JPH01184907A - Ｆｅ−Ｎｉ系磁性合金薄板の製造方法 - Google Patents
Ｆｅ−Ｎｉ系磁性合金薄板の製造方法Info
- Publication number
- JPH01184907A JPH01184907A JP63008404A JP840488A JPH01184907A JP H01184907 A JPH01184907 A JP H01184907A JP 63008404 A JP63008404 A JP 63008404A JP 840488 A JP840488 A JP 840488A JP H01184907 A JPH01184907 A JP H01184907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- plate
- nitrogen
- conducted
- annealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Soft Magnetic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の分野〕
本発明は、特に高周波磁界の下で用いるに適した高周波
用数−ニッケル（Ｆｅ−Ｎｉ）系磁性合金薄板の製造方
法に関するものである。
用数−ニッケル（Ｆｅ−Ｎｉ）系磁性合金薄板の製造方
法に関するものである。
Ｆｅ−Ｎｉ系合金の代表的な磁性合金としてパーマロイ
がある。パーマロイはＡ級（７０〜８０％Ｎｉ、残Ｆｅ
） 、 Ｂ級（４０〜５０％Ｎｉ、残Ｆｅ） 、Ｃ級（
７０〜８０％Ｎ１の他に特殊成分を含む、残Ｆｅ） 、
Ｄ級（３５〜４０％Ｎｉ、残Ｆｅ） 、Ｅ級（４５〜
５５％Ｎｉ、残Ｆｅ）など各種のものがあり、これらは
その特性に応じて継電器、磁極片、トランス、変成器な
どに使用されている。
がある。パーマロイはＡ級（７０〜８０％Ｎｉ、残Ｆｅ
） 、 Ｂ級（４０〜５０％Ｎｉ、残Ｆｅ） 、Ｃ級（
７０〜８０％Ｎ１の他に特殊成分を含む、残Ｆｅ） 、
Ｄ級（３５〜４０％Ｎｉ、残Ｆｅ） 、Ｅ級（４５〜
５５％Ｎｉ、残Ｆｅ）など各種のものがあり、これらは
その特性に応じて継電器、磁極片、トランス、変成器な
どに使用されている。
上記のようなパーマロイは規則格子変態をもっているの
で熱処理によりその磁性は非常に敏感に変化する性質を
有している。このようなＦｅ−Ｎｉ系磁性材料の中で高
周波磁界の下で用いる磁性材料は、実効透磁率が高くて
コア損失の小さいことが要求される。特に最近の各種エ
レクトロニクスデバイスでは、小型化、高性能化、高信
頼性が強く要求されており、その解決法の一つにインダ
クター及びトランスに使用される磁性材料の高周波化が
考えられている。
で熱処理によりその磁性は非常に敏感に変化する性質を
有している。このようなＦｅ−Ｎｉ系磁性材料の中で高
周波磁界の下で用いる磁性材料は、実効透磁率が高くて
コア損失の小さいことが要求される。特に最近の各種エ
レクトロニクスデバイスでは、小型化、高性能化、高信
頼性が強く要求されており、その解決法の一つにインダ
クター及びトランスに使用される磁性材料の高周波化が
考えられている。
そこで最近、溶湯急冷法により製造される非晶質金属の
研究開発が行われているが、高製造コストであることや
非晶質構造の緩和にともなう透磁率の経時変化などがあ
るため、実用化に問題点がある。
研究開発が行われているが、高製造コストであることや
非晶質構造の緩和にともなう透磁率の経時変化などがあ
るため、実用化に問題点がある。
このようなことから、従来から高周波磁界中で用いられ
る磁心として、圧延による磁性薄板が用いられており、
そしてこの磁性薄板の渦電流損失の低減を図るために板
厚をなるべく薄くする方策がとられてきた。しかし、板
厚を薄くするほど、部品に組み立てる際に生じる歪の影
響を強く受け、磁気特性が劣化しやすくなる等の問題が
ある。
る磁心として、圧延による磁性薄板が用いられており、
そしてこの磁性薄板の渦電流損失の低減を図るために板
厚をなるべく薄くする方策がとられてきた。しかし、板
厚を薄くするほど、部品に組み立てる際に生じる歪の影
響を強く受け、磁気特性が劣化しやすくなる等の問題が
ある。
本発明者らは、かかる点に鑑み本発明に至ったものであ
る。すなわち、本発明は、Ｆ ｅ −Ｎ ｉ系合金を１
００μｍ以下の板厚に冷間圧延後、磁性焼鈍を行い、次
に窒素或は窒素、水素雰囲気中で５００℃以上の温度に
５分間以上保持する焼鈍処理を行うことを特徴とするＦ
ｅ−Ｎｉ系磁性合金薄板の製造方法を提供するものであ
る。
る。すなわち、本発明は、Ｆ ｅ −Ｎ ｉ系合金を１
００μｍ以下の板厚に冷間圧延後、磁性焼鈍を行い、次
に窒素或は窒素、水素雰囲気中で５００℃以上の温度に
５分間以上保持する焼鈍処理を行うことを特徴とするＦ
ｅ−Ｎｉ系磁性合金薄板の製造方法を提供するものであ
る。
次に本発明における条件の限定理由などを以下に詳細に
述べる。
述べる。
本発明においては、まず素材となるＦｅ−Ｎｉ系合金（
パーマロイ）を溶製後インゴットに鋳造し、これを鍛造
、熱間圧延後を行った後、酸洗を行い、続いて冷間圧延
及び焼鈍を必要に応じ繰り返して必要な板厚寸法に圧延
していく。この冷間圧延での目標板厚は、１００μｍ以
下とする。この後、磁性焼鈍を行う。磁性焼鈍は、乾燥
水素などの非酸化性の雰囲気中で、１０００ ’Ｃ以上
の温度に１０分間以上保持した後、適当な冷却速度で室
温まで冷却する。次に、窒素あるいは窒素、水素雰囲気
中で５００℃以上の温度に５分間保持し、適当な冷却速
度で室温まで冷却する。これにより、材料の表面に窒化
物が生じて材料表面の硬さが上昇し、薄板に適当な強度
が与えられる。また、磁性材としての実効板厚が薄くな
り交流磁気特性が改善されることになる。この熱処理は
、必要に応じて前記磁性焼鈍と同様な温度で行い、補完
的な磁性焼鈍を兼ねることもできる。以上の熱処理を施
すことによって、交流損失が小さく、歪の影響を受けに
くく、磁気ヘッドとして使用した際には耐摩耗性に富む
極薄板（箔）のＦｅ−Ｎｉ系合金（パーマロイ）を得る
ことができる。このようにして交流磁気特性を著しく改
善した極薄板（箔）磁性材を製造することができる。
パーマロイ）を溶製後インゴットに鋳造し、これを鍛造
、熱間圧延後を行った後、酸洗を行い、続いて冷間圧延
及び焼鈍を必要に応じ繰り返して必要な板厚寸法に圧延
していく。この冷間圧延での目標板厚は、１００μｍ以
下とする。この後、磁性焼鈍を行う。磁性焼鈍は、乾燥
水素などの非酸化性の雰囲気中で、１０００ ’Ｃ以上
の温度に１０分間以上保持した後、適当な冷却速度で室
温まで冷却する。次に、窒素あるいは窒素、水素雰囲気
中で５００℃以上の温度に５分間保持し、適当な冷却速
度で室温まで冷却する。これにより、材料の表面に窒化
物が生じて材料表面の硬さが上昇し、薄板に適当な強度
が与えられる。また、磁性材としての実効板厚が薄くな
り交流磁気特性が改善されることになる。この熱処理は
、必要に応じて前記磁性焼鈍と同様な温度で行い、補完
的な磁性焼鈍を兼ねることもできる。以上の熱処理を施
すことによって、交流損失が小さく、歪の影響を受けに
くく、磁気ヘッドとして使用した際には耐摩耗性に富む
極薄板（箔）のＦｅ−Ｎｉ系合金（パーマロイ）を得る
ことができる。このようにして交流磁気特性を著しく改
善した極薄板（箔）磁性材を製造することができる。
本発明のＦｅ−Ｎｉ系合金は上記のようにパーマロイを
包括するものであるが、磁気特性や耐食性、耐摩耗性を
改善するために合金成分（例えば、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃ
ｏ、Ｃａ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｖ。
包括するものであるが、磁気特性や耐食性、耐摩耗性を
改善するために合金成分（例えば、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃ
ｏ、Ｃａ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｖ。
Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ａ１．Ｓｉ、Ｍｇ、希土類元素等）
を総量で１０％以下含有する合金は当然上記Ｆｅ−Ｎｉ
系合金に含まれるものである。
を総量で１０％以下含有する合金は当然上記Ｆｅ−Ｎｉ
系合金に含まれるものである。
なお、本発明において薄板又は極薄板と記載しているも
のは箔を包含し、板厚は箔の厚さをも意味している。そ
れは、板厚１００μｍ以下の記載から自ずと明らかであ
る。
のは箔を包含し、板厚は箔の厚さをも意味している。そ
れは、板厚１００μｍ以下の記載から自ずと明らかであ
る。
本発明は、冷間圧延材をそのまま磁性焼鈍するのみの通
常の製造工程では得られない優れた直流磁気特性と高周
波損失の小さい材料が得られ、このような本発明の開発
によって電子機器の小型化及び性能゛の向上に著しく貢
献することができる。
常の製造工程では得られない優れた直流磁気特性と高周
波損失の小さい材料が得られ、このような本発明の開発
によって電子機器の小型化及び性能゛の向上に著しく貢
献することができる。
次に本発明の実施例について説明する。
冷間圧延によって板厚１００μｍ以下としたＦｅ−Ｎｉ
系パーマロイ合金に磁性焼鈍を施した後。
系パーマロイ合金に磁性焼鈍を施した後。
１００％窒素或は７５％窒素、２５％水素の雰囲気中で
５００℃、９００℃、１１００℃の温度に１５分間以上
保持し、炉冷した。磁性焼鈍条件は、乾燥水素雰囲気中
で１１００℃、１時間加熱後炉冷する条件で行った。こ
のようにして製作した材料より、磁気特性測定用の１０
φ−６φリング試料をフォトエツチング法により作製し
た。本実施例に用いたＦｅ−Ｎｉ系合金は、８ＯＮｉ−
５Ｍｏ−ＦｅのパーマロイＣ系合金である。
５００℃、９００℃、１１００℃の温度に１５分間以上
保持し、炉冷した。磁性焼鈍条件は、乾燥水素雰囲気中
で１１００℃、１時間加熱後炉冷する条件で行った。こ
のようにして製作した材料より、磁気特性測定用の１０
φ−６φリング試料をフォトエツチング法により作製し
た。本実施例に用いたＦｅ−Ｎｉ系合金は、８ＯＮｉ−
５Ｍｏ−ＦｅのパーマロイＣ系合金である。
第１表に本発明による極薄板パーマロイの化学成分とｆ
ｆ！５造工程を示す。また、それらの励磁周波数１ｋＨ
ｚ及び１００ｋＨｚにおける１周期当りのコア損失の測
定結果、樹脂モールド後の励磁周波数１ ｋ Ｈｚにお
ける１゛周期当りのコア損失及び熱処理後の試料表面の
ビッカース硬さも第１表に併記する。
ｆ！５造工程を示す。また、それらの励磁周波数１ｋＨ
ｚ及び１００ｋＨｚにおける１周期当りのコア損失の測
定結果、樹脂モールド後の励磁周波数１ ｋ Ｈｚにお
ける１゛周期当りのコア損失及び熱処理後の試料表面の
ビッカース硬さも第１表に併記する。
第１表から明らかなように、本発明例の■〜■は、比較
例■〜０に比べ交流コア損失が小さく、ビッカース硬さ
が大きい。また、硬さが大きいほどモールド後の交流コ
ア損失の増大が少なくなっている。比較例■の硬さが大
きいのは、熱処理温度が低く、加工歪が解放されていな
いためで、その磁気特性は本発明例に比較して大きく劣
っている。本発明例■と■は、冷間圧延材を磁性焼鈍後
、１°１００℃で熱処理した場合と冷間圧延材をそのま
ま１１００℃で熱処理した場合の結果である。
例■〜０に比べ交流コア損失が小さく、ビッカース硬さ
が大きい。また、硬さが大きいほどモールド後の交流コ
ア損失の増大が少なくなっている。比較例■の硬さが大
きいのは、熱処理温度が低く、加工歪が解放されていな
いためで、その磁気特性は本発明例に比較して大きく劣
っている。本発明例■と■は、冷間圧延材を磁性焼鈍後
、１°１００℃で熱処理した場合と冷間圧延材をそのま
ま１１００℃で熱処理した場合の結果である。
両者の磁気特性及び硬さに差はなく、この熱処理は補完
的な磁性焼鈍を兼ねることが出来ることが分かる。比較
例■は、熱処理温度が２００℃と低いため熱処理の効果
が見られない。本発明例に示したように、本発明の熱処
理条件を変えることにより、磁気特性及び材料の硬さの
制御が可能となる。
的な磁性焼鈍を兼ねることが出来ることが分かる。比較
例■は、熱処理温度が２００℃と低いため熱処理の効果
が見られない。本発明例に示したように、本発明の熱処
理条件を変えることにより、磁気特性及び材料の硬さの
制御が可能となる。
以下余白
Claims (1)
- １）Ｆｅ−Ｎｉ系合金を１００μｍ以下の板厚に冷間
圧延後、磁性焼鈍を行い、次に窒素或は窒素、水素雰囲
気中で５００℃以上の温度に５分間以上保持する焼鈍処
理を行うことを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系磁性合金薄板の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63008404A JPH01184907A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | Ｆｅ−Ｎｉ系磁性合金薄板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63008404A JPH01184907A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | Ｆｅ−Ｎｉ系磁性合金薄板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01184907A true JPH01184907A (ja) | 1989-07-24 |
Family
ID=11692233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63008404A Pending JPH01184907A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | Ｆｅ−Ｎｉ系磁性合金薄板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01184907A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102418058A (zh) * | 2011-12-02 | 2012-04-18 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 镍靶坯及靶材的制造方法 |
-
1988
- 1988-01-20 JP JP63008404A patent/JPH01184907A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102418058A (zh) * | 2011-12-02 | 2012-04-18 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 镍靶坯及靶材的制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6025864B2 (ja) | 生産性及び磁気的性質に優れた高珪素鋼板及びその製造方法 | |
| CN105047348A (zh) | 一种非晶纳米晶软磁合金的电流互感器铁芯及其制备方法 | |
| US5547520A (en) | Wear-resistant high permeability magnetic alloy and method of manufacturing the same | |
| JP2012500333A (ja) | 磁気歪材料およびその調製方法 | |
| JPH0545658B2 (ja) | ||
| KR100405929B1 (ko) | 내마모성고투과율합금,그의제조방법및자기기록재생헤드 | |
| US4440720A (en) | Magnet alloy useful for a magnetic recording and reproducing head and a method of manufacturing thereof | |
| JPS6362579B2 (ja) | ||
| JPS625972B2 (ja) | ||
| JPS6312936B2 (ja) | ||
| JPS6212296B2 (ja) | ||
| JPS5924178B2 (ja) | 角形ヒステリシス磁性合金およびその製造方法 | |
| JPH01184907A (ja) | Ｆｅ−Ｎｉ系磁性合金薄板の製造方法 | |
| CN115161556A (zh) | 一种铁镍软磁合金及其制备方法 | |
| JPS5947018B2 (ja) | 磁気録音および再生ヘツド用磁性合金ならびにその製造法 | |
| JPS5924177B2 (ja) | 角形ヒステリシス磁性合金 | |
| JPS5947017B2 (ja) | 磁気録音および再生ヘツド用磁性合金ならびにその製造法 | |
| JPS58150119A (ja) | 磁気記録再生ヘツド用高透磁率合金およびその製造法ならびに磁気記録再生ヘツド | |
| JPH02194154A (ja) | 耐摩耗性高透磁率合金の製造法 | |
| JPH04116141A (ja) | 高硬度低透磁率非磁性機能合金およびその製造方法 | |
| JPH0734127A (ja) | 磁気特性の優れた超高珪素電磁鋼板およびその熱処理方法 | |
| JPH0645849B2 (ja) | 耐摩耗性高透磁率合金の製造法 | |
| JPH02153036A (ja) | 磁気記録再生ヘッド用耐摩耗性高透磁率合金およびその製造法ならびに磁気記録再生ヘッド | |
| JPS6218619B2 (ja) | ||
| JPH01119620A (ja) | Ｆｅ―Ｎｉ系磁性合金薄板の製造方法 |