JPH01183334A - 薄板の研摩方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分計） 本発明はセラミック業界に於ける薄板の高精密な研摩法
に関するものである。

（従来の技術） 従来は第２図に台座Ｍを縦断面図で示す如く、天井に穴
２を備えた中空の台座Ｍ上に被研摩物Ｓを搭載し、下部
より矢印の方向に真空で吸引し、頭部の面Ｈを砥石など
で研摩加工を施すのが常であった。

この場合、図でその傾向を実質よりも拡大して理解をし
やすく描写している如く、天井そのものが正常な位置関
係よりも△ｔたわみ、更に天井に設けた穴２の径が被研
摩物を吸着するに足りる程度の大きさになると、図の如
く被研摩物自身が穴にタレ込むと云う欠陥があった。

一方多孔質のセラミｙり或いは金属性のフィルター材質
等についても同様に、真空吸着による研摩の研究を重ね
たが、これ等の微細な孔を有する材質を用いて吸着１°
る事は不可能である事が判った。

その原因は、セラミック質の材料を研摩加工す＼る場合
湿式で行なう為に、微細な研摩屑が研摩の液体と共に多
孔質の孔に吸着されて、目詰まりをして吸着効果が阻害
されてしまう。

結果的に真空吸着型台座Ｍを使用して薄板状のセラミッ
クを精度高く研摩する事は出来ない。

次に他の一般的な従来の方法は、第３図に示す如く台座
Ｍの上に接着剤３０を可及的に均一な厚みになる様に塗
布した後、被研摩物Ｓを圧着し頭部の面Ｈを研摩加工す
る訳であるが、現実には接着剤の層を均一な厚みにする
事が非常に困難で、被研摩物の１法が過剰な接着剤の層
の部分に於いて狂い、理想の研摩寸法よりΔを薄く（又
は厚くなる事が頻発した。） （本発明が解決しようとする問題点） 、Ｆ述の如〈従来の研摩方法では、薄いセラミック板を
精度高く研摩する事は非常に困難であったが、本発明で
は第１図に一部切除し、た台座Ｍの縦断面図を示す如く
、磁気吸着用の研摩テーブル台に対応する為に、強磁性
体の台座Ｍの上に焼結金属或いはセラミックなどからな
る多孔質の板１１を接着する。

この多孔質板は被研摩物の厚みに対して充分に厚い為に
、一般の研摩方法で極めて精度高く研摩加工が出来る。

この多孔質板１１に熱可履性物質の一種である接１剤を
充分に含浸吸着させて、被研摩物と接する面を一様に薄
い接着剤の膜で潤い覆わせた後、被研摩物Ｓをその接着
剤の膜の上に載せ、必要に応じて再度加熱処理を行ない
充分に多孔質板１１と被研摩物を接着させる。

本発明に依る研摩方法では、過剰な接着剤は多くの孔に
貯えられる。

被接着物との接触面には、加熱された状態の接着剤は液
化して毛細管現象を提し、均一で且つ極めて薄い膜厚の
接着剤が被研摩物を研摩加工をする時に必要な保持力を
充分備えた接着作用をする。

本文では、多孔性物質を用いた例に就いて記述したが、
本発明の原理、すなわち過剰な接着剤を貯える微細な大
きさの孔又は溝を一次加工（直接機械加工によって）或
いは二次加工（有機物質からなる微細な粒子、又はリボ
ン状等の材料を焼結剤と共に混合した後成型し、焼結に
よって微細な穴或いは溝を設けたもの）によって作成さ
れた所の、過剰の接着剤を貯蔵する微細な孔又は溝に該
当する粗面を有する材料も本発明の範囲に包含される。

本発明によって研摩方法は充分条件として強磁性体物質
からなる台座Ｍを備えているが、必要条件は被研摩物と
の接着面に多孔質或いはそれに代行仕得る作用を有する
微細な孔又は溝など、過剰な接着剤３０の逃場（貯蔵所
）を有する板１１を設ける事である。

本発明による七、極めて高精度な薄いセラミック板を研
摩する事が可能となり、広い分野での応用が見込め工業
的に価値がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の研摩方法の一例を一部切除した縦断面
図（第２図、第３図とも同一描写法式の表示）で示し、
数置と記号は各図共通であり、Ｍは台座、１１は多孔質
板、Ｓは被研摩物、Ｈは研摩面である。 第２図は従来の真空吸着型の研摩方法であり、２は吸着
孔である。 第３図は従来の接着剤３０を用いた研摩方法を示してい
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被研摩物に接する面を、多孔質又は微細な粗面を有する
   物質で構成し、過剰な接着剤の層厚による精度の劣化を
   防止した事を特徴とする薄板の研摩方法。