JPH0793328B2 - ダイボンデイング方法 - Google Patents
ダイボンデイング方法Info
- Publication number
- JPH0793328B2 JPH0793328B2 JP63008961A JP896188A JPH0793328B2 JP H0793328 B2 JPH0793328 B2 JP H0793328B2 JP 63008961 A JP63008961 A JP 63008961A JP 896188 A JP896188 A JP 896188A JP H0793328 B2 JPH0793328 B2 JP H0793328B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- position coordinates
- work
- coordinates
- camera
- collet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はダイボンデイング方法に係り、特にボンド位置
の検出方法に関する。
の検出方法に関する。
［従来の技術］ 従来、ダイボンデイング方法として、例えば特開昭57−
26448号公報、特開昭57−169250号公報、特開昭59−689
36号公報に示すものが知られている。この方法は、リー
ドフレーム、基板等のワークの予め定められた正規のボ
ンド位置からのずれ量を検出し、このずれ量に基づいて
前記正規のボンド位置の実際のボンド位置を算出し、コ
レットを前記実際のボンド位置に移動させてボンデイン
グしている。
26448号公報、特開昭57−169250号公報、特開昭59−689
36号公報に示すものが知られている。この方法は、リー
ドフレーム、基板等のワークの予め定められた正規のボ
ンド位置からのずれ量を検出し、このずれ量に基づいて
前記正規のボンド位置の実際のボンド位置を算出し、コ
レットを前記実際のボンド位置に移動させてボンデイン
グしている。
〔発明が解決しようとする課題〕 ところで、ロット内においては、一般にボンド位置のず
れ量はほぼ一定であり、ロットが変わった時にずれ量が
変化する。しかるに、上記従来技術は、いずれもダイを
ボンデイングする毎に実際のワークのボンド位置を検出
し、その毎にそのワークの実際のボンド位置を算出す
る。即ち、ダイをボンデイングする毎にボンド位置の算
出を行わなければならないという問題があった。
れ量はほぼ一定であり、ロットが変わった時にずれ量が
変化する。しかるに、上記従来技術は、いずれもダイを
ボンデイングする毎に実際のワークのボンド位置を検出
し、その毎にそのワークの実際のボンド位置を算出す
る。即ち、ダイをボンデイングする毎にボンド位置の算
出を行わなければならないという問題があった。
本発明の目的は、実際のワークのコーナ部の位置座標及
びボンド位置座標の算出が低減できるダイボンデイング
方法を提供することにある。
びボンド位置座標の算出が低減できるダイボンデイング
方法を提供することにある。
上記課題は、コレットと一定距離オフセットして配設さ
れたカメラが前記コレットと共に平面上を移動するダイ
ボンデイング装置を用い、正規のワークのボンド位置よ
り対称の２つのコーナ部の位置座標とその中心のボンド
位置座標とを予め演算装置に記憶させ、実際のワークの
ボンド位置より対称の２つのコーナ部の位置を前記カメ
ラで検出し、この２点の位置座標及びその中心位置座標
を演算装置により算出し、この算出された中心位置座標
にコレットを導いてダイをワークにボンデイングすると
共に、前記算出された実際のワークのコーナ部の位置座
標及び中心位置座標を次の実際のワークに対する正規の
コーナ部の位置座標及びボンド位置座標として前記演算
装置に記憶させ、次の実際のワークでは、この補正され
た正規のコーナ部の位置座標に前記カメラを移動させて
検出することにより解決される。
れたカメラが前記コレットと共に平面上を移動するダイ
ボンデイング装置を用い、正規のワークのボンド位置よ
り対称の２つのコーナ部の位置座標とその中心のボンド
位置座標とを予め演算装置に記憶させ、実際のワークの
ボンド位置より対称の２つのコーナ部の位置を前記カメ
ラで検出し、この２点の位置座標及びその中心位置座標
を演算装置により算出し、この算出された中心位置座標
にコレットを導いてダイをワークにボンデイングすると
共に、前記算出された実際のワークのコーナ部の位置座
標及び中心位置座標を次の実際のワークに対する正規の
コーナ部の位置座標及びボンド位置座標として前記演算
装置に記憶させ、次の実際のワークでは、この補正され
た正規のコーナ部の位置座標に前記カメラを移動させて
検出することにより解決される。
カメラで実際のワークの２つのコーナ部の位置座標を検
出し、位置ずれがある場合には、この２点の位置座標及
びその中心位置座標を演算装置が算出し、実際の位置座
標及び中心位置座標が次の実際のワークに対する正規の
コーナ部の位置座標及びボンド位置座標として演算装置
に記憶される。即ち、演算装置に予め記憶された正規の
コーナ部の位置座標及びボンド位置座標は更新される。
出し、位置ずれがある場合には、この２点の位置座標及
びその中心位置座標を演算装置が算出し、実際の位置座
標及び中心位置座標が次の実際のワークに対する正規の
コーナ部の位置座標及びボンド位置座標として演算装置
に記憶される。即ち、演算装置に予め記憶された正規の
コーナ部の位置座標及びボンド位置座標は更新される。
ワークのロット内においては、ボンド位置のずれ量はほ
ぼ一定であるので、同じロット内の次のワークにおいて
は、一度更新されたコーナ部の位置座標及びボンド位置
座標にカメラを移動させてずれ量を検出すると、殆どず
れ量がないことが多い。このような場合には、コーナ部
の位置座標及びボンド位置座標の算出をしなくてボンデ
イング動作に移れる。
ぼ一定であるので、同じロット内の次のワークにおいて
は、一度更新されたコーナ部の位置座標及びボンド位置
座標にカメラを移動させてずれ量を検出すると、殆どず
れ量がないことが多い。このような場合には、コーナ部
の位置座標及びボンド位置座標の算出をしなくてボンデ
イング動作に移れる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。第１図に
示すように、図示しないモータでXY方向に移動させられ
るXYテーブル１上にはボンデイングヘッド２が固定され
ている。ボンデイングヘッド２には図示しないモータで
上下動させられるボンデイングアーム３が設けられてお
り、ボンデイングアーム３の一端には下端にコレット４
を保持したコレットホルダ５が取付けられている。また
前記ボンデイングヘッド２には一端にカメラ６を保持し
たカメラホルダ７が固定されている。ここで、カメラ６
の中心線はコレット４の中心線に対して距離Ｌだけオフ
セットされている。またワーク８はワーク保持台９に位
置決め保持されている。
示すように、図示しないモータでXY方向に移動させられ
るXYテーブル１上にはボンデイングヘッド２が固定され
ている。ボンデイングヘッド２には図示しないモータで
上下動させられるボンデイングアーム３が設けられてお
り、ボンデイングアーム３の一端には下端にコレット４
を保持したコレットホルダ５が取付けられている。また
前記ボンデイングヘッド２には一端にカメラ６を保持し
たカメラホルダ７が固定されている。ここで、カメラ６
の中心線はコレット４の中心線に対して距離Ｌだけオフ
セットされている。またワーク８はワーク保持台９に位
置決め保持されている。
従って、XYテーブル１が駆動させられると、コレット４
及びカメラ６は共にXY方向に移動させられる。
及びカメラ６は共にXY方向に移動させられる。
第２図はワーク保持台９に位置決め保持されたワーク８
を示し、２点鎖線はワーク８が正規に位置決めされた場
合を、実線は実際のワーク８の位置をそれぞれ示す。
今、２点鎖線で示す正規のワーク８の２つのコーナの座
標をP1（x1,y1）、P2（x2,y2）とすると、その中心、即
ちボンド位置の座標Ｐ（x,y）は、ｘ＝（x1＋x2）/2、
ｙ＝（y1＋y2）/2となる。そこで、前記各座標P1（x1,y
1）、P2（x2,y2）、Ｐ（x,y）を予め図示しない演算装
置に記憶しておくと、その演算装置の指令により、測定
時にXYテーブル１が駆動されてカメラ６は座標P1（x1,y
1）及びP2（x2,y2）の上方に移動させられ、またボンド
時にXYテーブル１が駆動させられてコレット４は座標Ｐ
（x,y）の上方に移動させられるようになっている。
を示し、２点鎖線はワーク８が正規に位置決めされた場
合を、実線は実際のワーク８の位置をそれぞれ示す。
今、２点鎖線で示す正規のワーク８の２つのコーナの座
標をP1（x1,y1）、P2（x2,y2）とすると、その中心、即
ちボンド位置の座標Ｐ（x,y）は、ｘ＝（x1＋x2）/2、
ｙ＝（y1＋y2）/2となる。そこで、前記各座標P1（x1,y
1）、P2（x2,y2）、Ｐ（x,y）を予め図示しない演算装
置に記憶しておくと、その演算装置の指令により、測定
時にXYテーブル１が駆動されてカメラ６は座標P1（x1,y
1）及びP2（x2,y2）の上方に移動させられ、またボンド
時にXYテーブル１が駆動させられてコレット４は座標Ｐ
（x,y）の上方に移動させられるようになっている。
次に作用について説明する。XYテーブル１が駆動され、
図示しないダイピックアップ位置よりダイをコレット４
で吸着してピックアップすると、まずカメラ６が一方の
コーナ座標P1（x1,y1）の上方に移動させられ、実際の
コーナ座標P1′（x1′,y1′）の誤差Δx,Δy1が検出さ
れる。次にカメラ６は他方のコーナ座標P2（x2,y2）の
上方に移動させられ、実際のコーナ座標P2′（x2′,
y2′）の誤差Δx2、Δy2が検出される。以後、P1′
（x1′,y1′）、P2′（x2′,y2′）が正規のコーナ座標
として演算装置には記憶される。そして、前記誤差（Δ
x1,Δy1）、（Δx2,Δy2）によって実際のボンド位置の
座標Ｐ′（ｘ′,y′）が算出される。即ち、ｘ′＝ｘ＋
（Δx1＋Δx2）/2,y′＝ｙ＋（Δy1＋Δy2）/2となる。
以後、座標Ｐ′（ｘ′,y′）が正規のボンド位置として
演算装置に記憶される。前記のように実際のボンド位置
を算出後、次にXYテーブル１が駆動されてコレット４が
ボンド位置の座標Ｐ′（ｘ′,y′）の上方に移動させら
れる。その後、コレット４は下降及び上昇させられ、ワ
ーク８にダイがボンデイングされる。
図示しないダイピックアップ位置よりダイをコレット４
で吸着してピックアップすると、まずカメラ６が一方の
コーナ座標P1（x1,y1）の上方に移動させられ、実際の
コーナ座標P1′（x1′,y1′）の誤差Δx,Δy1が検出さ
れる。次にカメラ６は他方のコーナ座標P2（x2,y2）の
上方に移動させられ、実際のコーナ座標P2′（x2′,
y2′）の誤差Δx2、Δy2が検出される。以後、P1′
（x1′,y1′）、P2′（x2′,y2′）が正規のコーナ座標
として演算装置には記憶される。そして、前記誤差（Δ
x1,Δy1）、（Δx2,Δy2）によって実際のボンド位置の
座標Ｐ′（ｘ′,y′）が算出される。即ち、ｘ′＝ｘ＋
（Δx1＋Δx2）/2,y′＝ｙ＋（Δy1＋Δy2）/2となる。
以後、座標Ｐ′（ｘ′,y′）が正規のボンド位置として
演算装置に記憶される。前記のように実際のボンド位置
を算出後、次にXYテーブル１が駆動されてコレット４が
ボンド位置の座標Ｐ′（ｘ′,y′）の上方に移動させら
れる。その後、コレット４は下降及び上昇させられ、ワ
ーク８にダイがボンデイングされる。
ボンデイング完了後、ワーク８は図示しない移動手段で
送られ、次のボンド部分がボンデイング位置に送られ
る。以後、前記動作を繰返す。この場合は、前記補正さ
れたコーナ座標P1′（x1′,y1′）,P2′（x2′,
y2′）、ボンド位置座標Ｐ′（ｘ′,y′）が正規の座標
として処理される。
送られ、次のボンド部分がボンデイング位置に送られ
る。以後、前記動作を繰返す。この場合は、前記補正さ
れたコーナ座標P1′（x1′,y1′）,P2′（x2′,
y2′）、ボンド位置座標Ｐ′（ｘ′,y′）が正規の座標
として処理される。
なお、上記実施例においては、カメラ６はカメラホルダ
７を介してボンデイングヘッド２に取付けたが、ボンデ
イングアーム３に取付けてもよい。
７を介してボンデイングヘッド２に取付けたが、ボンデ
イングアーム３に取付けてもよい。
［発明の効果］ コレットと一定距離オフセットして配設されたカメラが
前記コレットと共に平面上を移動するダイボンデイング
装置を用い、正規のワークのボンド位置より対称の２つ
のコーナ部の位置座標とその中心のボンド位置座標とを
予め演算装置に記憶させ、実際のワークのボンド位置よ
り対称の２つのコーナ部の位置を前記カメラで検出し、
この２点の位置座標及びその中心位置座標を演算装置に
より算出し、この算出された中心位置座標にコレットを
導いてダイをワークにボンデイングすると共に、前記算
出された実際のワークのコーナ部の位置座標及び中心位
置座標を次の実際のワークに対する正規のコーナ部の位
置座標及びボンド位置座標として前記演算装置に記憶さ
せ、次の実際のワークでは、この補正された正規のコー
ナ部の位置座標に前記カメラを移動させて検出するの
で、実際のワークのコーナ部の位置座標及びボンド位置
座標の算出が低減できる。
前記コレットと共に平面上を移動するダイボンデイング
装置を用い、正規のワークのボンド位置より対称の２つ
のコーナ部の位置座標とその中心のボンド位置座標とを
予め演算装置に記憶させ、実際のワークのボンド位置よ
り対称の２つのコーナ部の位置を前記カメラで検出し、
この２点の位置座標及びその中心位置座標を演算装置に
より算出し、この算出された中心位置座標にコレットを
導いてダイをワークにボンデイングすると共に、前記算
出された実際のワークのコーナ部の位置座標及び中心位
置座標を次の実際のワークに対する正規のコーナ部の位
置座標及びボンド位置座標として前記演算装置に記憶さ
せ、次の実際のワークでは、この補正された正規のコー
ナ部の位置座標に前記カメラを移動させて検出するの
で、実際のワークのコーナ部の位置座標及びボンド位置
座標の算出が低減できる。
第１図は本発明の方法に用いるダイボンデイング装置の
一実施例を示す概略図、第２図は本発明の補正方法の一
例を示す説明図である。 4:コレット、6:カメラ、8:ワーク。
一実施例を示す概略図、第２図は本発明の補正方法の一
例を示す説明図である。 4:コレット、6:カメラ、8:ワーク。
Claims (1)
- 【請求項１】コレットと一定距離オフセットして配設さ
れたカメラが前記コレットと共に平面上を移動するダイ
ボンデイング装置を用い、正規のワークのボンド位置よ
り対称の２つのコーナ部の位置座標とその中心のボンド
位置座標とを予め演算装置に記憶させ、実際のワークの
ボンド位置より対称の２つのコーナ部の位置を前記カメ
ラで検出し、この２点の位置座標及びその中心位置座標
を演算装置により算出し、この算出された中心位置座標
にコレットを導いてダイをワークにボンデイングすると
共に、前記算出された実際のワークのコーナ部の位置座
標及び中心位置座標を次の実際のワークに対する正規の
コーナ部の位置座標及びボンド位置座標として前記演算
装置に記憶させ、次の実際のワークでは、この補正され
た正規のコーナ部の位置座標に前記カメラを移動させて
検出することを特徴とするダイボンデイング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63008961A JPH0793328B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | ダイボンデイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63008961A JPH0793328B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | ダイボンデイング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01183127A JPH01183127A (ja) | 1989-07-20 |
| JPH0793328B2 true JPH0793328B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=11707267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63008961A Expired - Fee Related JPH0793328B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | ダイボンデイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0793328B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0793340B2 (ja) * | 1989-08-18 | 1995-10-09 | 株式会社東芝 | 半導体装置の配線接続装置 |
| US5350106A (en) * | 1993-05-07 | 1994-09-27 | Micron Semiconductor, Inc. | Semiconductor wire bonding method |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5726448A (en) * | 1980-07-23 | 1982-02-12 | Hitachi Ltd | Pellet attaching device with recognizing mechanism |
| JPS57169250A (en) * | 1981-04-13 | 1982-10-18 | Hitachi Ltd | Bonding method for pellet |
| JPS5968936A (ja) * | 1982-10-14 | 1984-04-19 | Toshiba Seiki Kk | ペレツトボンデイング方法 |
-
1988
- 1988-01-18 JP JP63008961A patent/JPH0793328B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01183127A (ja) | 1989-07-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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