JPH01185430A - 薄膜付着力評価方法 - Google Patents
薄膜付着力評価方法Info
- Publication number
- JPH01185430A JPH01185430A JP63009577A JP957788A JPH01185430A JP H01185430 A JPH01185430 A JP H01185430A JP 63009577 A JP63009577 A JP 63009577A JP 957788 A JP957788 A JP 957788A JP H01185430 A JPH01185430 A JP H01185430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- pattern
- tape
- bonding strength
- evaluated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、基板等に形成された薄膜の付着力を評価する
方法に関する。
方法に関する。
（従来の技術）
基板に薄膜を形成した場合、該薄膜の基板に対する付着
力は薄膜の耐久性、耐摩耗性に大きく影響するため、そ
の付着力を適確に評価することが重要である。
力は薄膜の耐久性、耐摩耗性に大きく影響するため、そ
の付着力を適確に評価することが重要である。
このようなことから、従来、薄膜の付着力を評価する方
法としては■粘着テープを薄膜上に貼着し、該テープを
引き剥がした時に薄膜が基板上に残るか、又はテープと
共に剥離されるかを観察して付着力を評価する引き剥が
し法、■基板に付着された薄膜の表面に平坦な円板を接
着し、該基板を固定した上で該円板をその面に垂直方向
に引張って薄膜を剥離し、該剥離時に加えられた力を測
定して付着力を評価する引張り法、■薄膜に硬い小さな
圧子を押付け、種々な荷重によって圧子を動かし、薄膜
に剥離が生じた時の荷重を測定して付着力を評価する引
掻き法、が知られている。
法としては■粘着テープを薄膜上に貼着し、該テープを
引き剥がした時に薄膜が基板上に残るか、又はテープと
共に剥離されるかを観察して付着力を評価する引き剥が
し法、■基板に付着された薄膜の表面に平坦な円板を接
着し、該基板を固定した上で該円板をその面に垂直方向
に引張って薄膜を剥離し、該剥離時に加えられた力を測
定して付着力を評価する引張り法、■薄膜に硬い小さな
圧子を押付け、種々な荷重によって圧子を動かし、薄膜
に剥離が生じた時の荷重を測定して付着力を評価する引
掻き法、が知られている。
しかしながら、前記■の引き剥がし法は゛極めて簡便で
広く用いられているものの、いわゆる付着力の大雑把な
合否の判定ができるのみで、正確な評価は困難である。
広く用いられているものの、いわゆる付着力の大雑把な
合否の判定ができるのみで、正確な評価は困難である。
また、前記■の引張り法は円板と薄膜の確実な接着が難
しく、かつ薄膜が円板の縁の箇所から裂けてしまうこと
が多いため、測定値にばらつきが生じる問題がある。更
に、前記■の引掻き法は異なる大きさの荷重により数多
くの引掻きを薄膜に形成する必要があるため、操作が繁
雑化し、しかも剥離した否かの判定が難しいという問題
があった。
しく、かつ薄膜が円板の縁の箇所から裂けてしまうこと
が多いため、測定値にばらつきが生じる問題がある。更
に、前記■の引掻き法は異なる大きさの荷重により数多
くの引掻きを薄膜に形成する必要があるため、操作が繁
雑化し、しかも剥離した否かの判定が難しいという問題
があった。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされた
もので、薄膜の付着力の強さを簡単な手段で高精度かつ
定量的に評価することが可能な薄膜付着力評価方法を提
供しようとするものである。
もので、薄膜の付着力の強さを簡単な手段で高精度かつ
定量的に評価することが可能な薄膜付着力評価方法を提
供しようとするものである。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、薄膜が付るされた被測定物の測定領域の薄膜
を選択的にエツチングして寸法の異なる複数のパターン
を形成する工程と、このパターン群の付着力を評価する
工程とを具備したことを特徴とする薄膜付着力評価方法
である。
を選択的にエツチングして寸法の異なる複数のパターン
を形成する工程と、このパターン群の付着力を評価する
工程とを具備したことを特徴とする薄膜付着力評価方法
である。
（作用）
本発明は、薄膜が付着された被測定物の測定領域の薄膜
を選択的にエツチングして寸法の異なる複数のパターン
を形成した後、このパターン群に例えば粘着テープを貼
着し、該テープを引き剥がす。この場合、寸法の小さい
パターン程、前記選択エツチングでの内部応力の影響か
ら、該テープと共に剥離し易い傾向を持つ。このため、
前記テープの引き剥がしによりパターン群中のテープと
共に剥離されたパターン（パターンの面積の大小）から
薄膜の付着力を評価できる。つまり、パターン群中の面
積の小さいパターンのみしかテープと共に剥離されない
場合には、薄膜の基板等に対する付着力が強いと評価で
き、一方面積の大きいパターンをもテープと共に剥離さ
れる場合には薄膜の基板等に対する付着力が弱いと評価
できる。
を選択的にエツチングして寸法の異なる複数のパターン
を形成した後、このパターン群に例えば粘着テープを貼
着し、該テープを引き剥がす。この場合、寸法の小さい
パターン程、前記選択エツチングでの内部応力の影響か
ら、該テープと共に剥離し易い傾向を持つ。このため、
前記テープの引き剥がしによりパターン群中のテープと
共に剥離されたパターン（パターンの面積の大小）から
薄膜の付着力を評価できる。つまり、パターン群中の面
積の小さいパターンのみしかテープと共に剥離されない
場合には、薄膜の基板等に対する付着力が強いと評価で
き、一方面積の大きいパターンをもテープと共に剥離さ
れる場合には薄膜の基板等に対する付着力が弱いと評価
できる。
従って、本発明方法によれば薄膜の付着力の強さを簡単
な手段で高精度かつ定量的に評価することができる。
な手段で高精度かつ定量的に評価することができる。
（発明の実施例）
以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。
。
まず、第１図（ａ）に示す基板１上に薄膜２を付着した
被測定物を用意した。つづいて、同図（ｂ）示すように
薄膜２上にレジスト膜３を塗布した後、該レジスト膜３
を露光、現像処理してレジストパターン４を形成した（
同図（Ｃ）図示）。
被測定物を用意した。つづいて、同図（ｂ）示すように
薄膜２上にレジスト膜３を塗布した後、該レジスト膜３
を露光、現像処理してレジストパターン４を形成した（
同図（Ｃ）図示）。
次いで、同図（ｄ）に示すようにレジストパターン４を
マスクとして露出する薄膜２部分を選択的のエツチング
して寸法の異なる罠数の薄膜パターン５からなるパター
ン群を形成した後、レジストパターン４を除去した（同
図（ｅ）図示）。ここで、パターン群は顕微鏡視野部を
示す第２図のようにＸ、Ｙ方向に夫々１００μｍＸＩｏ
ｇｎの間隔で形成された両対数目盛状の１０本のエツチ
ング線（格子） ６ａ〜８ｊ、 ７ａ 〜７ｊにより１
００μｍＸ１００μｍの測定領域８を区画した８１の薄
膜パターン５から構成される。
マスクとして露出する薄膜２部分を選択的のエツチング
して寸法の異なる罠数の薄膜パターン５からなるパター
ン群を形成した後、レジストパターン４を除去した（同
図（ｅ）図示）。ここで、パターン群は顕微鏡視野部を
示す第２図のようにＸ、Ｙ方向に夫々１００μｍＸＩｏ
ｇｎの間隔で形成された両対数目盛状の１０本のエツチ
ング線（格子） ６ａ〜８ｊ、 ７ａ 〜７ｊにより１
００μｍＸ１００μｍの測定領域８を区画した８１の薄
膜パターン５から構成される。
次いで、粘着テープ（図示せず）を前記測定領域に貼着
して該テープを引き剥がすことによりパターン群中のテ
ープと共に剥離された薄膜パターンの面積（Ｓ）を１１
定した。
して該テープを引き剥がすことによりパターン群中のテ
ープと共に剥離された薄膜パターンの面積（Ｓ）を１１
定した。
ところで、前記パターン群中の寸法の小さい薄膜パター
ン５ （例えば６１、Ｏｊ、 ７１．７ｊの格子で分離
されたパターン）は、寸法の大きい薄膜パターン５ （
例えば８ａ、 ８ｂ、 ７ａ、 ７ｂの格子で分離され
たパターン）に比べて上記エツチングでの内部応力の影
響により前記粘着テープの引き剥がしに際し、テープと
共に剥離し易い傾向にある。また、前記粘着テープの引
き剥がしに際し、基板に対する付着力の強い薄膜ではテ
ープと共に剥離される薄膜パターンの面積が小さく、反
対に付着力の弱い薄膜ではテープと共に剥離される薄膜
パターンの面積が大きくなる。こうしたことから、下記
（１）式に示す測定領域の面積（Ｓｏ ）とテープと共
に剥離された薄膜パターンの面積（Ｓｌ）との比である
剥、！１ｉＩｔ面積比（Ａ）から薄膜の付着力度合を評
価できる。
ン５ （例えば６１、Ｏｊ、 ７１．７ｊの格子で分離
されたパターン）は、寸法の大きい薄膜パターン５ （
例えば８ａ、 ８ｂ、 ７ａ、 ７ｂの格子で分離され
たパターン）に比べて上記エツチングでの内部応力の影
響により前記粘着テープの引き剥がしに際し、テープと
共に剥離し易い傾向にある。また、前記粘着テープの引
き剥がしに際し、基板に対する付着力の強い薄膜ではテ
ープと共に剥離される薄膜パターンの面積が小さく、反
対に付着力の弱い薄膜ではテープと共に剥離される薄膜
パターンの面積が大きくなる。こうしたことから、下記
（１）式に示す測定領域の面積（Ｓｏ ）とテープと共
に剥離された薄膜パターンの面積（Ｓｌ）との比である
剥、！１ｉＩｔ面積比（Ａ）から薄膜の付着力度合を評
価できる。
Ａ＝Ｓ１ ／ Ｓｏ −（１）
しかして、本実施例においてパターン群中のテープと共
に剥離された薄膜パターンの面積（Ｓ）を前記（１）式
（但し式中のＳ。は１００μｍＸ１００ ａ ｍ −Ｉ
ＱＯＱＯｕ ｍ）に代入し、剥離面積比（Ａ）が小さい
場合は付着力が強く、反対に大きい場合には付着力が弱
いと定量的に評価できた。
に剥離された薄膜パターンの面積（Ｓ）を前記（１）式
（但し式中のＳ。は１００μｍＸ１００ ａ ｍ −Ｉ
ＱＯＱＯｕ ｍ）に代入し、剥離面積比（Ａ）が小さい
場合は付着力が強く、反対に大きい場合には付着力が弱
いと定量的に評価できた。
従って、本発明方法によれば剥離したパターンの面積か
ら薄膜の付着力の度合を定量的に評価できる。特に、薄
膜パターンを両対数目盛状に形成すれば剥離の生じた薄
膜パターンと生じない薄膜パターンとを容易に識別でき
るともに、剥離された薄膜パターンの面積計測が容易と
なり、薄膜の付着力の度合をより高精度に評価できる。
ら薄膜の付着力の度合を定量的に評価できる。特に、薄
膜パターンを両対数目盛状に形成すれば剥離の生じた薄
膜パターンと生じない薄膜パターンとを容易に識別でき
るともに、剥離された薄膜パターンの面積計測が容易と
なり、薄膜の付着力の度合をより高精度に評価できる。
なお、上記実施例ではパターンを対数目盛の間隔の格子
で区画して形成したが、これに限定されず、格子の間隔
を段階的に密から↑■と変化させて寸法の異なるパター
ンを形成すればよい。また、格子で区画されたパターン
形状の正方形に限らず、長方形や菱形にしてもよい。
で区画して形成したが、これに限定されず、格子の間隔
を段階的に密から↑■と変化させて寸法の異なるパター
ンを形成すればよい。また、格子で区画されたパターン
形状の正方形に限らず、長方形や菱形にしてもよい。
上記実施例では、パターン群の付着力の評価を粘着テー
プの貼着、引き剥がしにより行なったが、これに限定さ
れない。例えば、活管テープ以外の機械的な手段でパタ
ーン群に外力を与えたり、超克 音波をパターン群に与えてパターン群の付着力Ｖ評価し
てもよい。
プの貼着、引き剥がしにより行なったが、これに限定さ
れない。例えば、活管テープ以外の機械的な手段でパタ
ーン群に外力を与えたり、超克 音波をパターン群に与えてパターン群の付着力Ｖ評価し
てもよい。
［発明の効果］
以上詳述した如く、本発明によれば薄膜の付着力の強さ
を簡単な手段で高精度かつ定量的に評価することが可能
な薄膜付着力評価方法を提供できる。
を簡単な手段で高精度かつ定量的に評価することが可能
な薄膜付着力評価方法を提供できる。
第１図（ａ）〜（ｅ）は本発明の実施例における薄膜パ
ターンの形成工程を示す断面図、第２図は第１図（ｅ）
の薄膜パターン形成後の基板における顕微鏡視野部を示
す平面図である。 ｌ・・・基板、２・・・薄膜、４・・・レジストパター
ン、５・・・薄膜パターン、６ａ〜Ｂｊ、 ７ａ〜７ｊ
・・・ｍ子、８・・・７１ｐ１定領域。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
ターンの形成工程を示す断面図、第２図は第１図（ｅ）
の薄膜パターン形成後の基板における顕微鏡視野部を示
す平面図である。 ｌ・・・基板、２・・・薄膜、４・・・レジストパター
ン、５・・・薄膜パターン、６ａ〜Ｂｊ、 ７ａ〜７ｊ
・・・ｍ子、８・・・７１ｐ１定領域。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
Claims (1)
- 薄膜が付着された被測定物の測定領域の薄膜を選択的に
エッチングして寸法の異なる複数のパターンを形成する
工程と、このパターン群の付着力を評価する工程とを具
備したことを特徴とする薄膜付着力評価方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63009577A JPH01185430A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 薄膜付着力評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63009577A JPH01185430A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 薄膜付着力評価方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01185430A true JPH01185430A (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=11724167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63009577A Pending JPH01185430A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 薄膜付着力評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01185430A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10056527A1 (de) * | 2000-11-15 | 2002-05-23 | Siemens Ag | Testkörper, Testvorrichtung sowie Verfahren zum Bestimmen der Haftfestigkeit einer auf einem Bauteil befindlichen Beschichtung |
| WO2003008938A3 (de) * | 2001-07-16 | 2003-05-22 | Siemens Ag | Verfahren zum bestimmen der haftfestigkeit einer beschichtung auf einem bauteil |
| KR100866895B1 (ko) * | 2007-04-05 | 2008-11-04 | 희성금속 주식회사 | 금속과 동종금속 클래드재 및 금속과 이종재료 클래드재의90°접착강도측정（Ｐｅｅｌ ｔｅｓｔ）을 위한 시편제조방법 및 90°접착강도 측정방법 |
| WO2009040999A1 (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Daikin Industries, Ltd. | 碁盤目試験方法及び碁盤目試験装置 |
| JP2009079985A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toshiba Corp | 膜の付着力検査方法、膜の付着力検査装置、および製品の製造方法 |
-
1988
- 1988-01-21 JP JP63009577A patent/JPH01185430A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10056527A1 (de) * | 2000-11-15 | 2002-05-23 | Siemens Ag | Testkörper, Testvorrichtung sowie Verfahren zum Bestimmen der Haftfestigkeit einer auf einem Bauteil befindlichen Beschichtung |
| DE10056527C2 (de) * | 2000-11-15 | 2002-11-28 | Siemens Ag | Testkörper, Testvorrichtung sowie Verfahren zum Bestimmen der Haftfestigkeit einer auf einem Bauteil befindlichen Beschichtung |
| WO2003008938A3 (de) * | 2001-07-16 | 2003-05-22 | Siemens Ag | Verfahren zum bestimmen der haftfestigkeit einer beschichtung auf einem bauteil |
| KR100866895B1 (ko) * | 2007-04-05 | 2008-11-04 | 희성금속 주식회사 | 금속과 동종금속 클래드재 및 금속과 이종재료 클래드재의90°접착강도측정（Ｐｅｅｌ ｔｅｓｔ）을 위한 시편제조방법 및 90°접착강도 측정방법 |
| JP2009079985A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toshiba Corp | 膜の付着力検査方法、膜の付着力検査装置、および製品の製造方法 |
| WO2009040999A1 (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Daikin Industries, Ltd. | 碁盤目試験方法及び碁盤目試験装置 |
| JP2009098113A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-05-07 | Daikin Ind Ltd | 碁盤目試験方法及び碁盤目試験装置 |
| EP2204644A4 (en) * | 2007-09-27 | 2015-08-05 | Daikin Ind Ltd | CROSS-CUT TEST METHOD AND CROSS-SECTION TEST DEVICE |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0527047Y2 (ja) | ||
| KR20200011585A (ko) | 메탈 마스크 기재, 메탈 마스크, 및 메탈 마스크의 제조 방법 | |
| Okatani et al. | A tactile sensor for simultaneous measurements of 6-axis force/torque and the coefficient of static friction | |
| JPH01185430A (ja) | 薄膜付着力評価方法 | |
| CN102543791A (zh) | 一种以碲镉汞为基底的薄膜附着力定量测试方法 | |
| FR2703461B1 (fr) | Procédés et appareils de mesure, d'uniformisation, de réglage, de nettoyage, de fabrication et de polissage. | |
| CN109373965B (zh) | 一种适用于应变测量的三轴60°应变式传感器粘贴装置及粘接方法 | |
| JPH11173973A (ja) | 薄膜の付着力測定方法 | |
| JPS60196644A (ja) | 付着力評価方法 | |
| He et al. | Experimental determination of crack driving forces in integrated structures | |
| JPH06349917A (ja) | 応力評価方法および応力評価用試料 | |
| JPH01291144A (ja) | 薄膜付着力の測定方法 | |
| JPS62149148A (ja) | 半導体装置の評価方法 | |
| JPS61224465A (ja) | 力センサ及びその製造方法 | |
| KR100499167B1 (ko) | 웨이퍼 상에 형성된 소정의 막의 접착력을 분석하는 테이프 | |
| JPS58196439A (ja) | 薄膜強度測定方法 | |
| JPH03218044A (ja) | 標準ウエハ | |
| JPH03236253A (ja) | 付着力測定用付着膜構造 | |
| JPH0362548A (ja) | 半導体ウェーハ保持用接着テープ | |
| JPS63231240A (ja) | 薄膜コ−テイングのクラツク発生限界歪検出法 | |
| JPH0448182B2 (ja) | ||
| JPS62131532A (ja) | 薄膜の膜厚測定方法 | |
| JPH08145713A (ja) | 集団の特性代表値の算出方法 | |
| JPH0727525A (ja) | 材料ひずみ計測用シ−ト | |
| SU1446462A1 (ru) | Способ определени остаточного ресурса материала детали |