JPH01183359A - ワイヤ巻付装置におけるワイヤ繰出し機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はワイヤ式切断機に対する溝ローラに対するワイ
ヤ巻付装置におけるワイヤ繰出し機構に関する。

〔従来の技術〕

上記ワイヤ式切断機に使用する溝ローラとしては、例え
ば第７図に示す構造のものがある。

この切断機１００は３本の溝ローラ１０１．１０２．１
０３を備え、それぞれのローラには所定ピッチを以て多
数の環状溝１０１ａ、１０２ａ、１０３ａを形成し、ワ
イヤＳをこれらに螺旋状に巻回して高速走行させ、高硬
度脆性材料例えばシリコン単結晶等の波切断物をウェハ
ー状に同時に多数切断するようにしたものである。

上記溝ローラに対するワイヤの巻付けには相当の手数を
要するもので、機械的巻付は手段として本出願人は先に
ワイヤ巻付装置について提案した（特願昭６１−１００
３６２号）。その概要は上配溝ローラ１０１，１０２．
１０３とこれを回動可能に支持する前後の面接１０４．
１０５と°−を以て溝ローラユニット１０６とし、この
溝ローラユニットを溝ローラと平行の軸を中心として回
動し、ワイヤガイドローラをこの回動と同期して移動し
順次環状ｔｌ１０１ａ％　１０２ａ。

１０３ａに螺旋状に巻き付けるようにしたものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記溝ローラは三角形もしくは多角形状に配備されてお
り、溝ローラユニットを一定速度にて回転するときは、
ワイヤの引出し速度は波状に変動する。これはワイヤの
巻付けが弛み勝手となり好ましくない、このため供給ワ
イヤに所定の張力を付与するためダンサローラを設ける
ことが好ましいが、ワイヤを溝ローラに導く上記ガイド
ローラは順次その位置が移動し、このためワイヤはダン
サローラに対し斜めに引っ張られ摩擦抵抗を生じ張力に
変動を生じると共にワイヤがダンサローラから外れる等
の問題があ〔問題点を解決するための手段〕 本発明はかかる点に鑑み、ワイヤガイドローラに導かれ
るワイヤに所定の張力を付与すると共に、上記ガイドロ
ーラが移行してもワイヤが外れることのないダンサロー
ラを組み込んだワイヤ繰出し機構を提供することを目的
とするもので、その特徴とするところは複数の溝ローラ
を対をなす面接間に回動自在に取り付けて溝ローラユニ
ットとし、該溝ローラユニットを溝ローラと平行の軸心
を中心としての回動手段と、満ローラにワイヤを導く繰
出し機構とを備えたワイヤ巻は装置において、ワイヤ繰
出し機構はワイヤ供給ボビンと、溝ローラユニットの回
動に連動して溝ローラに沿って横方向に移行するトラバ
ースローラ並びに両者間に配備されるダンサローラとを
備え、ダンサローラはワイヤに張力を付与すると共にト
ラバースローラの横方向移行に伴う繰出しワイヤの指向
方向の変動に追随して首振り可能に垂直軸に支持された
ことにある。

〔作　用〕

ダンサローラはワイヤに張力を付与すると共に、ガイド
ローラの移動に伴うワイヤの繰り出し方向に沿って首振
りを行ない、ワイヤは５優に繰出され外れることはない
。

（実施例〕 第１図乃至第６８！ｌは本発明の実施例を示す。

ワイヤ巻付装置ｌｌは複数例えば３個の溝ローラ２．３
．４を対をなす面接５．６間に回動自在に取り付けて溝
ローラユニット（以下単にユニットとする）Ａとし、こ
のユニット八を回動する回動手段１０と、上記ユニット
Ａに対するダミーワイヤＤＷの繰り出し機構２０とを備
える。

回動手段１０はフレームＦに取り付けられる軸受１２に
より回動自在に支持される駆動軸１１の一端を主モータ
１３と減速機１４を介して接続し、他端はユニットＡを
取り付ける取付プレート１６を接続する。１６は駆動軸
１１に取り付けられユニットＡに対するバランスウェイ
ト　である。

上記ワイヤ繰出し機構２０はダミーワイヤＤＷを巻付け
る供給ボビン２１と、このボビン２１から繰出されるダ
ミーワイヤＤＷを導くガイドローラ２２とトラバースロ
ーラ２３及び張力１１！１用のダンサローラ２４とを備
える。

供給ボビン２１は支軸２５に取り付けられ、支軸２５は
ベアリング２６により回動自在に支持されており、他端
は摩擦板２７を介して固定軸２８に対設し、摩擦板２７
には加圧ばね２９を備え、調整ナツト３０の調節により
摩擦板２７に抵抗を生じ、ボビン２１の回動を抑制する
。

３１は手動ハンドルであり、巻戻しを必要とするときボ
ビンを逆回転するために設けたものである。

トラバースローラ２３は送り軸４０に嵌合するブラケッ
ト４１に突設したアーム４２の先端へ回動自在に取り付
け、送り軸４０は螺軸を以て構成し送りモータ４３に接
続されている。この送りモータ４３はステッピングモー
タ等信号により微小回転を繰り返し、これによりトラバ
ースローラ２３を順次移行するもので、前記駆動軸１１
には溝ローラ２．３．４の位置検知手段５０を設ける。

この位置検知手段５０は駆動軸１１に取り付けられた２
個のドグ５Ｌ５２と、これらのドグに対設するリミット
スイッチ５３．５４とを備え、第１図においてユニット
Ａが左回転するとき、例えば第２溝ローラ３は第１溝ロ
ーラ４に対し半ピツチずらして取付けられ、ダミーワイ
ヤＤＷの巻付は後第１１Ｉローラ４を過ぎたとき一方の
ドグ５１がリミットスイッチ５３を作動し、その信号は
送りモータ４３を微小回転させトラバースローラ２３を
１／２ピッチ移行し、次いで第２ｔＲローラ３を過ぎた
とき、他のドグ５２がリミットスイッチ５４を作動し、
　トラバースローラ２３を１／２ピッチ移行（合計ｌピ
ッチ移行したこととなる）する。

第３溝ローラ２と第１溝ローラ４との間はトラバースロ
ーラ２３は静止した状態に維持せしめる。

図中６５はトラバースローラの位置！Ｉ！！！１用ツマ
ミ、また５６はトラバースローラの正逆切換用リミット
スイッチ群である。なお前記アーム４２は第１図に示す
如く上方への折曲げを可能とし、満ローラユニットＡの
着脱に支承のないように構成されている。

ダンサローラ２４は垂直軸６０に嵌挿したレバー６１の
先端に取り付けられ、レバー６１は垂直軸６０に対し昇
降並びに回動可能に嵌挿されている。ダンサローラ２４
は自重により下降し、ダミーワイヤＤＷに張力を付与す
ると共に、トラバースローラ２３が後述する如く左右移
行に応じガイドローラ２２とトラバースローラ２３とを
結ぶ線上に移行する如く垂直軸６０を中心として回動し
、ワイヤＤＷの繰出しに際しダンサローラから外れるの
を防止する。

またワイヤ巻付張力の設定が可能なように、垂直軸６０
の上部にコイルバネ６２を設けて、ダンサローラ２４が
張力により上昇したときのバネ６２の圧縮量を測定し、
その量から張力換算を行なう、これはあらかじめワイヤ
張力と圧縮量の間係を測定しておき、摩擦板２７の抵抗
を前述の如く調整することにより、所定の張力を付与す
るものである。

上記構成において、ユニットＡを取付プレート１５に取
り付け、ダミーワイヤＤＷをボビン２１から引き出し、
先端を面接５等適所に止着し、対向する溝ローラ２．３
．４の何れかの溝に係合しトラバースローラ２３を対向
位置に調節する。

次いで駆動軸１０を回動する。これによりドグ５１．５
２が順次リミットスイッチ５３．５４を作動し前述の如
く駆動モータ４３を間歇駆動し、各溝ローラ２．３．４
の溝２ａ、　　３ａ、４ａにダミーワイヤＤＷを嵌合し
、かつ螺旋状に巻回する。この場合、ダミーワイヤＤＷ
の引き出しはボビン２１を支持する支軸２５に取り付け
た摩擦板２７の抵抗により繰り出しが抑制され、過剰に
繰り出されることがない、　　またダミーワイヤＤＷは
ダンサローラ２４に巻回しており、ユニットＡが三角形
状に巻取られることによる張力の不均衡は、ダンサロー
ラの昇降により吸収される。

またトラバースローラ２３が送り軸４０に沿って移行す
るに伴いガイドローラ２２から繰り出されるダミーワイ
ヤＤＷの指向方向が順次変化する。この場合、ダンサロ
ーラ２４は前述の如く垂直軸６０を中心として回動する
レバー６１の先端に取り付けられているから、ダミーワ
イヤの指向方向の移動に追随し外れることがない、　　
巻付は終了後はダミーワイヤの終端を面接５．６等適所
に止着し、ユニットＡを取付プレート１５から取り外し
て作業を終了する。

なおユニットＡに切断用ワイヤＳ（第７図参照）の巻付
は要領は、ユニットＡを切断機に取り付け、ダミーワイ
ヤＤＷの一端を切断用ワイヤＳと連結し、ダミーワイヤ
ＤＷの他端を引っ張ることにより容易に置換される。

また本実施例はダミーワイヤを巻き付ける例を示したが
、これは勿論切断用ワイヤを本装置により溝ローラユニ
ットに巻付け、巻付終了後ボビンをユニットＡと共に取
り外すようにしてもよい。

〔発明の効果〕

本発明によるときは、ワイヤはダンサローラを介して繰
り出される故上配溝ローラユニットが多角形でワイヤの
引出し速度及び張力が不均一であってもダンサローラが
これを吸収し巻付は張力を均一とすることができる。ま
たダンサローラは溝ローラに対するワイヤの巻付位置即
ちトラバースローラの位置に応じて首を振り、常にワイ
ヤ繰出し位置と巻付位置を結ぶ線上に位置するためダン
サローラはワイヤから外れることがなく円滑な送り込み
を可能とする等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図は本発明の実施例に間し、第１図は全
体側面図、第２図は平面図、第３図は正面図、第４図は
溝ローラユニットの縦断面図、第５１！ｌはその正面図
、第６図は第１図におけるＩ−１線に沿う断面説明図、
第７図は従来のワイヤ式切断機の要部の斜視図である。 １はワイヤ巻付装置、２．３．４は満ローラ、５．６は
面接、１０は回動手段、２０はワイヤ繰出し機構、２１
はワイヤ供給ボビン、２３はトラバースローラ、２４は
ダンサローラ、４０は送り軸、６０は垂直軸、Ａは溝ロ
ーラユニット、ＤＷはダミーワイヤである。 特許出願人　住友金属工業株式会社 第１図 １：’７．（ヤ４叶イ↑ｊ（ぶｊ　　　　　　２３：）
ラノで−スロ・う２．３，４：５ｓａ−ｆ７　　　　　
　　２４　：　ダ＞ｇｏ−’７２ｏ：繰獣、虐１禽　　
　　　Ａ：溝ロー料ニット２１　　：　；ｒ’、Ｃ７ｏ
ｗ：　　ｒ”、−’Ｍ；１゜第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の溝ローラを対をなす面抜間に回動自在に取り付け
   て溝ローラユニットとし、該溝ローラユニットを溝ロー
   ラと平行の軸心を中心としての回動手段と、溝ローラに
   ワイヤを導く繰出し機構とを備えたワイヤ巻付装置にお
   いて、ワイヤ繰出し機構はワイヤ供給ボビンと、溝ロー
   ラユニットの回動に連動して溝ローラに沿って横方向に
   移行するトラバースローラ並びに両者間に配備されるダ
   ンサローラとを備え、ダンサローラはワイヤに張力を付
   与すると共にトラバースローラの横方向移行に伴う繰出
   しワイヤの指向方向の変動に追随して首振り可能に垂直
   軸に支持されたことを特徴とするワイヤ巻付装置におけ
   るワイヤ繰出し機構。