JPH01192144A - セラミックパッケージの異物除去装置およびその除去方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、集積回路のセラミックパッケージに付着した
異物を除去するための異物除去装置およびその除去方法
に関する。

［従来の技術］ 一般に、セラミックパッケージの製造工程時には、グリ
ーンシート（未焼成セラミツク生地）の切断、孔打抜き
、面取り時などに生じるシート屑や作業者の衣服の糸屑
などが付着し、ＩＣパッケージとしての製品不良となる
場合がある。

このため、セラミックパッケージに付着した異物を除去
する方法として、主工程時には、ブラッシングによりシ
ート屑や糸屑などを払拭する方法、導体印刷や面押工程
の際に粘着ローラを使用してシート屑や糸屑などの異物
を粘着除去する方法、成形したグリーンシートを加工す
る際に、グリーンシートの表面をテープ貼りして加工し
、異物が直接グリーンシートの表面に付着しないように
する方法などがある。

また、焼成後の異物の除去方法としては、ブラッシング
による除去や、超音波洗浄による除去が行われていた。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、主工程の際に除去できない異物が、焼成時に
パッケージ表面（特にキャビティー内）に固着した場合
には、上述のブラッシングや超音波洗浄による除去方法
では十分に異物を取り除くことができない問題点を備え
ていた。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は
、焼成後においてセラミックパッケージに付着している
異物の除去能力を向上させたセラミックパッケージの異
物除去装置およびその除去方法を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明のセラミックパッケ
ージの異物除去装置は、集積回路のセラミックパッケー
ジを載置して搬送する搬送手段と、供給された純水を加
圧して吐出する高圧ポンプと、該高圧ポンプにより加圧
された純水を前記セラミックパッケージに噴射する噴射
手段と、該噴射手段を前記搬送手段の搬送面に対して平
行移動させる移動手段とからなることを技術的手段とす
る。

また、前記セラミックパッケージに付着した異物の除去
方法として、前記噴射手段を水平移動させながら、前記
搬送手段により搬送される前記セラミックパッケージに
高圧の純水を噴射させることにより前記セラミックパッ
ケージに付着した異物を除去することを特徴とする。

［作用および発明の効果］ 上記構成よりなる本発明は、搬送手段によって搬送され
たセラミックパッケージに、高圧ポンプで加圧した純水
を噴射手段より噴射させる。このとき移動手段によって
、例えば、円運動など、噴射手段を搬送手段の搬送面に
対して平行移動させる。これにより、順次搬送されるセ
ラミックパッケージに噴射される純水の水圧によりセラ
ミックパッケージに付着した異物を吹き飛ばし除去する
ことができる。

また噴射手段を、円運動などの平行移動をさせることに
より、セラミックパッケージの一定場所に噴射されるこ
とがなく、セラミックパッケージに対する噴射むらをな
くすとともに、特に、セラミックパッケージのキャビテ
ィー内に付着した異物を効果的に除去することができる
。

上述のように、噴射手段を移動させながら高圧水をセラ
ミックパッケージに噴射させることから、セラミックパ
ッケージに付着した異物を吹き飛ばして除去することが
でき、従来のブラッシングや超音波洗浄による除去方法
と比較して、その除去能力を向上させることができる。

［実施例］ 次に、本発明のセラミックパッケージの異物除去装置お
よびその除去方法の一実施例を図面に基づき説明する。

第１図は、セラミックパッケージの異物除去装置の概略
斜視図を示す。

セラミックパッケージの異物除去装置１を構成する高圧
ポンプ（図示しない）は、周知の構造である油圧バラン
ス型のプランジャポンプを使用し、最高２，０ＯＯｋｉ
Ｊｆ／ａＪまで加圧できる。なお本発明では、上記高圧
ポンプによって加圧される水に純水を使用する。

本発明の搬送手段としては、ドラム２によって回転駆動
されるベルトコンベア３を使用し、このベルトコンベア
３に設置した洗浄用治具４に焼成後のセラミックパッケ
ージ５を多数載置して順次搬送する。

ベルトコンベア３の所定上部位置には、本発明の噴射手
段である多数の噴射ノズル６を一体に偏心回転させるた
めの偏心ノズルユニット７が設けられている。

この偏心ノズルユニット７は、内部に電動モータ８を有
し、電動モータ８の回転出力が、出力軸８ａに取り付け
られた駆動用プーリー９および駆動ベルト１０を介して
、従動軸１１に取り付けられた従動用プーリー１２に伝
達される。

従動用プーリー１２の下面には、その回転中心よリ５−
偏心した位置に偏心軸１３が固着され、この偏心軸１３
の下端部（第１図下端〉に、例えば１５個の噴射ノズル
６を１０ｎｍ間隔でベルトコンベア３の巾方向に一列に
組み付けた噴射バイブ１４を取り付けたロッド１５の一
端１５ａが回動自在に組み付けられ、他端１５ｂが前後
方向くベルトコンベア３の搬送方向）に移動可能に設け
られている。

上述のような構成により、電動モータ８が通電された場
合に、電動モータ８の回転出力が従動用プーリー１２に
伝達され、偏心軸１３が従動軸１１を中心として円運動
することになる。そして、噴射バイブ１４を取り付けた
ロッド１５の一端１５ａが偏心軸１３に対して回動自在
に組み付けられていることから、１５個の噴射ノズル６
が、ベルトコンベア３の搬送面に対して平行に、それぞ
れ直径１０ｍの偏心回転を行うことになる。

各噴射ノズル６の先端部には、互換性を有する口径０．
１φのノズルチップ（図示しない）が収納され、異なる
口径のチップとの交換を自由に行うことができる。

噴射バイブ１４には、高圧ポンプに接続された吐出用ホ
ース１６を介して、高圧ポンプで加圧（例えば、５００
ｋ（ｉｆ／ａｄ　）された高圧純水が供給され、各噴射
ノズル６より高圧噴射される。

実験結果によると、上述した口径ｏ、１φのノズルチッ
プを使用した場合に、ポンプ圧力が３００ｋｇｔ／−時
で、各噴射ノズル６より噴射される水の噴射スピードが
約３００ｍ／ｓとなり、セラミックパッケージ５の表面
で約３００ｋｇｆ／−の衝撃圧力を得ることができる。

なお、上述の偏心ノズルユニット７は、本発明の移動手
段を構成し、電動モータ８、駆動用プーリー９、駆動ベ
ルト１０、従動軸１１、従動用プーリー１２、偏心軸１
３、ロッド１５がら構成される。

次に、本実施例の作動について説明する。

ベルトコンベア３に設置した洗浄用治具４に焼成後のセ
ラミックパッケージ５を載置し、ドラム２を回転駆動し
て順次搬送する。同時に、偏心ノズルユニット７を構成
する電動モータ８を通電することにより、駆動ベルト１
０を介して電動モータ８の回転出力が従動用プーリー１
２に伝達され、従動用プーリー１２に固着された偏心軸
１３が従動軸１１を中心に円運動する。

偏心軸１３の円運動に伴い、噴射バイブ１４に組み付け
られた１５個の噴射ノズル６が偏心回転する。

このとき噴射バイブ１４に、高圧ポンプで加圧された純
水が供給されることで、１５個の各噴射ノズル６より純
水が高圧噴射される。

これにより、ベルトコンベア３で搬送されたセラミック
パッケージ５に純水が高圧噴射され、セラミックパッケ
ージ５に付着した異物を吹き飛ばし除去する。またこの
とき、１５個の噴射ノズル６が偏心回転していること′
により、セラミックパッケージ５に対する噴射むらが少
なくなり、特にセラミックパッケージ５のキャビティー
内などに付着した異物を効果的に除去することができる
。

上述のように、偏心回転させながら高圧水を噴射させる
ことにより、従来のブラッシングや超音波洗浄による除
去方法と比較して、セラミックパッケージ５に付着した
異物を効果的に除去できるとともに、その除去能力を向
上させることができる。

また、除去能力の向上により、セラミックパッケージ５
にＩＣチップを収容した製品としてのＩＣパッケージの
歩留まりを向上させることができる。

第２図に本発明の第２実施例を示す。

本実施例では、第１実施例で示した偏心ノズルユニット
７を回転ノズルユニット１７とし、その構成を、第２図
に示すように、電動モータ８により駆動される従動軸１
１に、直接円盤状の噴射装置１８を取り付け、その噴射
装置１８の外周部に２０個の噴射ノズル６を組み付けた
ものである。これにより、電動モータ８が通電された際
に、噴射装置１８が従動軸１１を中心として回転するこ
とになり、従って、２０個の噴射ノズル６が従動軸１１
を中心として回転する。

この機な構成により、噴射ノズル６のいくっかに目詰ま
りが生じても、回転式ノズルのため噴射むらを少なくす
ることができ、さらに、上述した第１実施例のものより
有効噴射範囲が拡大することから洗浄効率が向上し、異
物の除去能力を向上させることができる。

（変形例） 上記実施例では、平行移動として、噴射ノズルを偏心回
転、および内回転させた場合を例示したが、前後方向、
斜め方向、横方向などの平行移動、あるいはこれらの組
合わせの移動であってもよい。

各噴射ノズルの先端部に、口径０．１φのノズルチップ
をそれぞれ収納した場合を例示したが、各噴射ノズルに
複数個のノズルチップを収納するようにしても良い。

高圧ポンプとして往復ポンプ型のプランジャポンプを使
用したが、ベーンポンプなどの回転ポンプ、あるいはタ
ーボ形ポンプなど他のポンプを使用しても良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示すセラミックパッケー
ジの異物除去装置の概略斜視図、第２図は本発明の第２
実施例を示すセラミックパッケージの異物除去装置の概
略斜視図である。 図中　１・・・セラミックパッケージの異物除去装置　
３・・・ベルトコンベア（搬送手段）　　５・・・セラ
ミックパッケージ　６・・・噴射ノズル（噴射手段）７
・・・偏心ノズルユニット（移動手段）１７・・・回転
ノズルユニット（移動手段）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）集積回路のセラミックパッケージを載置して搬送す
   る搬送手段と、 供給された純水を加圧して吐出する高圧ポンプと、 該高圧ポンプにより加圧された純水を前記セラミックパ
   ッケージに噴射する噴射手段と、 該噴射手段を前記搬送手段の搬送面に対して平行移動さ
   せる移動手段と からなるセラミックパッケージの異物除去装置。 ２）前記噴射手段を水平移動させながら、前記搬送手段
   により搬送される前記セラミックパッケージに高圧の純
   水を噴射させることにより前記セラミックパッケージに
   付着した異物を除去することを特徴とする請求項１記載
   のセラミックパッケージの異物除去方法。