JPH0119080B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0119080B2 JPH0119080B2 JP57199599A JP19959982A JPH0119080B2 JP H0119080 B2 JPH0119080 B2 JP H0119080B2 JP 57199599 A JP57199599 A JP 57199599A JP 19959982 A JP19959982 A JP 19959982A JP H0119080 B2 JPH0119080 B2 JP H0119080B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- pump
- blades
- large number
- circumferential direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/08—Sealings
- F04D29/083—Sealings especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
- F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/542—Bladed diffusers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2230/00—Manufacture
- F05D2230/50—Building or constructing in particular ways
- F05D2230/54—Building or constructing in particular ways by sheet metal manufacturing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はターボ分子ポンプの改良に関し、特に
静翼を有する固定子の構造に関する。
静翼を有する固定子の構造に関する。
徒来、ターボ分子ポンプの静翼は、アルミニウ
ム製薄板円環の内周から半径方向外方へ切断スリ
ツトの多数を等間隔に設け、２つのスリツト間に
残された部分を捩り曲げて製作されていた。その
ため、加工応力により固定子全体がよじれて変形
する許りでなく、加工が難かしい。スリツト巾を
広くすると気体が要易に逆流し、そのため、ポン
プ自体の到達しうる真空圧力が悪くなり圧縮性能
が低下し、品質の安定性を欠く原因となつてい
た。しかも、この欠点は特に小型ポンプにおいて
顕著であつた。
ム製薄板円環の内周から半径方向外方へ切断スリ
ツトの多数を等間隔に設け、２つのスリツト間に
残された部分を捩り曲げて製作されていた。その
ため、加工応力により固定子全体がよじれて変形
する許りでなく、加工が難かしい。スリツト巾を
広くすると気体が要易に逆流し、そのため、ポン
プ自体の到達しうる真空圧力が悪くなり圧縮性能
が低下し、品質の安定性を欠く原因となつてい
た。しかも、この欠点は特に小型ポンプにおいて
顕著であつた。
本発明は上記欠点を除き、製作が容易で、変形
の少ない固定子を用いることにより気体分子の逆
流を防ぎもつて安定性と圧縮性能の高いターボ分
子ポンプを提供することを目的とする。
の少ない固定子を用いることにより気体分子の逆
流を防ぎもつて安定性と圧縮性能の高いターボ分
子ポンプを提供することを目的とする。
この目的を達成するため、本発明の構成は次の
とおりとする。即ち、円周方向に多数の動翼を持
つ回転子の複数段が同心に配列され、各段の中間
に円周方向へ多数の静翼を持つ固定子がスペーサ
を介して配置されてなるターボ分子ポンプにおい
て、前記固定子は薄板円環の同一円周上の等間隔
位置にＩ字状スリツトが設けられ、該スリツトに
挟まれた部分が捩曲されて静翼が形成され、前記
スリツトの固定子半径方向外側の部分を覆うよう
にスペーサに挾持されて円環邪魔板が配置された
ことである。
とおりとする。即ち、円周方向に多数の動翼を持
つ回転子の複数段が同心に配列され、各段の中間
に円周方向へ多数の静翼を持つ固定子がスペーサ
を介して配置されてなるターボ分子ポンプにおい
て、前記固定子は薄板円環の同一円周上の等間隔
位置にＩ字状スリツトが設けられ、該スリツトに
挟まれた部分が捩曲されて静翼が形成され、前記
スリツトの固定子半径方向外側の部分を覆うよう
にスペーサに挾持されて円環邪魔板が配置された
ことである。
以下本発明を図面に示す一実施例にもとづき説
明する。
明する。
第１図および第２図において、ターボ分子ポン
プは円周方向に多数の動翼１１をもつ回転子１の
複数段が同心に配列され、各段の中間に円周方向
へ多数の静翼２２をもつ固定子２がスペーサ４を
介して配置されている。前記固定子２は、SUS
（不銹鋼）の薄板円環２０の同一円周上の等間隔
位置にＩ字状のスリツト２１が設けられる。そし
て、隣接スリツト２１間に位置する各部分が前記
回転子１の動翼１１の傾斜角度に沿う一定傾斜角
度を形成する如く捩られ、静翼２２とされる。従
つて、静翼２２は隣接するＩ字状スリツト２１の
頂辺２１ａ、下辺２１ｂに挾まれる部分がくびれ
部２３となる。また、前記頂辺２１ａのスリツト
幅ｔによつて生ずるギヤツプを覆うため、スペー
サ４に挾持された円環邪魔板５が設けられる。こ
れにより、前記スリツト幅ｔにもとづくギヤツプ
を通して逆流する気体分子の量が大幅に減少し
た。実験によると本発明ポンプの水素圧縮性能は
約４倍に増強できた。
プは円周方向に多数の動翼１１をもつ回転子１の
複数段が同心に配列され、各段の中間に円周方向
へ多数の静翼２２をもつ固定子２がスペーサ４を
介して配置されている。前記固定子２は、SUS
（不銹鋼）の薄板円環２０の同一円周上の等間隔
位置にＩ字状のスリツト２１が設けられる。そし
て、隣接スリツト２１間に位置する各部分が前記
回転子１の動翼１１の傾斜角度に沿う一定傾斜角
度を形成する如く捩られ、静翼２２とされる。従
つて、静翼２２は隣接するＩ字状スリツト２１の
頂辺２１ａ、下辺２１ｂに挾まれる部分がくびれ
部２３となる。また、前記頂辺２１ａのスリツト
幅ｔによつて生ずるギヤツプを覆うため、スペー
サ４に挾持された円環邪魔板５が設けられる。こ
れにより、前記スリツト幅ｔにもとづくギヤツプ
を通して逆流する気体分子の量が大幅に減少し
た。実験によると本発明ポンプの水素圧縮性能は
約４倍に増強できた。
スペーサ４はリング状の短筒４０を合じやくり
状に排気側より前記固定子２の円環部２０を挾む
姿勢で順次重ね合せられる。
状に排気側より前記固定子２の円環部２０を挾む
姿勢で順次重ね合せられる。
なお、邪魔板５は静翼２２の排気側または吸排
気両側に設けられてもよい。
気両側に設けられてもよい。
本発明は以上のように構成されるので、固定子
および静翼の製作が極めて容易で変形も少なく、
この固定子を装着されたターボ分子ポンプは気体
分子の逆流が防止され、特に邪魔板による逆流防
止効果が著しい。これにより品質の安定性と圧縮
性能が一段と高められることとなり、特に小型ポ
ンプにおいてその効果が大きい。
および静翼の製作が極めて容易で変形も少なく、
この固定子を装着されたターボ分子ポンプは気体
分子の逆流が防止され、特に邪魔板による逆流防
止効果が著しい。これにより品質の安定性と圧縮
性能が一段と高められることとなり、特に小型ポ
ンプにおいてその効果が大きい。
第１図は本発明のターボ分子ポンプの固定子の
一実施例における製造過程を示す要部平面図、第
２図は本発明のポンプの要部拡大断面図である。 １……回転子、２……固定子、２１……スリツ
ト、２２……静翼、２３……くびれ部、４……ス
ペーサ、５……邪魔板。
一実施例における製造過程を示す要部平面図、第
２図は本発明のポンプの要部拡大断面図である。 １……回転子、２……固定子、２１……スリツ
ト、２２……静翼、２３……くびれ部、４……ス
ペーサ、５……邪魔板。
Claims (1)
- １ 円周方向に多数の動翼を持つ回転子の複数段
が同心に配列され、各段の中間に円周方向へ多数
の静翼を持つ固定子がスペーサを介して配置され
てなるターボ分子ポンプにおいて、前記固定子は
薄板円環の同一円周上の等間隔位置にＩ字状スリ
ツトが設けられ、該スリツトに挾まれた部分が捩
曲されて静翼が形成され、前記スリツトの固定子
半径方向外側の部分を覆うようにスペーサに挾持
されて円環邪魔板が配置されたことを特徴とする
ターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57199599A JPS5990796A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57199599A JPS5990796A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5990796A JPS5990796A (ja) | 1984-05-25 |
| JPH0119080B2 true JPH0119080B2 (ja) | 1989-04-10 |
Family
ID=16410530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57199599A Granted JPS5990796A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5990796A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3722164C2 (de) * | 1987-07-04 | 1995-04-20 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Turbomolekularpumpe |
| JP3013083B2 (ja) * | 1998-06-23 | 2000-02-28 | セイコー精機株式会社 | ターボ分子ポンプ |
| DE102005027097A1 (de) | 2005-06-11 | 2006-12-14 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Statorscheibe für Turbomolekularpumpe |
| JP6834612B2 (ja) * | 2017-03-07 | 2021-02-24 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプの製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6053153B2 (ja) * | 1981-04-15 | 1985-11-22 | 大成建設株式会社 | 鉄骨鉄筋組立方法 |
-
1982
- 1982-11-12 JP JP57199599A patent/JPS5990796A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5990796A (ja) | 1984-05-25 |
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