JPH0119474B2 - - Google Patents
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- JPH0119474B2 JPH0119474B2 JP4599785A JP4599785A JPH0119474B2 JP H0119474 B2 JPH0119474 B2 JP H0119474B2 JP 4599785 A JP4599785 A JP 4599785A JP 4599785 A JP4599785 A JP 4599785A JP H0119474 B2 JPH0119474 B2 JP H0119474B2
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
<産業上の利用分野>
本発明は、IC等の製造に用いられるリードフ
レーム等をスポツトメツキする場合のシール方法
に関し、特にフレームの変形防止とシール効果の
向上したスポツトメツキのシール方法に関する。
レーム等をスポツトメツキする場合のシール方法
に関し、特にフレームの変形防止とシール効果の
向上したスポツトメツキのシール方法に関する。
<従来の技術>
ICなどの製造に用いられる集積回路装置用リ
ードフレームなどをスポツトメツキする場合、ペ
レツト素子をマウントする部分(以下タブとい
う)および金属細線を接続する部分(以下インナ
ーリードという)にそれぞれ部分的に金メツキ等
が施される。これらのスポツトメツキは、コバー
ル等の金属薄板にエツチングや打抜きによつてパ
ターンが形成されたリードフレームに、メツキマ
スクを用いてメツキすべき部分のみを露出させて
その他の部分を被覆し、露出部分にメツキ液をジ
エツト噴流せしめるいわゆる高速度スポツトメツ
キ方法が一般に採用される。
ードフレームなどをスポツトメツキする場合、ペ
レツト素子をマウントする部分(以下タブとい
う)および金属細線を接続する部分(以下インナ
ーリードという)にそれぞれ部分的に金メツキ等
が施される。これらのスポツトメツキは、コバー
ル等の金属薄板にエツチングや打抜きによつてパ
ターンが形成されたリードフレームに、メツキマ
スクを用いてメツキすべき部分のみを露出させて
その他の部分を被覆し、露出部分にメツキ液をジ
エツト噴流せしめるいわゆる高速度スポツトメツ
キ方法が一般に採用される。
このスポツトメツキ方法では、第2図に示すよ
うに、リードフレーム3のメツキすべき面にマス
ク1を密着させ、反対面にはスポンジゴム7等の
弾性絶縁体を密着させ、エアーシリンダー6等の
圧力発生源により押圧してリードフレーム3をシ
ールする方法が採られている。
うに、リードフレーム3のメツキすべき面にマス
ク1を密着させ、反対面にはスポンジゴム7等の
弾性絶縁体を密着させ、エアーシリンダー6等の
圧力発生源により押圧してリードフレーム3をシ
ールする方法が採られている。
しかし、最近フレームの外観に対して顧客の要
求があがり、シール方法に対して以下のような従
来のスポンジゴムによるシール方法では克服でき
ない問題が表面化してきている。
求があがり、シール方法に対して以下のような従
来のスポンジゴムによるシール方法では克服でき
ない問題が表面化してきている。
(1) メツキ液滲み出しによるフレームへの滲み
(2) フレームと接触しているスポンジ面の表面が
剥がれ、リードピンを覆うことから生じるメツ
キすべきインナーリードピン先端のメツキ欠け (3) 特にタブ下げ加工リードフレームにおいて、
タブやリードピンの変形 従来のシール方法の問題点を、第2図を用いて
以下に説明する。
剥がれ、リードピンを覆うことから生じるメツ
キすべきインナーリードピン先端のメツキ欠け (3) 特にタブ下げ加工リードフレームにおいて、
タブやリードピンの変形 従来のシール方法の問題点を、第2図を用いて
以下に説明する。
被メツキ物であるフレーム3はスポンジゴム7
を介してエアーシリンダー6でマスク1に押圧さ
れている。プレス時は、第2a図に示すように、
スポンジゴム7は、フレーム3の開口部では圧力
から開放されるため盛り上つている。
を介してエアーシリンダー6でマスク1に押圧さ
れている。プレス時は、第2a図に示すように、
スポンジゴム7は、フレーム3の開口部では圧力
から開放されるため盛り上つている。
このためスポンジゴム7は、使用回数の増加に
伴い、プレス戻り時は、マスク開口部9の部分だ
けが圧力から開放されるため他の部分に比べ盛り
上つた構造8となり、プレス時どうしても2b図
に示すように、インナーリードピン3−1よりも
タブ3−2を強く押す形となり、タブ3−2はマ
スク開口部9側に変形する。
伴い、プレス戻り時は、マスク開口部9の部分だ
けが圧力から開放されるため他の部分に比べ盛り
上つた構造8となり、プレス時どうしても2b図
に示すように、インナーリードピン3−1よりも
タブ3−2を強く押す形となり、タブ3−2はマ
スク開口部9側に変形する。
一般にプレス圧力が小さい場合は弾性復帰し、
タブ変形には至らないが、タブつりリードの長い
場合やフレーム膜厚がうすい場合、更にはタブ下
げ加工品(タブのダウンセツト)の場合は変形す
る傾向が著しい。
タブ変形には至らないが、タブつりリードの長い
場合やフレーム膜厚がうすい場合、更にはタブ下
げ加工品(タブのダウンセツト)の場合は変形す
る傾向が著しい。
上記問題に対して、現状での対処のしかたは、
(1) スポンジゴムの早目早目の定期交換
(2) スポンジ表面を特殊コーテイングして使用す
る方法 (3) スポンジゴム7の材質を検討して最適硬さを
見つけること、 (4) 更には、シールすべき圧力発生源であるエア
ーシリンダー6の圧力コントロール などがある。
る方法 (3) スポンジゴム7の材質を検討して最適硬さを
見つけること、 (4) 更には、シールすべき圧力発生源であるエア
ーシリンダー6の圧力コントロール などがある。
しかし、上記対処方法では、
(1) 定期交換の実施のための機械停止日数の増加
やコスト上昇 (2) 表面コーテイングやスポンジゴム硬さや圧力
設定検討だけでは圧力を強めればピン変形や、
ピン先端メツキ欠けが発生しやすく、又、圧力
を弱くするとシール不足によるメツキ液の滲み
出しがあり、特に薄もの(0.15mmt厚さ)フレ
ームでタブ下げ加工(ダウンセツト)してある
フレームのシールには全く適用できない、 という問題点がある。
やコスト上昇 (2) 表面コーテイングやスポンジゴム硬さや圧力
設定検討だけでは圧力を強めればピン変形や、
ピン先端メツキ欠けが発生しやすく、又、圧力
を弱くするとシール不足によるメツキ液の滲み
出しがあり、特に薄もの(0.15mmt厚さ)フレ
ームでタブ下げ加工(ダウンセツト)してある
フレームのシールには全く適用できない、 という問題点がある。
<発明が解決しようとする問題点>
本発明の目的は、前記した従来技術の欠点を解
消し、ICなどのリードフレームなどのスポツト
メツキの際のシール方法を簡単な方式で格段に向
上させ、品質向上に大きく貢献するスポツトメツ
キのシール方法を提供しようとするものである。
消し、ICなどのリードフレームなどのスポツト
メツキの際のシール方法を簡単な方式で格段に向
上させ、品質向上に大きく貢献するスポツトメツ
キのシール方法を提供しようとするものである。
<問題点を解決するための手段>
本発明は、被メツキ物の一方の側をメツキ用マ
スクで覆い、被メツキ物の他方の側を、少なくと
も表面を弾性部材で覆つた押圧部材でシールし
て、マスクのマスク開口部を経てスポツトメツキ
するに際し、内部に該マスク開口部に対応する中
空部分を有する押圧部材により被メツキ物の所要
の部分に所要の圧力をかけてメツキを行うことを
特徴とするスポツトメツキのシール方法である。
スクで覆い、被メツキ物の他方の側を、少なくと
も表面を弾性部材で覆つた押圧部材でシールし
て、マスクのマスク開口部を経てスポツトメツキ
するに際し、内部に該マスク開口部に対応する中
空部分を有する押圧部材により被メツキ物の所要
の部分に所要の圧力をかけてメツキを行うことを
特徴とするスポツトメツキのシール方法である。
<発明の構成>
本発明を図面に示す好適な実施例につき、以下
に詳細に説明する。
に詳細に説明する。
本発明方法を実施するにあたつては、シール用
押圧部材として第1図、第3図に示すスポンジゴ
ム4を用いるのが好適である。
押圧部材として第1図、第3図に示すスポンジゴ
ム4を用いるのが好適である。
第1図は1フレーム5ピースの短柵リードフレ
ーム3をスポツトメツキする場合の長手方向断面
図を示しており、マスク1はリードフレーム3を
マスクし、マスクされたリードフレーム3は、ノ
ズル2からのメツキ液の噴出を受けてスポツトメ
ツキされる。リードフレーム3は、マスクの上に
置かれインナーリード3−1の一部と、タブ3−
2がマスク開口部9に正しく位置決めされてい
る。リードフレームをシールするスポンジゴム4
がプレス上型5に固定されており、エアーシリン
ダー6で圧力を発生させ、フレームのシールを行
う。
ーム3をスポツトメツキする場合の長手方向断面
図を示しており、マスク1はリードフレーム3を
マスクし、マスクされたリードフレーム3は、ノ
ズル2からのメツキ液の噴出を受けてスポツトメ
ツキされる。リードフレーム3は、マスクの上に
置かれインナーリード3−1の一部と、タブ3−
2がマスク開口部9に正しく位置決めされてい
る。リードフレームをシールするスポンジゴム4
がプレス上型5に固定されており、エアーシリン
ダー6で圧力を発生させ、フレームのシールを行
う。
スポンジゴム4はリードフレーム3をシールす
る際、フレーム3の形状にあわせてシールする圧
力分布を所要の分布に変化させるためリードフレ
ーム3と接触する側のスポンジゴム4の内側にマ
スク形状を考慮した特殊形状の圧力分布発生用中
間板4−1を用いることが好ましい。
る際、フレーム3の形状にあわせてシールする圧
力分布を所要の分布に変化させるためリードフレ
ーム3と接触する側のスポンジゴム4の内側にマ
スク形状を考慮した特殊形状の圧力分布発生用中
間板4−1を用いることが好ましい。
圧力分布発生用中間板4−1は、1例として従
来のスポンジゴムの厚さが1/3のスポンジを3枚
使用し、このうちの真中のスポンジ板をリードフ
レーム3のタブ3−2中心と一致するようにほぼ
マスク開口部の大きさでくり抜き、中空部分10
とする。この中空部分10の形状、位置はリード
フレーム、マスク等の形状にあわせて適切に決定
する。残りの2枚のスポンジゴム4−2は、従来
のスポンジゴムと同様の形状とし、厚さを1/3と
する。3枚のスポンジゴム4−1,4−2,4−
2とリードフレーム3の関係は第3図に示す。3
枚のスポンジゴムは圧力分布発生用中間板4−1
を中間にして積層あるいは接着し、この3層構造
のスポンジ4(第1図)をフレームのシール用と
ている。
来のスポンジゴムの厚さが1/3のスポンジを3枚
使用し、このうちの真中のスポンジ板をリードフ
レーム3のタブ3−2中心と一致するようにほぼ
マスク開口部の大きさでくり抜き、中空部分10
とする。この中空部分10の形状、位置はリード
フレーム、マスク等の形状にあわせて適切に決定
する。残りの2枚のスポンジゴム4−2は、従来
のスポンジゴムと同様の形状とし、厚さを1/3と
する。3枚のスポンジゴム4−1,4−2,4−
2とリードフレーム3の関係は第3図に示す。3
枚のスポンジゴムは圧力分布発生用中間板4−1
を中間にして積層あるいは接着し、この3層構造
のスポンジ4(第1図)をフレームのシール用と
ている。
1枚のスポンジゴムの厚さ、圧力分布発生用中
間板4−1のくり抜き面積は、数回の実験により
容易に得られる。くり抜き面積は、マスク開口部
9に対応していればよく、特にマスク開口部9と
ちようど同じ大きさである必要はない。
間板4−1のくり抜き面積は、数回の実験により
容易に得られる。くり抜き面積は、マスク開口部
9に対応していればよく、特にマスク開口部9と
ちようど同じ大きさである必要はない。
本発明方法に使用するスポンジゴム4等の押圧
部材は、少なくとも表面を弾性部材で覆い、内側
にマスク開口部に対応する中空部分を有するもの
であればよく、前述した3層からなるスポンジゴ
ム4だけでなく、2層または4層以上で積層され
たスポンジゴムでもよい。
部材は、少なくとも表面を弾性部材で覆い、内側
にマスク開口部に対応する中空部分を有するもの
であればよく、前述した3層からなるスポンジゴ
ム4だけでなく、2層または4層以上で積層され
たスポンジゴムでもよい。
特に微妙な圧力調整のためには弾性部材をシー
ルとし、その内部にマスク開口部に対応する中空
部分を有するシートを用いることも良い。
ルとし、その内部にマスク開口部に対応する中空
部分を有するシートを用いることも良い。
圧力分布発生用中間板4−1は、スポンジゴム
4−2,4−2で挾まれる必要はなく、第5図で
示されるように、プレス上型5とスポンジゴム4
−2に挾まれていてもよい。
4−2,4−2で挾まれる必要はなく、第5図で
示されるように、プレス上型5とスポンジゴム4
−2に挾まれていてもよい。
リードフレーム3と接触するスポンジゴム4−
2等の弾性部材の内側の圧力分布発生用中間板4
−1の材質はスポンジゴム以外の弾性体を用いて
もよし、塩ビ等の絶縁構造体でもよい。
2等の弾性部材の内側の圧力分布発生用中間板4
−1の材質はスポンジゴム以外の弾性体を用いて
もよし、塩ビ等の絶縁構造体でもよい。
また、第6図に示すように、スポンジゴム4−
2等の弾性体を押圧するプレス上型5に、マスク
開口に対応した中空部分を有するよう加工を施し
てもよく、この場合従来の1層スポンジゴムだけ
でも目的とする圧力分布が得られる。
2等の弾性体を押圧するプレス上型5に、マスク
開口に対応した中空部分を有するよう加工を施し
てもよく、この場合従来の1層スポンジゴムだけ
でも目的とする圧力分布が得られる。
本発明のシール方法は、被メツキ物をメツキ用
マスクで覆い、メツキ用マスクと反対側を、少な
くとも表面を弾性部材で覆つた押圧部材でシール
して、スポツトメツキする際のシール方法であれ
ば、IC等のリードフレームに限らず種々なもの
に利用することができる。
マスクで覆い、メツキ用マスクと反対側を、少な
くとも表面を弾性部材で覆つた押圧部材でシール
して、スポツトメツキする際のシール方法であれ
ば、IC等のリードフレームに限らず種々なもの
に利用することができる。
<発明の作用>
第3図に示す3層構造のスポンジをリードフレ
ームのシール用として用いた本発明方法の実施例
の作用を第4図を用いて説明する。
ームのシール用として用いた本発明方法の実施例
の作用を第4図を用いて説明する。
マスク開口部9に位置しているスポンジゴム4
は、真中のスポンジゴム層に中空部10があるた
め、リードフレーム3とは逆方向の圧力分布発生
用中間板4−1側にスポンジゴムに圧力が分散す
る。このためタブ3−2への押しつけ力が弱まつ
て、タブ変形を防止すると同時に、インナーリー
ド部3−1の圧力を全く弱めることなく、シール
が可能である。更にはインナーリード部3−1と
タブ3−2の間でのスポンジゴム弾性変形量が小
さいため、スポンジゴム表面が切れて、ピン先端
におおいかぶさつて発生するピン先端メツキ欠け
の発生も少なくなる。
は、真中のスポンジゴム層に中空部10があるた
め、リードフレーム3とは逆方向の圧力分布発生
用中間板4−1側にスポンジゴムに圧力が分散す
る。このためタブ3−2への押しつけ力が弱まつ
て、タブ変形を防止すると同時に、インナーリー
ド部3−1の圧力を全く弱めることなく、シール
が可能である。更にはインナーリード部3−1と
タブ3−2の間でのスポンジゴム弾性変形量が小
さいため、スポンジゴム表面が切れて、ピン先端
におおいかぶさつて発生するピン先端メツキ欠け
の発生も少なくなる。
<発明の効果>
本発明方法は、従来技術に比べ、シール用弾性
体の変形後の成長が格段に小さいためシール用弾
性体の寿命が大幅に伸び、シール用弾性体表面の
切れによつて発生するピン先端メツキ欠けの発生
が少ない。リードフレームのタブ、インナーリー
ドの変形を極めて少なくしながらシール効果を高
められる。このためメツキ液の滲み出しを防止で
き、更には、作業の困難だつたタブ下げ加工品の
リードフレームのスポツトメツキを容易に実現で
き、簡便な方法で生産性向上、経済性を達成でき
る。
体の変形後の成長が格段に小さいためシール用弾
性体の寿命が大幅に伸び、シール用弾性体表面の
切れによつて発生するピン先端メツキ欠けの発生
が少ない。リードフレームのタブ、インナーリー
ドの変形を極めて少なくしながらシール効果を高
められる。このためメツキ液の滲み出しを防止で
き、更には、作業の困難だつたタブ下げ加工品の
リードフレームのスポツトメツキを容易に実現で
き、簡便な方法で生産性向上、経済性を達成でき
る。
第1図は、本発明方法を実施する装置を示す部
分断面図である。第2図は、従来のシール方法を
実施する装置の部分断面図である。第3図は本発
明のシール方法に用いる押圧部材の部分分解斜視
図である。第4a図および第4b図はそれぞれリ
ードフレームのプレス時、およびプレス戻り時の
部分断面図である。第5図および第6図は、本発
明のシール方法の他の実施例を示す断面図であ
る。 符号の説明、1……マスク、2……ノズル、3
……リードフレーム、3−1……インナーリー
ド、3−2……タブ、4……スポンジゴム(押圧
部材)、4−1……圧力分布発生用中間板、4−
2,7……スポンジゴム、5……プレス上型、6
……エアーシリンダー、8……スポンジゴムの変
形部、9……マスク開口部、10……中空部。
分断面図である。第2図は、従来のシール方法を
実施する装置の部分断面図である。第3図は本発
明のシール方法に用いる押圧部材の部分分解斜視
図である。第4a図および第4b図はそれぞれリ
ードフレームのプレス時、およびプレス戻り時の
部分断面図である。第5図および第6図は、本発
明のシール方法の他の実施例を示す断面図であ
る。 符号の説明、1……マスク、2……ノズル、3
……リードフレーム、3−1……インナーリー
ド、3−2……タブ、4……スポンジゴム(押圧
部材)、4−1……圧力分布発生用中間板、4−
2,7……スポンジゴム、5……プレス上型、6
……エアーシリンダー、8……スポンジゴムの変
形部、9……マスク開口部、10……中空部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 被メツキ物の一方の側をメツキ用マスクで覆
い、被メツキ物の他方の側を、少なくとも表面を
弾性部材で覆つた押圧部材でシールして、マスク
のマスク開口部を経てスポツトメツキするに際
し、内部に該マスク開口部に対応する中空部分を
有する押圧部材により被メツキ物の所要の部分に
所要の圧力をかけてメツキを行うことを特徴とす
るスポツトメツキのシール方法。 2 前記被メツキ物がリードフレームである特許
請求の範囲第1項に記載のスポツトメツキのシー
ル方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4599785A JPS61207590A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | スポツトメツキのシ−ル方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4599785A JPS61207590A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | スポツトメツキのシ−ル方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61207590A JPS61207590A (ja) | 1986-09-13 |
| JPH0119474B2 true JPH0119474B2 (ja) | 1989-04-11 |
Family
ID=12734740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4599785A Granted JPS61207590A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | スポツトメツキのシ−ル方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61207590A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01198497A (ja) * | 1988-02-02 | 1989-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 部分めっき方法 |
-
1985
- 1985-03-08 JP JP4599785A patent/JPS61207590A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61207590A (ja) | 1986-09-13 |
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