JPH01188352A - 圧電素子を用いた運動変換機構の製造方法 - Google Patents
圧電素子を用いた運動変換機構の製造方法Info
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- JPH01188352A JPH01188352A JP63013229A JP1322988A JPH01188352A JP H01188352 A JPH01188352 A JP H01188352A JP 63013229 A JP63013229 A JP 63013229A JP 1322988 A JP1322988 A JP 1322988A JP H01188352 A JPH01188352 A JP H01188352A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/22—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of impact or pressure on a printing material or impression-transfer material
- B41J2/23—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of impact or pressure on a printing material or impression-transfer material using print wires
- B41J2/27—Actuators for print wires
- B41J2/295—Actuators for print wires using piezoelectric elements
Landscapes
- Impact Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、主として印字ヘッドに採用される圧電素子
を用いた運動変換機構、特に、圧電素子の伸縮り向一端
を支持する基部を備え、かつ圧電素子に沿って延在する
フレームと、前記圧電素子の伸縮方向他端に前記フレー
ムと対向して配設された可動子との対向面に、一対の板
ばねの一端部をそれぞれ固着し、前記圧電素子の伸縮に
嶋づく前記両板ばねのたわみによってこれら両板ばねの
他端に跨って結合された傾動体を傾動させるようになし
た運動変換機構の製造方法に関するものである。
を用いた運動変換機構、特に、圧電素子の伸縮り向一端
を支持する基部を備え、かつ圧電素子に沿って延在する
フレームと、前記圧電素子の伸縮方向他端に前記フレー
ムと対向して配設された可動子との対向面に、一対の板
ばねの一端部をそれぞれ固着し、前記圧電素子の伸縮に
嶋づく前記両板ばねのたわみによってこれら両板ばねの
他端に跨って結合された傾動体を傾動させるようになし
た運動変換機構の製造方法に関するものである。
(従来の技術)
圧電素子を用いた運動変換機構には、例えば、すでに同
一出願人によって開発がなされた特M昭62−1443
68号のものがある。
一出願人によって開発がなされた特M昭62−1443
68号のものがある。
これにおいては、第8図に示すように、フレーム1と可
動子5とはそれぞれ個別に形成される。
動子5とはそれぞれ個別に形成される。
工して、フレーム1と可動子5とに一対の板ばね8.9
が固着された後、フレーム1の基部4と可動子5との間
に圧電素子2が組付けられるようになっている。
が固着された後、フレーム1の基部4と可動子5との間
に圧電素子2が組付けられるようになっている。
(発明が解決しようとする課題)
このような形式の運動変換機構においては、圧電素子2
の伸縮方向の両端を支持するためのフレーム1の13部
3と可動子4との平行度や間隔を高粘度に1!lる必要
性がある。
の伸縮方向の両端を支持するためのフレーム1の13部
3と可動子4との平行度や間隔を高粘度に1!lる必要
性がある。
すなわち、前記23部3と可動子5との平行度や間隔が
高精度に4’?られない場合、前記基81S3並びに可
動子5と圧゛電素子2の伸縮方向両端面との間に隙間が
生じる。そして、前記隙間が原因となって、圧電素子5
の変位量を可動体5に不足なく伝達することができなく
なる。
高精度に4’?られない場合、前記基81S3並びに可
動子5と圧゛電素子2の伸縮方向両端面との間に隙間が
生じる。そして、前記隙間が原因となって、圧電素子5
の変位量を可動体5に不足なく伝達することができなく
なる。
ところで、フレーム1と可動子5とをそれぞれ個別に形
成した後、これらフレーム1と可動子5とに一対の板ば
ね8.9を固着するものにおいては、フレーム1の基部
3と、可動子5との平行度や間隔を高精度に保って、フ
レーム1と可動子5とに一対の板ばね8.9を組付ける
ことが困難となるとともに、バラ付きも生じやすいとい
う問題点があった。
成した後、これらフレーム1と可動子5とに一対の板ば
ね8.9を固着するものにおいては、フレーム1の基部
3と、可動子5との平行度や間隔を高精度に保って、フ
レーム1と可動子5とに一対の板ばね8.9を組付ける
ことが困難となるとともに、バラ付きも生じやすいとい
う問題点があった。
この発明の目的は、前記問題点に鑑み、フレームの基部
と、可動子との平行度や間隔を高精度に保って容易に加
工することができ、各製品間にバラツキが少ない高精度
の運動変換機構を容易に装造することができる製造方法
を提供覆ることである。
と、可動子との平行度や間隔を高精度に保って容易に加
工することができ、各製品間にバラツキが少ない高精度
の運動変換機構を容易に装造することができる製造方法
を提供覆ることである。
(課題を解決するための手段)
Gt記目的を達成するために、この発明4.i 、 1
1−電素子の伸縮方向一端を支持する基部を備え、かつ
圧電素子に沿って延在するフレームと、前記圧電素子の
伸縮方向他端に配設された可動子とに、−対の板ばねの
一端部をそれぞれ固着し、11a記ff、を素子の伸縮
に基づく前記両板ばねのたわみによってこれら両板ばね
の他端に跨って固着された傾動体を傾動させるようにな
した運動変換機構の製造方法であって、前記圧電素子が
挿入可能な間隔を隔tで前記フレームの基部と対向する
可動子を連結部をしって前記フレームと一体に形成する
工程と、前記フレームと可動子とに前記仮ばねを固着す
る工程と、前記連結部に分離溝を形成してフレームと可
動子とを分離する工程とを備えたものである。
1−電素子の伸縮方向一端を支持する基部を備え、かつ
圧電素子に沿って延在するフレームと、前記圧電素子の
伸縮方向他端に配設された可動子とに、−対の板ばねの
一端部をそれぞれ固着し、11a記ff、を素子の伸縮
に基づく前記両板ばねのたわみによってこれら両板ばね
の他端に跨って固着された傾動体を傾動させるようにな
した運動変換機構の製造方法であって、前記圧電素子が
挿入可能な間隔を隔tで前記フレームの基部と対向する
可動子を連結部をしって前記フレームと一体に形成する
工程と、前記フレームと可動子とに前記仮ばねを固着す
る工程と、前記連結部に分離溝を形成してフレームと可
動子とを分離する工程とを備えたものである。
(作 用)
上記構成によれば、例えばプレス加工や切削加工等によ
って、フレームと可動子とが連結部をもって一体に形成
され、その後、フレームと可動子との間に板ばねが固着
された後、首記連結部に分l111 FF+を形成して
フレームと可動子とを分離することで、フレームの基部
と可動子との間に圧電素子が間隔なく組付けられる。
って、フレームと可動子とが連結部をもって一体に形成
され、その後、フレームと可動子との間に板ばねが固着
された後、首記連結部に分l111 FF+を形成して
フレームと可動子とを分離することで、フレームの基部
と可動子との間に圧電素子が間隔なく組付けられる。
(実I11!例1)
この発明の実施例1を第1図と第5図にしたがって説明
する。
する。
この実施例では印字ヘッドに採用したものを例示するも
のであって、第1図において、電圧の印加によって伸縮
する圧電素子1は、W4層状をなす圧電セラミックより
構成されている。
のであって、第1図において、電圧の印加によって伸縮
する圧電素子1は、W4層状をなす圧電セラミックより
構成されている。
前記圧電素子1を支持するだめのフレーム2は、その圧
電素子1の伸縮方向とほぼ平行して延在する縦長四角形
で所定板厚の金属板より構成されている。このフレーム
2の一端にはIII素子1の一端(下端)を後述する一
対のくさび部材13,14を介して支持するための基部
3が横方向に突設されている。
電素子1の伸縮方向とほぼ平行して延在する縦長四角形
で所定板厚の金属板より構成されている。このフレーム
2の一端にはIII素子1の一端(下端)を後述する一
対のくさび部材13,14を介して支持するための基部
3が横方向に突設されている。
前記フレーム2の他端には、前記圧電素子1並びに一対
のくさび部材13.14が挿入可能な間隔りを隔てて前
記基部3と対向する可動子5が連結部20をもってフレ
ーム2と一体に形成されている。すなわち、第2図に示
すように、所定板厚の金属板よりフレーム2をプレス加
工や切削加工によって形成するときに、このフレーム2
と一体に可f)J子5が形成される。そして、フレーム
2と可動子5との間には一対の板ばね6,7の基端部が
挿入される取付溝21が形成されるとともに、この取付
溝21の溝底部をなす連結部20をもっでフレーム2と
可動子5とが一体状をなす。
のくさび部材13.14が挿入可能な間隔りを隔てて前
記基部3と対向する可動子5が連結部20をもってフレ
ーム2と一体に形成されている。すなわち、第2図に示
すように、所定板厚の金属板よりフレーム2をプレス加
工や切削加工によって形成するときに、このフレーム2
と一体に可f)J子5が形成される。そして、フレーム
2と可動子5との間には一対の板ばね6,7の基端部が
挿入される取付溝21が形成されるとともに、この取付
溝21の溝底部をなす連結部20をもっでフレーム2と
可動子5とが一体状をなす。
また、必要に応じて、フレーム2の導:を部3の支持面
3aとこれに対向する可すJ子5の支持面5aとが仕上
げ加工されることで、前記基部3と可動子5との間隔り
や平行度が一層高精度となる。
3aとこれに対向する可すJ子5の支持面5aとが仕上
げ加工されることで、前記基部3と可動子5との間隔り
や平行度が一層高精度となる。
前述したようにフレーム2と可動子5とが形成された後
、第3図に示すように、傾動体8が固着された一対の板
ばね6,7の基部は、前記取付溝21内に挿入された後
、その溝側面とそれに対面する一対の板ばね6.7の各
側面とがろう付けなどによって固着される。なお、一対
の板ばね6゜7はその対向面を互いに接触した状態にお
いて相方に弾性変形可能に重合されている。また、両板
ばね6.7の先端部に固着された傾動体8は、その基部
の剛性の高いホルダつと、先端側の軽量なアーム10と
を主体として構成されている。
、第3図に示すように、傾動体8が固着された一対の板
ばね6,7の基部は、前記取付溝21内に挿入された後
、その溝側面とそれに対面する一対の板ばね6.7の各
側面とがろう付けなどによって固着される。なお、一対
の板ばね6゜7はその対向面を互いに接触した状態にお
いて相方に弾性変形可能に重合されている。また、両板
ばね6.7の先端部に固着された傾動体8は、その基部
の剛性の高いホルダつと、先端側の軽量なアーム10と
を主体として構成されている。
前記ホルダ9は、その下面に凹設された溝に両板ばね6
,7の先端部がそれぞれ挿入された状態において、両板
ばね6.7の対向面反対側とろう付けによって固着され
ている。ホルダ9の前側面に凹設された溝にはアーム1
0の基部が挿入されてろう付けによって固着されている
。アーム10の先端には、第1図に示すように、印字ワ
イヤ11の基端がろう付けによって固着されている。
,7の先端部がそれぞれ挿入された状態において、両板
ばね6.7の対向面反対側とろう付けによって固着され
ている。ホルダ9の前側面に凹設された溝にはアーム1
0の基部が挿入されてろう付けによって固着されている
。アーム10の先端には、第1図に示すように、印字ワ
イヤ11の基端がろう付けによって固着されている。
また、この実施例に43いて、前記圧電素子1の伸縮方
向に可動子5を平行変位さけるために、フレーム2と可
動子5との間には、圧電素子1の伸111方向に弾性伸
縮可能な支持部材12が配設されている。この支持部材
12は、前記フレーム2と反対側において、圧電素子1
の積層方向に沿って縦長で、その下端がフレーム2の球
部3端面に固着され、上端部が可動子5の端面に固着さ
れている。
向に可動子5を平行変位さけるために、フレーム2と可
動子5との間には、圧電素子1の伸111方向に弾性伸
縮可能な支持部材12が配設されている。この支持部材
12は、前記フレーム2と反対側において、圧電素子1
の積層方向に沿って縦長で、その下端がフレーム2の球
部3端面に固着され、上端部が可動子5の端面に固着さ
れている。
前述したように、フレーム2と可動子5との間に、一対
の板ばね6.7と支持部材12とが組付けられた後、第
4図に示すように、前記連結部20に対し、その下面側
から取付溝21の満底面に向けて分離溝22を溝加工し
てフレーム2と可動子5とを分離させる。このようにし
て、フレーム2と可動子5とを形成することで、フレー
ム2の基部3と可動子5との間隔りや平行度が高粘度に
得られる。
の板ばね6.7と支持部材12とが組付けられた後、第
4図に示すように、前記連結部20に対し、その下面側
から取付溝21の満底面に向けて分離溝22を溝加工し
てフレーム2と可動子5とを分離させる。このようにし
て、フレーム2と可動子5とを形成することで、フレー
ム2の基部3と可動子5との間隔りや平行度が高粘度に
得られる。
その後、フレーム2の基部3と可動子5との間に、第1
図と第5図に示すように、圧電素子1が一対のくさび部
材13.14を介して組付けられる。
図と第5図に示すように、圧電素子1が一対のくさび部
材13.14を介して組付けられる。
フレーム2の基部3上面と、可動子5の下面との間に圧
電素子1を組付ける場合、圧電素子1の一端面と、上の
くさび部材13上面の支持面13bとを接着剤によって
固着する。前記圧電素子1及び上のくさび部材13を、
フレーム2の支持部3と可動子5との間に挿入する。そ
して、上のくさび部材13の一側面に形成されたストッ
パ面13aをフレーム2の一側面に当接させ、圧電素子
1の他端面を可動子5の下面に当接する位置まで持上げ
る。また、このとき、圧電素子1の他端面と可動子5の
下面とを必要に応じて接着剤によって接着する。
電素子1を組付ける場合、圧電素子1の一端面と、上の
くさび部材13上面の支持面13bとを接着剤によって
固着する。前記圧電素子1及び上のくさび部材13を、
フレーム2の支持部3と可動子5との間に挿入する。そ
して、上のくさび部材13の一側面に形成されたストッ
パ面13aをフレーム2の一側面に当接させ、圧電素子
1の他端面を可動子5の下面に当接する位置まで持上げ
る。また、このとき、圧電素子1の他端面と可動子5の
下面とを必要に応じて接着剤によって接着する。
その後、上のくさび部材13とフレーム2の支持部3と
の間に下のくさび部材14を挿入する。
の間に下のくさび部材14を挿入する。
そして、この下のくさび部材14を、フレーム2の一側
面に対し直交する方向から所定の押圧力において打込む
ことで、圧電素子1の組付けが完了する。なお、上のく
さび部材13とフレーム2の基部3との間に下のくさび
部材14を11fi人する際、予め、各部材相nの当接
面には、必要に応じて接着剤が塗布される。また、1下
の画くさび部材13.14は、II電県子1の負の温度
rA膨lし率特竹どは逆の正の1度線膨張率特性を右り
る材料、例えば亜鉛材によって構成、されている。そし
て、周囲の温度変化による圧゛市索子1の収縮を、上下
の両くさび部4413.14の上下方向の伸びによって
晦正し、圧電素子1のJ:、面高さを常に一定に保つよ
うになっている。
面に対し直交する方向から所定の押圧力において打込む
ことで、圧電素子1の組付けが完了する。なお、上のく
さび部材13とフレーム2の基部3との間に下のくさび
部材14を11fi人する際、予め、各部材相nの当接
面には、必要に応じて接着剤が塗布される。また、1下
の画くさび部材13.14は、II電県子1の負の温度
rA膨lし率特竹どは逆の正の1度線膨張率特性を右り
る材料、例えば亜鉛材によって構成、されている。そし
て、周囲の温度変化による圧゛市索子1の収縮を、上下
の両くさび部4413.14の上下方向の伸びによって
晦正し、圧電素子1のJ:、面高さを常に一定に保つよ
うになっている。
この実施例1においては上述したような工程を経て運動
変換m横がWA造される。したがって、プレス加工や切
削加工等にj;っで、フレーム2の基fls 3と可動
子5との間隔りや平行度が高粘度にかつ容易に得られる
。そして、フレーム2の基部3と可動子5との間に組付
けられる圧電糸子1並びに一対のくさび部材13.14
の相りの接触面を隙間なく密接させることができる。
変換m横がWA造される。したがって、プレス加工や切
削加工等にj;っで、フレーム2の基fls 3と可動
子5との間隔りや平行度が高粘度にかつ容易に得られる
。そして、フレーム2の基部3と可動子5との間に組付
けられる圧電糸子1並びに一対のくさび部材13.14
の相りの接触面を隙間なく密接させることができる。
このため、前記圧電素子1の伸縮に基づいて可動子5が
不足なく変位される。そして、この可動子5の不足のな
い変位値に基づいて、両板ばね6゜7をそれぞれたわま
せ、傾動体8を所定角度、正確に傾動させることができ
、印字不良を防止することができる。
不足なく変位される。そして、この可動子5の不足のな
い変位値に基づいて、両板ばね6゜7をそれぞれたわま
せ、傾動体8を所定角度、正確に傾動させることができ
、印字不良を防止することができる。
(実施例2)
次に、この発明の実施例2を第6図と第7図にしたがっ
て説明する。
て説明する。
この実施例2では、フレーム2と可動子5との連結部2
0に分離溝22を形成してフレーム2と可動子5とを分
111するときに、前記分11ti22を延長して厚肉
のばね体23の板厚中央部に割溝24を形成したもので
ある。
0に分離溝22を形成してフレーム2と可動子5とを分
111するときに、前記分11ti22を延長して厚肉
のばね体23の板厚中央部に割溝24を形成したもので
ある。
すなわら、まず、第6図に示すように、一端に基部3を
備えたフレーム2の他端に、前記基部3と対向して可動
子5を連結部20をちって一体に形成する。
備えたフレーム2の他端に、前記基部3と対向して可動
子5を連結部20をちって一体に形成する。
次に、一対の板ばねを構成するための一枚の厚肉のばね
体23の基部をフレーム2上端面と可動子5の上端面と
にわたって凹設された取付溝21内に挿入してろう付け
によって固着する。なお、ばね体23の先端には、予め
傾動体8がその基部のホルダ9において固着される。
体23の基部をフレーム2上端面と可動子5の上端面と
にわたって凹設された取付溝21内に挿入してろう付け
によって固着する。なお、ばね体23の先端には、予め
傾動体8がその基部のホルダ9において固着される。
その後、第7図に示すように、ル−ム2と可動子5との
連結部20に分111溝22を形成してフレーム2と可
動子5とを分離するととbに、前記分911 i142
2を延長して厚肉のばね体23の板厚中央部に割溝24
を形成する。そして、前記ばね休23の割Fi/+ 2
4によって一対をなす板ばね6.7を形成する。
連結部20に分111溝22を形成してフレーム2と可
動子5とを分離するととbに、前記分911 i142
2を延長して厚肉のばね体23の板厚中央部に割溝24
を形成する。そして、前記ばね休23の割Fi/+ 2
4によって一対をなす板ばね6.7を形成する。
このようにして、−枚の厚肉のばね体23に割1な24
を形成して一対の板ばね6,7を形成することで、部品
点数を軽減することができる。
を形成して一対の板ばね6,7を形成することで、部品
点数を軽減することができる。
なお、その他の部分は実施例1とほぼ同様であるための
その説明は省略する。
その説明は省略する。
(発明の効果)
以上述べたように、この発明の圧電素子を用いた運動変
換機構の製造方法によれば、圧電素子が挿入可能な間隔
を隔ててフレームの基部と対向する可動子を連結部をも
ってフレームと一体に形成する■稈において、例えば、
プレス加工や切削加工等によって、フレームの基部と可
動子との間隔や平行度を高精度に保って容易に加工する
ことができる。
換機構の製造方法によれば、圧電素子が挿入可能な間隔
を隔ててフレームの基部と対向する可動子を連結部をも
ってフレームと一体に形成する■稈において、例えば、
プレス加工や切削加工等によって、フレームの基部と可
動子との間隔や平行度を高精度に保って容易に加工する
ことができる。
そして、フレームと可動子とに板ばねを固着した後、前
記連結部に分離溝を形成してフレームとn1仙子とを分
離することで、フレームの基部と可Φlj子との間に圧
電素子を隙間なく粗付けることができる。この結果、運
動変換機構を、その各製品間にパラ付きが生じることを
防止して容易に製造することができる。
記連結部に分離溝を形成してフレームとn1仙子とを分
離することで、フレームの基部と可Φlj子との間に圧
電素子を隙間なく粗付けることができる。この結果、運
動変換機構を、その各製品間にパラ付きが生じることを
防止して容易に製造することができる。
また、このようにして製造された運動変換機構において
、フレームの基部と可動子との1毘にff:電素子が隙
間なく組イ・1けられるため、圧電素子の伸縮に積づい
て可動子を不足なく変位させ、これによって、一対の根
ばねをたわませながら傾動体を所定角度に正確に傾動さ
せることができる。
、フレームの基部と可動子との1毘にff:電素子が隙
間なく組イ・1けられるため、圧電素子の伸縮に積づい
て可動子を不足なく変位させ、これによって、一対の根
ばねをたわませながら傾動体を所定角度に正確に傾動さ
せることができる。
図面の第1図と第5図はこの発明の実施例1を丞1もの
で、第1図は圧電素子を用いた運動変換機構を示す斜l
A図、第2図はフレームと可動子とを一体に形成したも
のを示ず側面図、第3図はフレームと可動子との間に一
対の板ばねを紺(=J IJたちのを示す側面図、第4
図はフレームと可動子との連結部に分111tf6を形
成したものを承り側面図、゛第5図tよフレームの基部
と可動ギとの間に圧電素子を紺イ・1けたものを示J゛
側面図、第6図と第7図はこの発明の実施例2を示すも
ので、第6図はフレームと可動子とを一体に形成したも
のを示す側面図、第7図はフレームと可動子との連結部
に分i11溝を形成するときにばね体にも割溝を形成し
て一対の板ばねを構成したものを示す側面図である。 第8図は先行技術のものを示す側面図である。 1・・・圧電素子 2・・・フレーム 3・・・基部 5・・・可動子 6.7・・・板はね 8・・・傾動部材 20・・・連結部 22・・・分離溝 し・・・間隔 出願人 ブラザー工業株式会社
で、第1図は圧電素子を用いた運動変換機構を示す斜l
A図、第2図はフレームと可動子とを一体に形成したも
のを示ず側面図、第3図はフレームと可動子との間に一
対の板ばねを紺(=J IJたちのを示す側面図、第4
図はフレームと可動子との連結部に分111tf6を形
成したものを承り側面図、゛第5図tよフレームの基部
と可動ギとの間に圧電素子を紺イ・1けたものを示J゛
側面図、第6図と第7図はこの発明の実施例2を示すも
ので、第6図はフレームと可動子とを一体に形成したも
のを示す側面図、第7図はフレームと可動子との連結部
に分i11溝を形成するときにばね体にも割溝を形成し
て一対の板ばねを構成したものを示す側面図である。 第8図は先行技術のものを示す側面図である。 1・・・圧電素子 2・・・フレーム 3・・・基部 5・・・可動子 6.7・・・板はね 8・・・傾動部材 20・・・連結部 22・・・分離溝 し・・・間隔 出願人 ブラザー工業株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 圧電素子の伸縮方向一端を支持する基部を備え、かつ圧
電素子に沿って延在するフレームと、前記圧電素子の伸
縮方向他端に配設された可動子とに、一対の板ばねの一
端部をそれぞれ固着し、前記圧電素子の伸縮に基づく前
記両板ばねのたわみによつてこれら両板ばねの他端に跨
つて結合された傾動体を傾動させるようになした運動変
換機構の製造方法であって、 前記圧電素子が挿入可能な間隔を隔てて前記フレームの
基部と対向する可動子を連結部をもつて前記フレームと
一体に形成する工程と、 前記フレームと可動子とに前記板ばねを固着する工程と
、 前記連結部に分離溝を形成してフレームと可動子とを分
離する工程と、 を備えた圧電素子を用いた運動変換機構の製造方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013229A JP2555666B2 (ja) | 1988-01-23 | 1988-01-23 | 圧電素子を用いた運動変換機構の製造方法 |
| US07/202,035 US4874978A (en) | 1987-06-09 | 1988-06-03 | Device for magnifying displacement of piezoelectric element or the like and method of producing same |
| EP88305280A EP0295102B1 (en) | 1987-06-09 | 1988-06-09 | Device for magnifying displacement of piezoelectric element or the like |
| DE88305280T DE3884281T2 (de) | 1987-06-09 | 1988-06-09 | Vorrichtung zur Vergrösserung der Lageverschiebung eines piezoelektrischen Elementes oder eines ähnlichen Elementes. |
| US07/397,751 US4979275A (en) | 1987-06-09 | 1989-08-23 | Device for magnifying displacement of piezoelectric element or the like and method for producing same |
| US07/780,099 USRE34823E (en) | 1987-06-09 | 1991-10-17 | Device for magnifying displacement of piezoelectric element or the like and method of producing same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013229A JP2555666B2 (ja) | 1988-01-23 | 1988-01-23 | 圧電素子を用いた運動変換機構の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01188352A true JPH01188352A (ja) | 1989-07-27 |
| JP2555666B2 JP2555666B2 (ja) | 1996-11-20 |
Family
ID=11827353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63013229A Expired - Lifetime JP2555666B2 (ja) | 1987-06-09 | 1988-01-23 | 圧電素子を用いた運動変換機構の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2555666B2 (ja) |
-
1988
- 1988-01-23 JP JP63013229A patent/JP2555666B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2555666B2 (ja) | 1996-11-20 |
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Legal Events
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