JPH011940A - 多層プリント基板におけるスルーホールボイド検査方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、多層プリント基板におけるスルーホールボイ
ドを自動的に検査する方法に係り、とくニ高い信頼性の
もとてスルーホールボイドヲ検査、するのに好適な多層
プリイト基板におけるスルー・°　ホールボイド検査方
法に関する。

〔従来の技術〕

多層プリント基板においては、層間の電気的接続を行な
うため、スルーホールの内壁に無電解メツキ法によシ鋼
などの層を形成し、この層の上にさらに無電解メツキ法
によシ半田層を積層している。

しかるに多層プリント基板上に塔載される部品の密度が
高く、かつ多層になるのに伴なっ、て上記スルーホール
の径が微細化するとともに、深さが深くなっていくので
、スルーホールの内径にメツキ層を形成することが困難
となって導通不良を発生する原因になる。

このような不良は当初発見することが困難であり、かつ
、もしこの不良を発見しなかった場合には実稼動中にお
いて装置の障害として現われるために、極めて重大な結
果につながる場合が少なくない。

そのため、あらかじめスルーホールの内面にメツキされ
た銅が正常に付着していない欠陥（これをスルーホール
ボイドという）を探知して排除することが重要である。

従来の上記スルーホールボイド検査方法は、たとえば特
開昭６０−８５５９６に記載されているように、あらか
じめ基板の一方の面に感光性の板もしくはフィルムを少
なくとも検査を対象としているすべてのスルーホールを
覆うように貼υ付け、上記基板の一方の面から検査を対
象としているすべてのスルーホールを通過するように光
を照射したのち、上記感光性の板もしくはフィルムを遮
光マスクとしてスルーホール検査を行なうものが提案さ
れている。

またたとえばプロシーディングテクニカルプログラムナ
ツトエル、エレクトロンパツケエジングプロダクション
コンファレンス（ＰｒｏｃｅｅｄｉｎｇＴｅｃｈｎｉｃ
ａｌ　Ｐｒｏｇｒａｍ　Ｎａｔｌ、Ｅ、ｇｅｃｔｒｏｎ
　Ｐａ−ｃｋａｇｉｎｇ　Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　Ｃｏ
ｎｆｅｒｅｎｃ’ｅ）ＶｏＬ。

１９７４　　ＰＰ５６−６２（１９７４）に記載されて
いるように、基材に蛍光物質を混入し、紫外線を照射し
てスルーホールボイドから発生する蛍光を観察する方法
が発表されている。この方法は、プリント基材に３５　
Ｃｈｎｘの励起光によＦ）４７２朋の蛍光を発生する蛍
光色素を混入しておく、また下方に紫外線ランプをおき
、その上に３５０ｍｍの光を通過するフィルタを載置す
る。つぎに上記プリント基材を水平状態にして上記フィ
ルタの上に載置し、このプリント基材上に３５ｏｎの紫
外線を吸収するフィルタを載置する。なお、これら下方
のフィルタと、プリント基材と、上方のフィルタとはそ
れぞれ適当な間隔を有している。

この状態で下方の紫外線ランプから下方のフィルタに向
って紫外線を照射すると、もしスルーホール内にスルー
ホールボイドがある場合には、紫外線がスルーホールボ
イド部に当ってプリント基材が露光した部分から蛍光が
発生する。これを上方から作業者がみると、スルーホー
ルボイドのあるスルーホール内が光って見えるので、こ
れによってスルーホールボイドを検査するものである。

而して上記の方法は、比較的大きなスルーホールボイド
の検査が可能と思われる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記前者の従来技術においては、つぎの点について問題
がある。

すなわち、前者の従来技術においては、照明光がスルー
ホールの周辺のみを照射し、スルーホール内に入射して
はならないために、スルーホールの一方を完全に覆つ必
要がある。何故ならば、スルーホールの一方が不完全に
覆われている場合、実際にはスルーホールボイドがない
にも拘らず、スルーホールボイドがあるように誤認され
るからである。しかもスルーホールが多数有る場合には
、これら多数のスルーホールの一方を１個づつあるいは
複数個づつ開閉する必要があるので、その開閉操作が面
倒である。

また前者の従来技術においては、スルーホールの周辺を
照射した光が基板の内部およびスルーホールボイドを通
ってスルーホール内一方の感光性の板もしくはフィルム
に到達する必要がある。

しかるにプリント基板の種類によって層数が多いものか
あシかつ内層パターンの形状によっては照明光が途中で
遮断されかつプリント基板の最外面には既に回路パター
ンが形成されているので、この回路パターンで照明光が
遮断され、スルーホールボイドを通ってスルーホール内
一方の感光性の板もしくはフィルムに到達しないことが
あってスルーホールボイドの検査ができないことがある
。

さらに前者の従来技術においてはプリント基板の感光性
の板もしくはフィルムを取付けた反対側面に照明光を照
射する場合、スルーホール内に照明光が照射されないよ
うにすることが困難である。

つぎに上記後者の従来技術においては、１０年以上も前
に発表されたにも拘らず、一般的な方法になっていない
。その理由はつぎによるものと思考する。

すなわち、第１の理由は、プリント基材に蛍光物質を混
入しなければならないので、混入を行なうための工程が
増大するとともに費用の増加およびプリント基材の信頼
性に悪影響を及ぼすものと予想される。

第２の理由は、スルーホールの穴径と深さとの比が工程
度のプリント基板についてなされたものであって、今日
のプリント基板のように穴径が０．５乃至０．３　ｍ＋
ａに対してプリント基板の厚さが数朋のような場合には
、上記の方法でスルーホールボイドを検査することが困
難である。

すなわち、小さなスルーホールボイドを通過する蛍光は
非常に僅少であるため、上記の方法ではスルーホールボ
イドを検査することが困難である。

また上記の方法ではプリント基板の最外面に回路パター
ンが形成される以前の基板すなわち、最外面およびスル
ーホール内面に銅箔が被覆された状態の基板に適用する
場合には、銅箔によって蛍光が遮断される問題がある。

本発明の目的は、蛍光を用いてスルーホールボイドを検
査するものであるが、光学系などに種々の工夫をしてプ
リント基材に蛍光色素を混入することなく、小さなスル
ーホールボイド検査可能にし、かつ、スルーホール内の
光学的遮断、プリン　・ト基板内層パターンの形状に影
響されることなく、高精度でスルーホールボイド検査可
能とするスルーホールボイド検査方法を提供することに
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的は、特定の波長帯域の光を対象物に照射した
とき、対象物から発生する上記光と異なる波長帯域の光
を検出する光検出光学系と、上記特定の波長帯域の光と
して該光がプリント基板のスルーホール内を照明し、ス
ルーホールボイド内を通ってプリント基板の基材部に当
ったとき、異なる波長帯域の光に変化するものを用い、
該光を上記光検出光学系から上記スルーホール内に照明
したとき、上記スルーホール内に発生する上記照明光と
異なる波長帯域の光を検出することによりスルーホール
ボイドを検出することによって達成さね、る。

〔作　用〕

本発明に使用される光検出光学系はたとえば超高圧水銀
ランプなどからなるランプから高い強度の励起光を放出
すると励起光がフレクタレンスにより集光され励起フィ
ルタにてプリント基板基材から蛍光を発生するのに最適
な波長帯域の光のみを通過させて顕微鏡用対物レンズに
達する。この顕微鏡用対物レンズは開口数が大きくスル
ーホールに照射するさいの光線の集光角が１０°以上あ
るものを使用している。このような顕微鏡用対物レンズ
によって集光された励起光が光を反射する散乱面にノｂ
成されたスルーホール内に照射すると、励起光がスルー
ホール内面を反射し拡散しつつその全体を照明する。

面シてスルーホール内面にスルーホールボイドがある場
合には、プリント基板の基材部に励起光が入射して基材
から蛍光がスルーホール内面に放出される。この蛍光は
一般に励起光よシも波長帯ｈ（ 域曇奈等長いが、指向性がないので、周囲に−様な光量
をもって放出され、そのうちの光検出光学系側に向かっ
てスルーホール内面を反射する蛍光は、スルーホールの
入口に達して顕微鏡用対物レンズにて検出器上に結像さ
れるが、このとき顕微鏡用対物レンズと検出器との間に
設置されたダイクロイミックミラーにて励起光を反射し
、蛍光のみを透過させかつ吸収フィルタにて励起光の波
長帯の光を吸収し、蛍光のみを通過させるので、検出器
はスルーホールボイドがある場合には、スルーホールの
入口が明るく検出されるが、スルーホールボイドがない
場合には、スルーホールの入口が真暗になって光を検出
することができない。

したがってスルーホール内にスルーホールボイドがある
か否かを容易に検査することができる。

また、上記スルーホールボイドの大きさが小さい場合に
は、スルーホールボイドから蛍光の量は極小になシ、検
出器の面上でｌｏ′−２乃至１０−”ルックス程度にな
ることがある。そのため検出器は通常のＴＶカメラおよ
びリニアメージセンサを使用することができない。そこ
で、本発明においては、たとえばシリコンインテンシフ
ァイアターゲット（５ｉｌｉｃｏｎ　Ｉｎｔｅｎｓｉｆ
ｉａｒ　Ｔａｒｇａｔ）　（以下ＳＩＴという）ＴＶカ
メラ、イメージインテンシファイア（Ｉｍａｇｅ　　Ｉ
ｎｔｅｎｓｌｆｉｅｒ　）　（以下ＩＩという）ＴＶカ
メラなどのように１０−３あるいはそれ以下の微弱光を
検出できるＴＶカメラを使用している。またリニアイメ
ージセンサとしては、イメージインテンシファイア（Ｉ
ｍａｇｅ　　Ｉｎｔｅｎｓｉ　−ｆｉｅｒ）　　管と、
通常のリニアイメージセンサとを組合せた市販されてい
る超高感度リニアイメージセンサを使用している。この
ように本発明においては、開口数の大きい顕微鏡用対物
レンズおよび超高感度検出器を有する光検出光学系と、
スルーホール内にスルーホールボイドがある場合、スル
ーホール内面に波長帯域の異なる蛍光を放出する励艷光
とを用い、スルーホール入口からの蛍光を検出すること
によってスルーホールボイドを検査するものであるから
、高信頼性のもとで、スルーホールボイドを容易に検査
することができ、これによって不良プリント基板の生産
を未然に防止することができるとともにコンピュータな
どの故障を防止することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を示す第１図および第２図によ
り詳細に説明する。

第１図に示すように、プリント基板１はその内部を多層
に形成されているともにスルーホール２および配線バタ
ー／ｌｂを形成し、このスルーホール２の内面および該
プリント基板１の表裏両面を銅箔３ａ　、３ｂにて被覆
されている。なおスルーホール２の内面を被覆した銅箔
３ａは後述の光検出光学系５からの励起光１３を反射す
るように散乱面に形成されている。４はスルーホールボ
イドにして、スルーホール２の内面の銅箔３ａの一部に
有する欠落した部分である。５は光検出光学系にして、
ランプ６とコレクタレンズ７と、励起フィルタ８と、ダ
イクロイックミラー９と、顕微鏡用対物レンズ１０と、
吸収フィルタ１１と、検出器１２とから構成されている
。上記ランプ６は、たとえば超高圧水銀ランプのように
高い強い強度の励起光１３を放出するように形成されて
いる。上記コレクタレンズ７は、ランプ６からの励起光
を集光する。上記励起フィルタ８は、上記プリント基板
１の基材部１ａに当って蛍光１４を発生するのに最適な
波長の励起光１３を通過させるように選択されている。

たとえば、第２図（ａｌに示すようにある波長帯域に制
限した波長の励起光１３のみ通過させるように形成され
ている。上記ダイクロイックミラー９は、第２図（ｂ）
に示すように励起光１３を反射し、蛍光（励起光１３の
波長より長い波長の光）１４を通過するように形成され
ている。上記顕微鏡用対物レンズ１０は開口数を大きく
すなわち第１図に示す励起光１３および蛍光１４の集光
角θが１０’以上あるものを使用し、これによってスル
ーホール２から蛍光１４を十分に集光しうるようにして
いる。上記吸収フィルタ１１は第２図ｔｃ＋に示すよう
に励起光１３の波長帯の光を吸収し、蛍光１４のみを通
過させるようにしている。上記検出器１２は５ＩＴＴＶ
カメラＩＩ　ＴＶカメラなどのように１０−２乃至１０
−３ルツクスあるいはこれ以下の微弱光の蛍光を検出で
きる超高感度にて形成され、またリニアイメージセンサ
としてはＩＩ管と通常のリニアイメージセンサとを組合
せた市販の超高度リニアイメージセンサを使用している
。なお、基材部１ａに当って発生する蛍光１４は、特に
指向性がなくスルーホールボイド４からスルーホール２
内に−様な光量をもって放出される。

本発明によるスルーホールボイド検査装置は上記のよう
に構成されているから、つぎにスルーホールボイド検査
方法について説明する。

ランプ６からの励起光１３はコレクタレンズ７で集光さ
れ、励起フィルタ８で第２図（ａ）に示すようにある波
長帯域に制限された波長の励起光１３のみ通過させ、ダ
イクロイックミラー９を介して顕微鏡用対物レンズ１０
によりスルーホール２内に集光されると、励起光１３は
スルーホール２内を十分に拡散しつつ全面を照明する。

而して、スルーホール２内にスルーホールボイド４があ
る場合には、スルーホールボイド４内を通ってプリント
基板１の基材部１ａに励起光１３が入射するので、基材
部１ａからスルーホールボイド４を通ってスルーホール
２内に蛍光１４が放出される。この蛍光１４のうち、上
方に向かう蛍光１４は、スルーホール２の内面を反射し
つつ入口２ａに達すると、顕微鏡用対物レンズ１０によ
り検出器１２上に結像される。このとき、ダイクロイッ
クミラー９にて第２図（ｂ）に示すように励起光１３を
反射し、蛍光１４のみを透過する。また吸収フィルタ８
にて第２図（Ｃ）に示すように励起光１３の波長帯の光
を吸収し、蛍光１４のみを通過させるので、検出器１２
はスルーホール２の内面にスルーホールボイド４がある
場合にはスルーホール２の入口２畠が明るく検出され、
スルーホールボイド４がない場合にはスルーホール２の
入口２＆が真暗になって光を検出しない。さらに検出器
１２は超高感度に形成され、かつリニアイメージセンサ
として超高感度に形成されているので１０−８乃至１０
″″３ルツクスあるいはそれ以下の微弱光の蛍光を検出
することができる。

つぎに、本発明による他のいくつかの実施例について説
明する。

まず、第３図は、プリント基板１のスルーホー曇 ル２に対してランプ６を検出１１２の反対側対向位置に
配置した場合を示す。本実施例においては、第１図に比
較してダイクロイックミラー９は当然のことながら不用
となるが、その代りに励起光１３を集光するだめのコン
デンサレンズ１５が必要である。このコンデンサレンズ
１５はその開口数が顕微鏡用対物レンズ１０′と同様に
大きなものを用いている。

ついで、第４図は、第１図における励起光１３の代シに
レーザ光１６を用いた場合を示す。

レーザ光１６は単一の波長あるいは、複数の波長を放出
するので、励起光帯域の光のみが放出される場合には、
第１図に示す励起フィルタ８が不用となる。

ついで、第５図は、励起光の集光方法の他の一実施例で
あって、励起光がプリント基板上の広い面を照射する場
合を示す。

本実施例においては、ランプ６からの励起光１３を楕円
面反射鏡１７で下方に反射し、この楕円面反射鏡１７の
対向位置に対称的に形成された楕円面反射鏡１８と、そ
の内部の顕微鏡用対物レンズｌＯとによシブリント基板
１のスルーホール２内に斜方向から集光しているので、
スルーホール２内には斜下方向に強い励起光１３が照射
される。そしてスルーホール２内にスルーホールボイド
（図示せず）があるため、スルーホール２内から蛍光１
４が発生したときには、この蛍光１４は２個の反射鏡１
９ａ。

１９　ｂを介して検出器１２上に結像されるとともに励
起フィルタ１１にて蛍光１４のみ検出器１２に通過され
る。なお、本実施例においては、第１図に示すダイクロ
イックミラーは不要である。

したがって、本実施例においては、強い励起光１３が斜
方向からスルーホール２内２内に照明されるので、励起
光１３がスルーホール２内をよシ有効に斜方向に反射し
て微小なスルーホールボイドに照明することができる。

ただ、本実施例のようにプリント基板１の広い面に励起
光１３が照明した場合極くまれではあるが、第６図に示
すようにプリント基板１上に異物加が存在したとき、こ
の異物加によって蛍光１４が発生して、あたかもスルー
ホール２内にスルーホールボイドがあるかのように誤認
する恐れがある。これを防止するには、励起光１３がプ
リント基板１上を照明する範囲を絞ることによって解決
される。

たとえば、第７図（ａｌ　（ｂ）に示すように第１図に
示す光検出光学系５を用い、この光検出光学系５の励起
フィルタ８とダイクロイックミラー９との間に像をプリ
ント基板１の上面に結像するように照野絞シ２１を設置
することによって解決される。

すなわち、第８図（ａｌ　（ｂ）は、顕微鏡用対物レン
ズ１０の視野１０　ｍに対して照野絞シ２１が僅かに小
さい比較的大きな円形の照野絞シ２１＆を用いた場合で
、この場合には顕微鏡用対物レンズ１０で見える視野の
全体を励起光１３が照明する。また第９図（ａｌ　（ｂ
ｌは小さい円形の照野絞、９２１ｂを用いた場合で、こ
の場合には１個のスルーホール２のみを励起光１３が照
明する。さらに第１０図（ａｌ　（ｂｌは照野絞シ２１
　ｅに複数の小さな穴あき絞シを形成した場合で、この
場合には複数のスルーホール２を同時に照明する。

したがって、適宜の形状をした照野絞、！ｌ）　２１を
配置することによってたとえプリント基板１のスルーホ
ール２以外の面上に異物ｍが存在するため、蛍光１４が
発生しても、これをスルーホールボイドと誤認するのを
防止することができる。

ナオ、前記第８図Ｔａｌ　（ｂｌ乃至第１０図（ａｌ　
（ｂ）は検出Ｂｇ１２としてＴＶカメラを用いた場合を
念頭において述べたが、リニアイメージセンサ−を用い
る場合には、第１１図（ａ）　（ｂ）に示すように照野
絞ｆｉ２１ｄを長方形に形成してリニアセンサーで検出
する部分のみを照明する方法があシかつスルーホール２
のみに照明する場合には第１２図ｔａ＋　（ｂｌに示す
ようにスルーホール２の位置に対応する位置に小さな穴
を複数あけた照野絞シ２１　ｅを用いる。

また、上記第８図ｔａｌ　ｆｂ）乃至第１２図（ａｌ　
（ｂ）　Ｉｃ　Ｊ６　イ”Ｃは照野絞り２１の形状を円
形および長方形に形成した場合を示しているが、これに
限定される５のでなく、たとえば四角形および長円形に
することも考えられる。

さらに上記第１図乃至第１２図（ａ）　（ｂ）において
は、プリント基板１の最外層パターンが形成される前（
エツチング前〕を対象としたものである。エツチング前
の場合には、プリント基板１の全体に銅箔が被覆されて
いるので、プリント基板１にスルーホールボイド４がな
ければ検出器９によって蛍光１４は検出されない。（異
物加によって蛍光１４を発生するのは極めて少なく例外
である。ンもし、蛍光１４が検出されればスルーホール
２内にスルーホールボイド４があると判定することがで
きる。

したがってエツチング前のプリント基板１を対象とする
ことによって、スルーホールボイド４を容易に検出する
ことができる。

しかしながら、実際問題として、対象のプリント基板１
として最外層パターン形成後（エツチング後）を用いる
場合がある。この場合には、第１３図および第１４図に
示すように、プリント基板１′のスルーホール２以外の
基材部１ａ’ｌｃ励起光１３が当ると蛍光１４を発生し
てスルーホール２内にスルーホールボイド４と誤認する
ことになる。そこで、本発明においては、第１３図（ａ
ｌに示すように照野絞ν２１と励起フィルタ８との間に
シャッターｎが設置されている。このシャッタηは、プ
リント基板１′を第１３図（ａｌに対して左右水平方向
および上下方向に移動させる駆動機構（図示せず）と連
動し、顕微鏡用対物レンズ１０による励起光１３の集光
位置がプリント基板１′のスルーホール２内に達したと
きのみ、該シャッタ２１が開き、それ以外のときには該
シャッタｎが閉じるように形成されている。

而してこのシャッタ乙の開閉と、駆動機構との連動は、
たとえばプリント基板１′の全体の移動量に対するスル
ーホール２の位置をあらかじめ設定してわけば容易に行
なうことができる。

また、第１３図および第１４図におけるスルーホールボ
イド４の検出方法については、既に述べた実施例によっ
て容易に理解しうるものであるからその説明は省略する
。

〔発明の効果〕

本発明によれば高信頼性で容易にスルーホール内のスル
ーホールボイドを検査することができるので、不良のプ
リント基板の生産を未然に防止することができ、かつ、
フンピユータなどの故障を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すスルーホールボイド検
査装置の説明図、第２図（ａｌは励起フィルタの透過率
曲線図、第２図ｆｂｌはダイクロイックミラーの透過率
曲線図、第２図（ｃｌは吸収フィルタの透過率曲線図、
第３図は本発明の他の一実施例を示ススルーホールボイ
ド検査装置の説明図、第４図は本発明の他の一実施例を
示すスルーホールボイド検査装置の説明図、第５図は本
発明の他の一実施例を示すスルーホールボイド検査装置
の説明図、第６図はプリント基板上に異物がある場合を
示す説明図、第７図（ａ）は本発明の他の一実施例を示
すスルーホールボイド検査装置の説明図、第７図（ｂｌ
は第７図（ａｌに示す照野絞シを示す図、第８図（ａｌ
　（ｂｌ乃至第１２図（ａｌ　（ｂｌは顕微鏡用対物レ
ンズの視野と、照野絞シとの関係を示す説明図、第１３
図ｆａｔは本発明の他の一実施例を示すスルーホールボ
イド検査装置の説明図、第１３図（ｂｌは第１３図（ａ
ｌにプリント基板のスルーホール付近の拡大平面図であ
る。 １・・・プリント基板、２・・・スルーホール、４・・
・スルーホールボイド、５・・・光検出光学系。 代理人　弁理士　　秋　本　正　実 第２図 （（１）　　Ｎ）起フ１）レタ （ｂ）　ダイクロイックミラー （ｃ）裟−又７４ルタ 第３１ 第４図 １−−−グリント基、法、　　　　　　１０−・月１贅
、１！ｉ１Ｍ対物レンス゛２−−−スルーホーｔし　　
　　　　１１−−・吸収フィルり７−−−コレグタレン
ス”　　　　　　＋２−＆庄呑９−−−グイグロインク
ミフー 第５図 １−ｍ−２）ルト１１七え　　　　　　　　　　ＩＩ−
Ｊ７１声島フイクレタ２−一一スルーホーレ　　　　　
　１２−一一次肚呑６、−１及フ・　　　　　　　　　
　　　　１３−一一励ま口Ｌ８−一一屑力免：フイＩレ
ダ　　　　　　　　　　　１４−ｍ−〜（力２１０−−
−Ｍ＊１ｆＬＷ’＋Ｒ’ｒｌ）　レンＫ　　１７〜１８
−−−ａＦＩａＲ’ＲＩＬ第６図 １−一一プリント基４更　　　　　　　＋３−Ｊ起尤２
−ｍ−スルーホーｄ／１４−−−賃光９−−一タΔクロ
イプクミフー　　　　２０−４？ｆｉ１０−−制御有（
ａ月１ｚ寸物ンンス゛第７図 （ａ）　　　　　　　　（ｂ） １−−−アルド蒸上（９−−−ダイクロイー・クミラー
２−゛−スルーホー・し　　　１０−−一蜀Ｉ毀ａ芹し
１切しンス゛６−−−ランフ゛　　　　　　　１１−−
一励起フィ廖しタ７−−−フレクタレンス゛　　１２−
−−々り出番８−＃Ｉ起２７引げ　　２１−−一照野・
状ν第８図 第　９　図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. １．特定の波長帯域の光を対象的に照射したとき、対象
   物から発生する上記光と異なる波長帯域の光を検出する
   光検出光学系と、上記特定の波長帯域の光として、該光
   がプリント基板のスルーホール内を照明し、スルーホー
   ルボイドを通つてプリント基板の基材部に当つたとき、
   異なる波長帯域の光に変化するものを用い、該光を上記
   光検出光学系から上記スルーホール内に照明したとき、
   上記スルーホール内に発生する上記照明光と異なる波長
   帯域の光を検出することによりスルーホール内のスルー
   ホールボイドを検査することを特徴とするスルーホール
   ボイド検査方法。
2. ２．上記光検出光学系は開口数の大きい顕微鏡用対物レ
   ンズを設けていることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載のスルーホールボイド検査方法。
3. ３．上記光検出光学系は超高感度の検出器を設けている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のスルーホ
   ールボイド検査方法。