - ダイボンデイング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はダイボンディング方法に係り、特にボンド位置
の検出方法に関する。

［従来の技術］ 従来のダイボンディング方法は、コレットをリードフレ
ーム又はパッケージ（以下ワークという）のボンド位置
上に目視にて移動させ、その実際の検出位置によって演
算装置のデータを補正させている。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、目視検査であるので、多大の検出時間
を要すると共に、ワークのボンド位置がばらついていた
場合は、そのばらつきがそのままボンディング精度に影
響するという問題があった。

本発明の目的は、ボンド位置を迅速に、かつ高精度に検
出することができるダイボンディング方法を提供するこ
とにある。

［課題を解決するための手段］ 上記課題は、コレットと一定距離オフセットして配設さ
れたカメラが前記コレットと共に平面上を移動するダイ
ボンディング装置を用い、ダイがボンディングされるワ
ークのボンド位置より対称の２つのコーナ部の位置を前
記カメラで検出し、この２点の検出位置の中心を演算装
置により算出し、この算出された中心位置にコレットを
導いてダイをワークにボンディングすることにより解決
される。

［作用］ ボンド位置より対称な２つのコーナをカメラにより検出
すると、自動的にその中心、即ちボンド位置が算出され
、その中心位置にコレットによりダイがボンディングさ
れる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図に示すように、図示しないモータでｘＹ力方向移
動させられるＸＹ子テーブル上にはボンディングヘッド
２が固定されている。ボンディングヘッド２には図示し
ないモータで上下動させられるボンディングアーム３が
設けられており、ボンディングアーム３の一端には下端
にコレット４を保持したコレットホルダ５が取付けられ
ている。

また前記ボンディングヘッド２には一端にカメラ６を保
持したカメラホルダ７が固定されている。

ここで、カメラ６の中心線はコレット４の中心線に対し
て距離りだけオフセットされている。またワーク８はワ
ーク保持台９に位置決め保持されて、いる。

従って、ＸＹ子テーブルが駆動させられると、コレット
４及びカメラ６は共にＸＹ力方向移動させられる。

第２図はワーク保持台９に位置決め保持されたワーク８
を示し、２点鎖線はワーク８が正規に位置決めされた場
合を、実線は実際のワーク８の位置をそれぞれ示す。今
、２点鎖線で示す正規のワーク８の２つのコーナの座標
をＰ＋（Ｘ＋、ｙ＋）、Ｐ２　　（Ｘ２　＋’Ｖ２）と
すると、その中心、即ちボンド位置の座標Ｐ　（ｘ　、
　ｙ）は、ｙ、＝　（ｘｌ　＋　Ｘ　２　）　／　２、
ｙ＝　（ｙ　Ｉ　＋７２）／２となる。そこで、前記各
座標Ｐ＋　　（Ｘ＋　、ＶＩ）、Ｐ２　　（Ｘ２　、Ｙ
２）、Ｐ（ｘ、ｙ）を予め図示しない演算装置に記憶し
ておくと、その演算装置の指令により、測定時にＸＹ子
テーブルが駆動されてカメラ６は座標Ｐ１　（ｘｌ、ｙ
、）及びＰ２　　（ｘ２１Ｙ２）の上方に移動させられ
、またボンド時にＸＹ子テーブルが駆動させられてコレ
ット４は座標Ｐ　（ｘ　、　ｙ）の上方に移動させられ
るようになっている。

次に作用について説明する。ＸＹ子テーブルが駆動され
、図示しないダイピックアップ位置よりダイをコレット
４で吸着してピックアップすると、まずカメラ６が一方
のコーナ座標Ｐ、（ｘ＋＋Ｙ、）の上方に移動させられ
、実際のコーナ座標Ｐ＋　’　　（Ｘ＋　’　、ＶＩ　
’）の誤差ΔＸ　Ｉ　＋Δｙ１が検出される。次にカメ
ラ６は他方のコーナ座標Ｐ２　　（Ｘ２　、Ｙ２）の上
方に移動させられ、実際のコーナ座標Ｐ２　’　（Ｘ２
　’　＋７２　’）の誤差ΔＸ２ｔ　Δｙ２が検出され
る。以後、Ｐｌ”（Ｘ１′・ｙ＋’）、Ｐ２’（ｘ２’
＋ｙ２’）が正規のコーナ座標として演算装置には記憶
される。そして、前記誤差（ΔＸ１．Δｙ＋）、（ΔＸ
２＋Δｙ２）によって実際のボンド位置の座標Ｐ’（ｘ
’、ｙ’）が算出される。即ち、ｘ’＝Ｘ＋（ΔＸ１＋
ΔＸ２）／２’、ｙ　’　＝ｙ＋　（Δｙ１＋Δｙ　２
’　）　／　２となる。以後、座標Ｐ′（ｘ’、ｙ’）
が正規のボンド位置として演算装置に記憶される。前記
のように実際のボンド位置を算出後、次にＸＹ子テーブ
ルが駆動されてコレット４がボンド位置の座標Ｐ’（ｘ
’、ｙ”）の上方に移動させられる。その後、コレット
４は下降及び上昇させられ、ワーク８にダイがボンディ
ングされる。

ボンディング完了後、ワーク８は図示しない移動手段で
送られ、次のボンド部分がボンディング位置に送られる
。以後、前記動作を繰返す。この場合は、前記補正され
たコーナ座標Ｐ＋’（Ｘ１′・ｙｌ“）　、Ｐ２’　（
ｘ２’、ｙ２’）、ボンド位置座標Ｐ’　（ｘ　’　＋
　ｙ　’）が正規の座標として処理される。

なお、上記実施例においては、カメラ６はカメラホルダ
７を介してボンディングヘッド２に取付けたが、ボンデ
ィングアーム３に取付けてもよい。

［発明の効果コ 本発明によれば、２つのコーナをカメラで検出し、自動
的に位置誤差を補正して中心にボンディングするので、
生産性に富むと共に、ボンド位置がばらついていても高
精度にボンディングできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法に用いるダイボンディング装置の
一実施例を示す概略図、第２図は本発明の補正方法の一
例を示す説明図である。 ４：コレット、　　６：カメラ、　　８：ワーク。 代理人　弁理士　１）辺　良　徳

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）コレットと一定距離オフセットして配設されたカ
   メラが前記コレットと共に平面上を移動するダイボンデ
   ィング装置を用い、ダイがボンディングされるワークの
   ボンド位置より対称の２つのコーナ部の位置を前記カメ
   ラで検出し、この２点の検出位置の中心を演算装置によ
   り算出し、この算出された中心位置にコレットを導いて
   ダイをワークにボンディングすることを特徴とするダイ
   ボンディング方法。