JPH01187914A - 半導体磁器物質 - Google Patents
半導体磁器物質Info
- Publication number
- JPH01187914A JPH01187914A JP1283488A JP1283488A JPH01187914A JP H01187914 A JPH01187914 A JP H01187914A JP 1283488 A JP1283488 A JP 1283488A JP 1283488 A JP1283488 A JP 1283488A JP H01187914 A JPH01187914 A JP H01187914A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide
- mol
- substance
- mole
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体磁器の粒界に絶縁層を設けてなる半導
体磁器物質に関する。
体磁器物質に関する。
近年、チタン酸バリウム(BaTiO+)、又はチタン
酸ストロンチウム(SrTiOt)等を主体とする半導
体磁器の粒界に、誘電体として高絶縁層を設けてなる粒
界誘電体型の半導体磁器コンデンサ等の半導体磁器物質
が、広く用いられている。そしてこの半導体磁器物質は
、まずチタン酸バリウム(BaTiO:+)、又はチタ
ン酸ストロンチウム(SrTiO3)を主材料としてこ
れに、原子価制御用助剤として酸化ニオブ(NbzOs
)、酸化イツトリウム(Yz(h)、酸化ディスプロシ
ウム(DyzOa) 、酸化セリウム(CE!02)等
を添加し、また焼結用助剤として酸化ケイ素(Stag
) +酸化アルミニウム(Al□0.)、酸化マンガン
(MnO□)、酸化銅(Cub) 、酸化マンガン(M
nO2)十酸化銅(CuO)、酸化ビスマス(Biz0
3)等の少なくとも1種以上を添加し、中性又は還元雰
囲気中にて焼結して半導体磁器を得、次にこの半導体磁
器の粒界に誘電体層を設けるべく、酸化マンガン(Mn
Og)、酸化銅(Cub)、酸化ビスマス(BizO+
)等の金属酸化物を前記拡散物質として熱拡散させて得
られていた(特公昭56−51820号公報、特公昭5
6−74913号公報)。
酸ストロンチウム(SrTiOt)等を主体とする半導
体磁器の粒界に、誘電体として高絶縁層を設けてなる粒
界誘電体型の半導体磁器コンデンサ等の半導体磁器物質
が、広く用いられている。そしてこの半導体磁器物質は
、まずチタン酸バリウム(BaTiO:+)、又はチタ
ン酸ストロンチウム(SrTiO3)を主材料としてこ
れに、原子価制御用助剤として酸化ニオブ(NbzOs
)、酸化イツトリウム(Yz(h)、酸化ディスプロシ
ウム(DyzOa) 、酸化セリウム(CE!02)等
を添加し、また焼結用助剤として酸化ケイ素(Stag
) +酸化アルミニウム(Al□0.)、酸化マンガン
(MnO□)、酸化銅(Cub) 、酸化マンガン(M
nO2)十酸化銅(CuO)、酸化ビスマス(Biz0
3)等の少なくとも1種以上を添加し、中性又は還元雰
囲気中にて焼結して半導体磁器を得、次にこの半導体磁
器の粒界に誘電体層を設けるべく、酸化マンガン(Mn
Og)、酸化銅(Cub)、酸化ビスマス(BizO+
)等の金属酸化物を前記拡散物質として熱拡散させて得
られていた(特公昭56−51820号公報、特公昭5
6−74913号公報)。
原子価制御用助剤又は焼結用助剤としてどのような物質
を用いるかにより、得られる半導体磁器物質の電気的な
特性〔誘電率(εapp) 、誘電正接(tan δ)
9体積抵抗率(ρapp) +静電容量温度特性(TC
値)等〕に相違がある。例えば、チタン酸バリウム(B
aTiO,)を主成分とし、原子価制御用助剤として酸
化ディスプロシウム(DyzO2)を添加して得られる
半導体磁器物質にあっては、誘電率は60.000〜8
0,000と高いが、静電容量温度特性(TC値)は2
0℃における静電容量を基準値とした場合−25℃〜+
85℃の温度範囲内の最大変化率が±35%と大きく、
また誘電正接(tan δ)も8%と高くなる。
を用いるかにより、得られる半導体磁器物質の電気的な
特性〔誘電率(εapp) 、誘電正接(tan δ)
9体積抵抗率(ρapp) +静電容量温度特性(TC
値)等〕に相違がある。例えば、チタン酸バリウム(B
aTiO,)を主成分とし、原子価制御用助剤として酸
化ディスプロシウム(DyzO2)を添加して得られる
半導体磁器物質にあっては、誘電率は60.000〜8
0,000と高いが、静電容量温度特性(TC値)は2
0℃における静電容量を基準値とした場合−25℃〜+
85℃の温度範囲内の最大変化率が±35%と大きく、
また誘電正接(tan δ)も8%と高くなる。
また、チタン酸ストロンチウム(SrTi(1+)を主
成分とし、原子価制御用助剤として酸化ディスプロシウ
ム(DVxOi)又は酸化セリウム(CeO□)を添加
する場合には誘電正接は2%と低く、また静電容量温度
特性(TC値)は±15%と低いが、誘電率が30.0
00〜40,000と低くなる。一方焼結用助剤として
酸化マンガン(MnO□)を添加する場合には、体積抵
抗率は良好である反面誘電率等の電気的特性は十分でな
く、また焼結用助剤として酸化ビスマス(Bizo2)
又は酸化アルミニウ°ム(A120.)を添加する場合
には誘電率、誘電正接は良好である反面静電容量温度特
性(TC値)は不十分であった。
成分とし、原子価制御用助剤として酸化ディスプロシウ
ム(DVxOi)又は酸化セリウム(CeO□)を添加
する場合には誘電正接は2%と低く、また静電容量温度
特性(TC値)は±15%と低いが、誘電率が30.0
00〜40,000と低くなる。一方焼結用助剤として
酸化マンガン(MnO□)を添加する場合には、体積抵
抗率は良好である反面誘電率等の電気的特性は十分でな
く、また焼結用助剤として酸化ビスマス(Bizo2)
又は酸化アルミニウ°ム(A120.)を添加する場合
には誘電率、誘電正接は良好である反面静電容量温度特
性(TC値)は不十分であった。
このように、すべての電気的特性について良好な結果(
誘電率及び体積抵抗率は高く、誘電正接及び静電容量温
度特性(TC値)は低い)を有する半導体磁器物質は未
だ得られていない。
誘電率及び体積抵抗率は高く、誘電正接及び静電容量温
度特性(TC値)は低い)を有する半導体磁器物質は未
だ得られていない。
本発明者は、原子価制御用助剤又は焼結用助剤として種
々の材料を用いてなる半導体磁器物質について、その電
気的特性を調査した結果、原子価制御用助剤として酸化
ニオブ(NbzOs)又は酸化インドリウム(Y2O2
)のうち1種又は2種を添加し、焼結用助剤としてシリ
カ(SiO□)と酸化マンガン(MnO□)と酸化銅(
Cub)との混合物を添加した場合には、すべての電気
的特性が良好である半導体磁器物質が得られることを知
見した。
々の材料を用いてなる半導体磁器物質について、その電
気的特性を調査した結果、原子価制御用助剤として酸化
ニオブ(NbzOs)又は酸化インドリウム(Y2O2
)のうち1種又は2種を添加し、焼結用助剤としてシリ
カ(SiO□)と酸化マンガン(MnO□)と酸化銅(
Cub)との混合物を添加した場合には、すべての電気
的特性が良好である半導体磁器物質が得られることを知
見した。
本発明はかかる知見に基づいてなされたものであり、前
述のすべての電気的特性について良好な結果が得られる
半導体磁器物質を提供することを目的とする。
述のすべての電気的特性について良好な結果が得られる
半導体磁器物質を提供することを目的とする。
本発明に係る半導体磁器物質は、主成分がチタン酸スト
ロンチウム(SrTiO3)であり、残部が該チタン酸
ストロンチウム(SrTiO3) 100モルに対し、
酸化ニオブ(Nb20.) 、酸化イットリウム(Y2
Oi)のうち1種又は2種が0.1〜0.4モル、シリ
カ(SiO□)が0.1〜0.4モル、酸化マンガン(
MnO2)が0.05〜0.2モル、酸化銅(CuO)
が0.05〜0.2モルおよび不可避の不純物からなる
ことを特徴とするか、又は主成分がチタン酸ストロンチ
ウム(SrTiO3)であり、残部が該チタン酸ストロ
ンチウム(SrTiO3) 100モルに対し、酸化ニ
オブ(NbzOs) 、酸化イツトリウム(’b0i)
のうち1種又は2種が0.1〜0.4モル、シリカ(S
iO2)が0.1〜0.4モル、酸化マンガン(MnO
2)が0.05〜0.2モル、酸化銅(Cub)が0.
05〜0.2モルおよび不可避の不純物からなる磁器の
結晶粒界に、絶縁化のための組成物が拡散してなること
を特徴とする。
ロンチウム(SrTiO3)であり、残部が該チタン酸
ストロンチウム(SrTiO3) 100モルに対し、
酸化ニオブ(Nb20.) 、酸化イットリウム(Y2
Oi)のうち1種又は2種が0.1〜0.4モル、シリ
カ(SiO□)が0.1〜0.4モル、酸化マンガン(
MnO2)が0.05〜0.2モル、酸化銅(CuO)
が0.05〜0.2モルおよび不可避の不純物からなる
ことを特徴とするか、又は主成分がチタン酸ストロンチ
ウム(SrTiO3)であり、残部が該チタン酸ストロ
ンチウム(SrTiO3) 100モルに対し、酸化ニ
オブ(NbzOs) 、酸化イツトリウム(’b0i)
のうち1種又は2種が0.1〜0.4モル、シリカ(S
iO2)が0.1〜0.4モル、酸化マンガン(MnO
2)が0.05〜0.2モル、酸化銅(Cub)が0.
05〜0.2モルおよび不可避の不純物からなる磁器の
結晶粒界に、絶縁化のための組成物が拡散してなること
を特徴とする。
半導体磁器の電気的特性を改善すべく添加される原子価
制御用助剤及び焼結用助剤として上述した如く組成物を
採用した場合、得られる半導体磁器物質はその誘電率及
び体積抵抗率が大幅に向上し、しかも誘電正接及び静電
容量温度特性(TC値)は十分に低い。
制御用助剤及び焼結用助剤として上述した如く組成物を
採用した場合、得られる半導体磁器物質はその誘電率及
び体積抵抗率が大幅に向上し、しかも誘電正接及び静電
容量温度特性(TC値)は十分に低い。
以下本発明を、例えばコンデンサの製造に適用した場合
の実施例について具体的に説明する。
の実施例について具体的に説明する。
まず、本発明の半導体磁器物質の製造方法について説明
する。例えばチタン酸ストロンチウム(SrTiO3)
に原子価制御用助剤として酸化ニオブ(NbzOs)又
は酸化イツトリウム(Y2O2)のうち、1種又は2種
を0.1〜0.4モル%の範囲で添加し、さらに、焼結
用助剤としてシリカ(Sing)を0.1〜0.4−E
−/L/%、酸化マンガン(MnOt)を0.05〜0
.2モル%、酸化銅(Cub)を0.05〜0.2モル
%の各範囲で夫々添加し、十分に混合した後、直径10
鶴、厚さ0.8mmの円板状の素体に加圧成形する。こ
の後水素1〜15%、窒素99〜85%からなる雰囲気
中で1400〜1540℃の範囲で4〜10時間焼成し
て半導体磁器を製造する。次に該半導体磁器の片面に拡
散物質(酸化ビスマス(Biz03)と酸化銅(Cub
)を夫々モル比9:1で半導体磁器1つにつき1mg〜
5mgの量を派別状にして塗布し、1000〜1350
℃で1〜2時間加熱して拡散物質を熱拡散させる。最後
に、このようにして得られた半導体磁器物質の両面に銀
ペーストを印刷し、800℃程度で焼付けて銀電極とし
、コンデンサを得る。
する。例えばチタン酸ストロンチウム(SrTiO3)
に原子価制御用助剤として酸化ニオブ(NbzOs)又
は酸化イツトリウム(Y2O2)のうち、1種又は2種
を0.1〜0.4モル%の範囲で添加し、さらに、焼結
用助剤としてシリカ(Sing)を0.1〜0.4−E
−/L/%、酸化マンガン(MnOt)を0.05〜0
.2モル%、酸化銅(Cub)を0.05〜0.2モル
%の各範囲で夫々添加し、十分に混合した後、直径10
鶴、厚さ0.8mmの円板状の素体に加圧成形する。こ
の後水素1〜15%、窒素99〜85%からなる雰囲気
中で1400〜1540℃の範囲で4〜10時間焼成し
て半導体磁器を製造する。次に該半導体磁器の片面に拡
散物質(酸化ビスマス(Biz03)と酸化銅(Cub
)を夫々モル比9:1で半導体磁器1つにつき1mg〜
5mgの量を派別状にして塗布し、1000〜1350
℃で1〜2時間加熱して拡散物質を熱拡散させる。最後
に、このようにして得られた半導体磁器物質の両面に銀
ペーストを印刷し、800℃程度で焼付けて銀電極とし
、コンデンサを得る。
原子価制御剤として酸化ニオブ(Nb205)を用い、
焼結用助剤としてシリカ(SiO2)、酸化マンガン(
MnO□)及び酸化銅(Cub)を用いて種々の組成比
にて混合し、半導体磁器に塗布して得た半導体磁器物質
の電気的特性を下記第1表に示す。なお、表中の最右欄
に※印を付したものは、前記混合物の組成比が本発明の
条件に一致するものを示している。また表中の誘電率(
εapp)及び誘電正接(tanδ)は、周波数1kl
lz、電圧1■にて測定した値であり、また、静電容量
温度特性(TC値)は、20℃で測定した静電容量を基
準値とし、−25”C〜+85℃の温度範囲で測定した
静電容量の前記基準値に対する変化率のうち、代表とし
て一25℃および+85℃での変化率を示している。
焼結用助剤としてシリカ(SiO2)、酸化マンガン(
MnO□)及び酸化銅(Cub)を用いて種々の組成比
にて混合し、半導体磁器に塗布して得た半導体磁器物質
の電気的特性を下記第1表に示す。なお、表中の最右欄
に※印を付したものは、前記混合物の組成比が本発明の
条件に一致するものを示している。また表中の誘電率(
εapp)及び誘電正接(tanδ)は、周波数1kl
lz、電圧1■にて測定した値であり、また、静電容量
温度特性(TC値)は、20℃で測定した静電容量を基
準値とし、−25”C〜+85℃の温度範囲で測定した
静電容量の前記基準値に対する変化率のうち、代表とし
て一25℃および+85℃での変化率を示している。
一方、体積抵抗率(ρapp)はDC25V1分値によ
って求めた値である。
って求めた値である。
(以下余白)
第1表から、前記混合物の組成比が本発明の条件を満足
しているもの(図中※印)、即ち酸化ニオブ(NbzO
s)が0.1〜0.4モル%、シリカ(SiO□)が0
.1〜0.4モル%、酸化マンガン(MnOg)が0.
05〜0.2モル%、酸化&M(CuO)が0.05〜
0.2モル%の条件を満足しているものは、良好な電気
的特性が得られていることが分かる。
しているもの(図中※印)、即ち酸化ニオブ(NbzO
s)が0.1〜0.4モル%、シリカ(SiO□)が0
.1〜0.4モル%、酸化マンガン(MnOg)が0.
05〜0.2モル%、酸化&M(CuO)が0.05〜
0.2モル%の条件を満足しているものは、良好な電気
的特性が得られていることが分かる。
本発明例は従来例に比して誘電率が1.7〜2.9倍と
高くなり、静電容量温度特性(TC値)が±2%〜±5
%に抑えられる等電気的特性が著しく向上している。
高くなり、静電容量温度特性(TC値)が±2%〜±5
%に抑えられる等電気的特性が著しく向上している。
第1図は温度と静電容量変化率(%)との関係を示す図
であり、第1表中※印で示された本発明の条件を満足す
る組成比を有する混合物のうち静電容量温度特性(TC
値)が+85℃で0%を示した混合物、部ち酸化ニオブ
(NbzOs)が0.4モル%、シリカ(Si20)が
0.4モル%、酸化マンガン(MnO2)が0.1モル
%、酸化m(cuo)が0.1モル%の構成をなすもの
について一25℃〜+85℃の温度範囲で測定した静電
容量温度特性(TC値)を測定した結果を図中Aにて示
し、また第1表中*印で示された従来の組成比を有する
混合物、即ち酸化ニオブ(NbzOs)が0.4モル%
、酸化マンガン(MnO2)が0.2モル%の構成をな
すものについて同様に一25℃〜+85℃の温度範囲で
測定した静電容量温度特性(TC値)を測定した結果を
図中Bにて示している。
であり、第1表中※印で示された本発明の条件を満足す
る組成比を有する混合物のうち静電容量温度特性(TC
値)が+85℃で0%を示した混合物、部ち酸化ニオブ
(NbzOs)が0.4モル%、シリカ(Si20)が
0.4モル%、酸化マンガン(MnO2)が0.1モル
%、酸化m(cuo)が0.1モル%の構成をなすもの
について一25℃〜+85℃の温度範囲で測定した静電
容量温度特性(TC値)を測定した結果を図中Aにて示
し、また第1表中*印で示された従来の組成比を有する
混合物、即ち酸化ニオブ(NbzOs)が0.4モル%
、酸化マンガン(MnO2)が0.2モル%の構成をな
すものについて同様に一25℃〜+85℃の温度範囲で
測定した静電容量温度特性(TC値)を測定した結果を
図中Bにて示している。
図に示す如く、本発明品は従来品に比して温度変化に対
する静電容量の変化が殆どなく、著しく優れていると言
える。
する静電容量の変化が殆どなく、著しく優れていると言
える。
また上述した如き本発明の半導体磁器物質は、拡散物質
の塗布及び大気中焼成という簡単な製造プロセスで得る
ことができるという利点もある。
の塗布及び大気中焼成という簡単な製造プロセスで得る
ことができるという利点もある。
なお、上述の実施例においては、半導体磁器の片面に拡
散物質として酸化ビスマス(Biz(h)と酸化銅(C
ub)との混合物を塗布することとしたが、該混合物に
替えて下記第2表に示す如き単体又は混合物を塗布して
も上述の実施例と同様、電気的特性が従来例に比して向
上する。
散物質として酸化ビスマス(Biz(h)と酸化銅(C
ub)との混合物を塗布することとしたが、該混合物に
替えて下記第2表に示す如き単体又は混合物を塗布して
も上述の実施例と同様、電気的特性が従来例に比して向
上する。
(以下余白)
第2表
また上述の実施例では、前記半導体磁器物質の両面に銀
ペーストを印刷してこれを焼付け、銀電極としたが、そ
の他の公知の電極材料を用いてもよいことはいうまでも
ない。また半導体磁器製造時の焼成雰囲気は、上述の実
施例の如く水素1〜15%、窒素99〜85%からなる
雰囲気に限定されるものではなく、試料が十分に半導体
化され得る雰囲気であれば他の雰囲気であっても差し支
えないのはいうまでもない。
ペーストを印刷してこれを焼付け、銀電極としたが、そ
の他の公知の電極材料を用いてもよいことはいうまでも
ない。また半導体磁器製造時の焼成雰囲気は、上述の実
施例の如く水素1〜15%、窒素99〜85%からなる
雰囲気に限定されるものではなく、試料が十分に半導体
化され得る雰囲気であれば他の雰囲気であっても差し支
えないのはいうまでもない。
以上詳述した如く、本発明の半導体磁器物質では、酸化
ニオブ(Nb、OS又は、酸化イツトリウム(Y2O2
)のうち、1種又は2種を0.1〜0.4モル%原子価
制御用助剤として添加し、更に、シリカ(SiO2)を
0.1〜0.4モル%、酸化マンガン(MnO2)を0
.05〜0.2モル%、酸化銅(Cub)を0.05〜
0.2モル%、夫々焼結用助剤として添加するので、そ
の半導体磁器物質は、誘電率、誘電正接1体積抵抗率、
静電容量温度特性(TC値)等の電気的特性において良
好な結果を有することができ、コンデンサ、バリスター
、サーミスタ等への応用範囲は広い。
ニオブ(Nb、OS又は、酸化イツトリウム(Y2O2
)のうち、1種又は2種を0.1〜0.4モル%原子価
制御用助剤として添加し、更に、シリカ(SiO2)を
0.1〜0.4モル%、酸化マンガン(MnO2)を0
.05〜0.2モル%、酸化銅(Cub)を0.05〜
0.2モル%、夫々焼結用助剤として添加するので、そ
の半導体磁器物質は、誘電率、誘電正接1体積抵抗率、
静電容量温度特性(TC値)等の電気的特性において良
好な結果を有することができ、コンデンサ、バリスター
、サーミスタ等への応用範囲は広い。
第1図は20℃での静電容量を基準とした各温度での静
電容量変化率と温度との関係を示す図である。
電容量変化率と温度との関係を示す図である。
Claims (2)
- 1.主成分がチタン酸ストロンチウム(SrTiO_3
)であり、残部が該チタン酸ストロンチウム (SrTiO_3)100モルに対し、酸化ニオブ(N
b_2O_5)、酸化イットリウム(Y_2O_3)の
うち1種又は2種が0.1〜0.4モル、シリカ(Si
O_2)が0.1〜0.4モル、酸化マンガン(MnO
_2)が0.05〜0.2モル、酸化銅(CuO)が0
.05〜0.2モルおよび不可避の不純物からなること
を特徴とする半導体磁器物質。 - 2.主成分がチタン酸ストロンチウム(SrHO_3)
であり、残部が該チタン酸ストロンチウム (SrTiO_3)100モルに対し、酸化ニオブ(N
b_2O_5)、酸化イットリウム(Y_2O_3)の
うち1種又は2種が0.1〜0.4モル、シリカ(Si
O_2)が0.1〜0.4モル、酸化マンガン(MnO
_2)が0.05〜0.2モル、酸化銅(CuO)が0
.05〜0.2モルおよび不可避の不純物からなる磁器
の結晶粒界に、絶縁化のための組成物が拡散してなるこ
とを特徴とする半導体磁器物質。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1283488A JPH01187914A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 半導体磁器物質 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1283488A JPH01187914A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 半導体磁器物質 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01187914A true JPH01187914A (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=11816406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1283488A Pending JPH01187914A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 半導体磁器物質 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01187914A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7990678B2 (en) | 2005-12-28 | 2011-08-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor ceramic and multilayered-type semiconductor ceramic capacitor |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP1283488A patent/JPH01187914A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7990678B2 (en) | 2005-12-28 | 2011-08-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor ceramic and multilayered-type semiconductor ceramic capacitor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6257245B2 (ja) | ||
| JPH0524646B2 (ja) | ||
| SE432097B (sv) | Sintrad kropp av halvledande keramikmaterial, forfarande for tillverkning av kroppen samt en anvendning av kroppen | |
| JPS623569B2 (ja) | ||
| JP2614228B2 (ja) | セラミック形成組成物及びこれを用いた半導体磁器基体と誘電体磁器基体並びにコンデンサー | |
| JP2934387B2 (ja) | 半導体磁器の製造方法 | |
| JPH01274411A (ja) | 半導体磁器物質 | |
| JPH038759A (ja) | 半導体磁器物質 | |
| JP3124896B2 (ja) | 半導体磁器の製造方法 | |
| JPH02107561A (ja) | 半導体磁器物質 | |
| JP2605314B2 (ja) | 半導体磁器物質 | |
| JP3189341B2 (ja) | 複合バリスタ | |
| JP2679065B2 (ja) | 半導体磁器物質 | |
| JP2934388B2 (ja) | 半導体磁器の製造方法 | |
| JPH02253607A (ja) | 半導体磁器物質の製造方法 | |
| JPS6053451B2 (ja) | 誘電体磁器の製造方法 | |
| JPH0426545A (ja) | 半導体磁器及びその製造方法 | |
| JP2900687B2 (ja) | 半導体磁器組成物及びその製造方法 | |
| JPH01149412A (ja) | 半導体磁器物質 | |
| JPS6316504A (ja) | セラミツク形成組成物及びこれを用いた半導体磁器基体と誘電体磁器基体並びにコンデンサ− | |
| JP2984115B2 (ja) | 粒界絶縁型半導体磁器コンデンサの製造方法 | |
| JP2903991B2 (ja) | 半導体磁器組成物及びその製造方法 | |
| JPH0752695B2 (ja) | 半導体磁器物質 | |
| JPH03218964A (ja) | 半導体磁器及びその製造方法 | |
| JPH01149411A (ja) | 半導体磁器物質 |